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公开(公告)号：CN109634064B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201811127037.5
申请日：2018-09-27
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供曝光装置以及物品制造方法。曝光装置具有第1温度调节机构(113)和第2温度调节机构(211)，第1温度调节机构(113)通过向收容投影光学系统(104)的镜筒(110)的内部供给气体来调节镜筒内部的温度，第2温度调节机构(211)通过向被设置在对构成投影光学系统的光学元件(201)进行保持的保持部件(206)中的流路(209)供给液体来调节光学元件以及保持部件的温度，其中，第1温度调节机构的目标温度和第2温度调节机构的目标温度不同。
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公开(公告)号：CN109634064A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811127037.5
申请日：2018-09-27
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70258 , G03F7/70891
Abstract: 本发明提供曝光装置以及物品制造方法。曝光装置具有第1温度调节机构(113)和第2温度调节机构(211)，第1温度调节机构(113)通过向收容投影光学系统(104)的镜筒(110)的内部供给气体来调节镜筒内部的温度，第2温度调节机构(211)通过向被设置在对构成投影光学系统的光学元件(201)进行保持的保持部件(206)中的流路(209)供给液体来调节光学元件以及保持部件的温度，其中，第1温度调节机构的目标温度和第2温度调节机构的目标温度不同。
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公开(公告)号：CN105045044B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201510216833.6
申请日：2015-04-30
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 浅田克己
CPC classification number: G03F7/709 , G02B26/0825 , G02B26/0858 , G02B27/0068 , G03F7/70266 , G03F7/70308 , G03F7/706
Abstract: 本发明提供了光学装置、投影光学系统、曝光装置及物品的制造方法。所述光学装置使镜的反射面变形，所述光学装置包括：底板；多个致动器，其被布置在所述底板与所述镜之间，并且被构造为对所述镜施加力；检测单元，其被构造为检测所述底板中产生的振动；以及控制单元，其被构造为基于所述检测单元进行的检测的结果来控制各致动器，使得作为所述底板中产生的振动的结果引起的所述镜的变形在可接受的范围之内。
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公开(公告)号：CN105045044A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510216833.6
申请日：2015-04-30
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 浅田克己
CPC classification number: G03F7/709 , G02B26/0825 , G02B26/0858 , G02B27/0068 , G03F7/70266 , G03F7/70308 , G03F7/706
Abstract: 本发明提供了光学装置、投影光学系统、曝光装置及物品的制造方法。所述光学装置使镜的反射面变形，所述光学装置包括：底板；多个致动器，其被布置在所述底板与所述镜之间，并且被构造为对所述镜施加力；检测单元，其被构造为检测所述底板中产生的振动；以及控制单元，其被构造为基于所述检测单元进行的检测的结果来控制各致动器，使得作为所述底板中产生的振动的结果引起的所述镜的变形在可接受的范围之内。
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