公开(公告)号：CN114167688A

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202111036217.4

申请日：2021-09-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 佐藤正康 ,  木村良一 ,  盐村祐辅 ,  细川浩伸

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供异物去除装置、光刻装置以及物品制造方法。提供有利于同时达成生产性和异物去除性能的技术。去除异物的异物去除装置具有保持物体并移动的保持部、接近上述保持部地配置并使气体在内部流通的流路、以及设在上述流路的内部并形成上述流路的内部的气流的气流形成部，在构成上述流路的周壁的流路构件上，形成有将上述流路的外部与内部连通的狭缝，上述气流形成部形成使异物经由上述狭缝被吸入上述流路的内部那样的气流。

公开(公告)号：CN113238459B

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202110140250.5

申请日：2021-02-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 木村良一

IPC: G03F7/20 ,  G02B7/00

Abstract: 本发明提供光学装置、曝光装置以及物品制造方法。为了提供能降低因曝光导致的热影响并且抑制成像性能降低的光学装置，本发明所涉及的光学装置的特征在于具备：光学元件(5)；收纳光学元件(5)的镜筒(11)；设定从气体供给机构向镜筒(11)内供给的气体(17)的行进方向的行进方向设定机构(16)；以及控制行进方向设定机构(16)以便变更气体(17)的行进方向的控制部(18)。

公开(公告)号：CN118584756A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410226095.2

申请日：2024-02-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 安斋干人 ,  森川宽 ,  小友志織 ,  石井祐二 ,  木村良一 ,  细川浩伸 ,  畑智康

IPC: G03F7/20

Abstract: 载置台控制装置、光刻装置以及物品制造方法。控制载置台的载置台控制装置具备：编码器，被构成为包括标尺以及头，测量所述载置台的位置；温度测量器；以及控制部，根据所述编码器的输出以及所述温度测量器的输出来控制所述载置台，所述标尺具有具备由所述头编码的刻度的第1面和所述第1面的相反侧的第2面，所述温度测量器包括与所述标尺的所述第2面接触或者面对地配置的多个温度传感器。

公开(公告)号：CN113238459A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202110140250.5

申请日：2021-02-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 木村良一

IPC: G03F7/20 ,  G02B7/00

Abstract: 本发明提供光学装置、曝光装置以及物品制造方法。为了提供能降低因曝光导致的热影响并且抑制成像性能降低的光学装置，本发明所涉及的光学装置的特征在于具备：光学元件(5)；收纳光学元件(5)的镜筒(11)；设定从气体供给机构向镜筒(11)内供给的气体(17)的行进方向的行进方向设定机构(16)；以及控制行进方向设定机构(16)以便变更气体(17)的行进方向的控制部(18)。