Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN118584756A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410226095.2
申请日：2024-02-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 安斋干人 , 森川宽 , 小友志織 , 石井祐二 , 木村良一 , 细川浩伸 , 畑智康
IPC: G03F7/20
Abstract: 载置台控制装置、光刻装置以及物品制造方法。控制载置台的载置台控制装置具备：编码器，被构成为包括标尺以及头，测量所述载置台的位置；温度测量器；以及控制部，根据所述编码器的输出以及所述温度测量器的输出来控制所述载置台，所述标尺具有具备由所述头编码的刻度的第1面和所述第1面的相反侧的第2面，所述温度测量器包括与所述标尺的所述第2面接触或者面对地配置的多个温度传感器。
