-
公开(公告)号：CN115343922A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202210504564.3
申请日：2022-05-10
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及求取基板的形状的方法、曝光方法、曝光装置、物品的制造方法以及存储介质。提供一种求取基板的形状的方法，其特征在于，具有：针对根据分配给多个第1基板中的每个第1基板的多个标记中的第1数量的标记的第1位置测量数据决定的所述多个第1基板中的每个第1基板所属的每个组，求取代表性地表示属于该组的第1基板的形状的代表数据的工序；以及根据分配给与所述多个第1基板不同的第2基板的多个标记中的比所述第1数量小的第2数量的标记的第2位置测量数据、以及与根据所述第2位置测量数据决定的所述第2基板所属的组对应的所述代表数据，求取表示所述第2基板的形状的形状数据的工序。
Search Results
1
records
(took 0.014 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
