公开(公告)号：CN111566379A

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201880085570.1

申请日：2018-10-29

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 岸本伊知郎 ,  阿部成吾

IPC: F16F15/027 ,  F16F15/02 ,  F16F15/04 ,  G05D19/02

Abstract: 主动隔振装置(A)包括：对承载物(S)进行定位的工作台(4)、支撑工作台(4)的隔振台(1)、对隔振台(1)施加抑制其振动的控制力的伺服阀(24)、事先获取基于与工作台(4)的移动控制相关的信息的工作台状态信号的工作台信息获取部(6d)、从该工作台状态信号中除去共振频率成分的共振抑制部(6f)、以及根据共振频率成分已被除去之后的工作台状态信号对伺服阀(24)进行前馈控制而让控制力与伴随着工作台(4)移动而引起的隔振台(1)的振动相匹配的制振FF控制部(6e)。

公开(公告)号：CN102374258B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201110186660.X

申请日：2011-07-05

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 大村泰弘 ,  岸本伊知郎 ,  山本修司 ,  渡边清文

IPC: F16F15/02 ,  F16F15/08

Abstract: 本发明公开了一种隔振装置。该隔振装置(1)包括：支撑平台的顶板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在顶板(11)与基板(21)之间安装在这两板上，并且用螺旋弹簧(13)在地板上对被放置精密设备的平台进行隔振支撑的弹簧单元(3)。该隔振装置(1)构成为：能够以收纳在顶板(11)与基板(21)之间的空间内的方式对顶板(11)可装卸地安装铅垂单元(5)及/或水平单元(7)，该铅垂单元(5)是铅垂加速度传感器(15)及铅垂VCM一起模块化而构成的，该水平单元(7)是水平加速度传感器及水平VCM一起模块化而构成的。因此，能够提供一种具备使用者所要求的性能、尺寸较小且价格低廉的隔振装置。

公开(公告)号：CN102374258A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110186660.X

申请日：2011-07-05

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 大村泰弘 ,  岸本伊知郎 ,  山本修司 ,  渡边清文

IPC: F16F15/02 ,  F16F15/08

Abstract: 本发明公开了一种隔振装置。该隔振装置(1)包括：支撑平台的顶板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在顶板(11)与基板(21)之间安装在这两板上，并且用螺旋弹簧(13)在地板上对被放置精密设备的平台进行隔振支撑的弹簧单元(3)。该隔振装置(1)构成为：能够以收纳在顶板(11)与基板(21)之间的空间内的方式对顶板(11)可装卸地安装铅垂单元(5)及/或水平单元(7)，该铅垂单元(5)是铅垂加速度传感器(15)及铅垂VCM一起模块化而构成的，该水平单元(7)是水平加速度传感器及水平VCM一起模块化而构成的。因此，能够提供一种具备使用者所要求的性能、尺寸较小且价格低廉的隔振装置。

公开(公告)号：CN111566379B

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN201880085570.1

申请日：2018-10-29

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 岸本伊知郎 ,  阿部成吾

IPC: F16F15/027 ,  F16F15/02 ,  F16F15/04 ,  G05D19/02

Abstract: 主动隔振装置(A)包括：对承载物(S)进行定位的工作台(4)、支撑工作台(4)的隔振台(1)、对隔振台(1)施加抑制其振动的控制力的伺服阀(24)、事先获取基于与工作台(4)的移动控制相关的信息的工作台状态信号的工作台信息获取部(6d)、从该工作台状态信号中除去共振频率成分的共振抑制部(6f)、以及根据共振频率成分已被除去之后的工作台状态信号对伺服阀(24)进行前馈控制而让控制力与伴随着工作台(4)移动而引起的隔振台(1)的振动相匹配的制振FF控制部(6e)。

公开(公告)号：CN109307042B

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201810826436.4

申请日：2018-07-25

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 岸本伊知郎 ,  阿部成吾 ,  星田莉奈 ,  李敏 ,  高桥伸悟

IPC: G05D19/02 ,  F16F15/027 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种主动隔振装置(A)，其包括：承载台(4)，其通过承受推力而移动，来对承载物(S)进行定位；隔振台(1)，其支承承载台(4)；伺服阀(24)，其用于对隔振台(1)施加可抑制该隔振台(1)的振动的控制力；位置与推力获取部(6d)，其获取承载台(4)的移动轨迹上的位置以及进行该移动时承载台4实际承受的推力；以及减振FF控制部(6e)，其根据位置与推力获取部(6d)所获取的内容，对伺服阀(24)进行前馈控制，以使控制力与隔振台(1)上随承载台(4)的移动而产生的振动相匹配。让具有可动式承载台的主动隔振装置实现优异的隔振性能。

公开(公告)号：CN109307042A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201810826436.4

申请日：2018-07-25

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 岸本伊知郎 ,  阿部成吾 ,  星田莉奈 ,  李敏 ,  高桥伸悟

IPC: F16F15/027

Abstract: 本发明提供一种主动隔振装置(A)，其包括：承载台(4)，其通过承受推力而移动，来对承载物(S)进行定位；隔振台(1)，其支承承载台(4)；伺服阀(24)，其用于对隔振台(1)施加可抑制该隔振台(1)的振动的控制力；位置与推力获取部(6d)，其获取承载台(4)的移动轨迹上的位置以及进行该移动时承载台4实际承受的推力；以及减振FF控制部(6e)，其根据位置与推力获取部(6d)所获取的内容，对伺服阀(24)进行前馈控制，以使控制力与隔振台(1)上随承载台(4)的移动而产生的振动相匹配。让具有可动式承载台的主动隔振装置实现优异的隔振性能。