公开(公告)号：CN102374258B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201110186660.X

申请日：2011-07-05

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 大村泰弘 ,  岸本伊知郎 ,  山本修司 ,  渡边清文

IPC: F16F15/02 ,  F16F15/08

Abstract: 本发明公开了一种隔振装置。该隔振装置(1)包括：支撑平台的顶板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在顶板(11)与基板(21)之间安装在这两板上，并且用螺旋弹簧(13)在地板上对被放置精密设备的平台进行隔振支撑的弹簧单元(3)。该隔振装置(1)构成为：能够以收纳在顶板(11)与基板(21)之间的空间内的方式对顶板(11)可装卸地安装铅垂单元(5)及/或水平单元(7)，该铅垂单元(5)是铅垂加速度传感器(15)及铅垂VCM一起模块化而构成的，该水平单元(7)是水平加速度传感器及水平VCM一起模块化而构成的。因此，能够提供一种具备使用者所要求的性能、尺寸较小且价格低廉的隔振装置。

公开(公告)号：CN102374258A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110186660.X

申请日：2011-07-05

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 大村泰弘 ,  岸本伊知郎 ,  山本修司 ,  渡边清文

IPC: F16F15/02 ,  F16F15/08

Abstract: 本发明公开了一种隔振装置。该隔振装置(1)包括：支撑平台的顶板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在顶板(11)与基板(21)之间安装在这两板上，并且用螺旋弹簧(13)在地板上对被放置精密设备的平台进行隔振支撑的弹簧单元(3)。该隔振装置(1)构成为：能够以收纳在顶板(11)与基板(21)之间的空间内的方式对顶板(11)可装卸地安装铅垂单元(5)及/或水平单元(7)，该铅垂单元(5)是铅垂加速度传感器(15)及铅垂VCM一起模块化而构成的，该水平单元(7)是水平加速度传感器及水平VCM一起模块化而构成的。因此，能够提供一种具备使用者所要求的性能、尺寸较小且价格低廉的隔振装置。

公开(公告)号：CN302504920S

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201330039240.9

申请日：2013-02-08

Applicant: 仓敷化工株式会社

Designer： 三海贵纪 ,  渡边清文

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：衰减装置。2．本外观设计产品的用途：用于设置在载置固定有液晶面板制造装置、半导体制造装置、精密检查装置等的精密设备的定盘与架台之间，使振动衰减并吸收振动。3．本外观设计产品的设计要点：图示产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN301431020S

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN201030242104.6

申请日：2010-07-12

Applicant: 仓敷化工株式会社

Designer： 渡边清文

Abstract: 该外观设计名称为精密仪器用防振器。其用途主要是用于将液晶面板制造装置、半导体制造装置、精密测量装置等精密仪器置于该精密仪器用防振器上，防止上下方向及水平方向的振动从地面传递给该精密仪器；并且，精密仪器用防振器在例如被夹在支撑精密仪器的平台与支架之间的状态下使用。设计要点在于具有朝上方开口的上端开口部并在该上端开口部的周围形成有凸缘的罐体的圆筒形状以及布置在该罐体凸缘上的四个位置且上端面面向顶板的就位停止器的圆筒形状。主视图最能表明该外观设计要点。

公开(公告)号：CN302504920S9

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201330039240.9

申请日：2013-02-08

Applicant: 仓敷化工株式会社

Designer： 三海贵纪 ,  渡边清文

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：衰减装置。2．本外观设计产品的用途：用于设置在载置固定有液晶面板制造装置、半导体制造装置、精密检查装置等的精密设备的定盘与架台之间，使振动衰减并吸收振动。3．本外观设计产品的设计要点：图示产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。