公开(公告)号：CN102374258B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201110186660.X

申请日：2011-07-05

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 大村泰弘 ,  岸本伊知郎 ,  山本修司 ,  渡边清文

IPC: F16F15/02 ,  F16F15/08

Abstract: 本发明公开了一种隔振装置。该隔振装置(1)包括：支撑平台的顶板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在顶板(11)与基板(21)之间安装在这两板上，并且用螺旋弹簧(13)在地板上对被放置精密设备的平台进行隔振支撑的弹簧单元(3)。该隔振装置(1)构成为：能够以收纳在顶板(11)与基板(21)之间的空间内的方式对顶板(11)可装卸地安装铅垂单元(5)及/或水平单元(7)，该铅垂单元(5)是铅垂加速度传感器(15)及铅垂VCM一起模块化而构成的，该水平单元(7)是水平加速度传感器及水平VCM一起模块化而构成的。因此，能够提供一种具备使用者所要求的性能、尺寸较小且价格低廉的隔振装置。

公开(公告)号：CN102374258A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110186660.X

申请日：2011-07-05

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 大村泰弘 ,  岸本伊知郎 ,  山本修司 ,  渡边清文

IPC: F16F15/02 ,  F16F15/08

Abstract: 本发明公开了一种隔振装置。该隔振装置(1)包括：支撑平台的顶板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在顶板(11)与基板(21)之间安装在这两板上，并且用螺旋弹簧(13)在地板上对被放置精密设备的平台进行隔振支撑的弹簧单元(3)。该隔振装置(1)构成为：能够以收纳在顶板(11)与基板(21)之间的空间内的方式对顶板(11)可装卸地安装铅垂单元(5)及/或水平单元(7)，该铅垂单元(5)是铅垂加速度传感器(15)及铅垂VCM一起模块化而构成的，该水平单元(7)是水平加速度传感器及水平VCM一起模块化而构成的。因此，能够提供一种具备使用者所要求的性能、尺寸较小且价格低廉的隔振装置。