公开(公告)号：CN109307042B

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201810826436.4

申请日：2018-07-25

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 岸本伊知郎 ,  阿部成吾 ,  星田莉奈 ,  李敏 ,  高桥伸悟

IPC: G05D19/02 ,  F16F15/027 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种主动隔振装置(A)，其包括：承载台(4)，其通过承受推力而移动，来对承载物(S)进行定位；隔振台(1)，其支承承载台(4)；伺服阀(24)，其用于对隔振台(1)施加可抑制该隔振台(1)的振动的控制力；位置与推力获取部(6d)，其获取承载台(4)的移动轨迹上的位置以及进行该移动时承载台4实际承受的推力；以及减振FF控制部(6e)，其根据位置与推力获取部(6d)所获取的内容，对伺服阀(24)进行前馈控制，以使控制力与隔振台(1)上随承载台(4)的移动而产生的振动相匹配。让具有可动式承载台的主动隔振装置实现优异的隔振性能。

公开(公告)号：CN109307042A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201810826436.4

申请日：2018-07-25

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 岸本伊知郎 ,  阿部成吾 ,  星田莉奈 ,  李敏 ,  高桥伸悟

IPC: F16F15/027

Abstract: 本发明提供一种主动隔振装置(A)，其包括：承载台(4)，其通过承受推力而移动，来对承载物(S)进行定位；隔振台(1)，其支承承载台(4)；伺服阀(24)，其用于对隔振台(1)施加可抑制该隔振台(1)的振动的控制力；位置与推力获取部(6d)，其获取承载台(4)的移动轨迹上的位置以及进行该移动时承载台4实际承受的推力；以及减振FF控制部(6e)，其根据位置与推力获取部(6d)所获取的内容，对伺服阀(24)进行前馈控制，以使控制力与隔振台(1)上随承载台(4)的移动而产生的振动相匹配。让具有可动式承载台的主动隔振装置实现优异的隔振性能。