公开(公告)号：CN114623188A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202111392519.5

申请日：2021-11-23

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 太田宽人 ,  高桥伸悟 ,  山本修司 ,  藤原靖也

IPC: F16F15/067 ,  F16F15/03 ,  F16F15/02 ,  G01M7/02

Abstract: 本公开公开了一种主动隔振系统。主动隔振系统包括多台主动隔振装置，该主动隔振装置具有：将被支承体弹性地支承在基础上的螺旋弹簧；检测被支承体以及基础的振动状态的传感器；对被支承体施加控制力的致动器；控制器，其基于传感器已检测出的振动状态来控制致动器，以便对被支承体施加用于减轻被支承体的振动以及从基础传递到被支承体的振动的控制力。各隔振装置以支承被支承体的方式布置在基础上相互不同的位置。各隔振装置的控制器构成为：基于传感器已检测出的、被支承体及基础的与该布置位置对应的部分的振动状态，独立于其他隔振装置的控制器，单独地对被支承体的与该布置位置对应的部分施加控制力。因此能够以简单的结构来提升隔振性能。

公开(公告)号：CN102374258B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201110186660.X

申请日：2011-07-05

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 大村泰弘 ,  岸本伊知郎 ,  山本修司 ,  渡边清文

IPC: F16F15/02 ,  F16F15/08

Abstract: 本发明公开了一种隔振装置。该隔振装置(1)包括：支撑平台的顶板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在顶板(11)与基板(21)之间安装在这两板上，并且用螺旋弹簧(13)在地板上对被放置精密设备的平台进行隔振支撑的弹簧单元(3)。该隔振装置(1)构成为：能够以收纳在顶板(11)与基板(21)之间的空间内的方式对顶板(11)可装卸地安装铅垂单元(5)及/或水平单元(7)，该铅垂单元(5)是铅垂加速度传感器(15)及铅垂VCM一起模块化而构成的，该水平单元(7)是水平加速度传感器及水平VCM一起模块化而构成的。因此，能够提供一种具备使用者所要求的性能、尺寸较小且价格低廉的隔振装置。

公开(公告)号：CN102374258A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110186660.X

申请日：2011-07-05

Applicant: 仓敷化工株式会社

Inventor： 大村泰弘 ,  岸本伊知郎 ,  山本修司 ,  渡边清文

IPC: F16F15/02 ,  F16F15/08

Abstract: 本发明公开了一种隔振装置。该隔振装置(1)包括：支撑平台的顶板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在顶板(11)与基板(21)之间安装在这两板上，并且用螺旋弹簧(13)在地板上对被放置精密设备的平台进行隔振支撑的弹簧单元(3)。该隔振装置(1)构成为：能够以收纳在顶板(11)与基板(21)之间的空间内的方式对顶板(11)可装卸地安装铅垂单元(5)及/或水平单元(7)，该铅垂单元(5)是铅垂加速度传感器(15)及铅垂VCM一起模块化而构成的，该水平单元(7)是水平加速度传感器及水平VCM一起模块化而构成的。因此，能够提供一种具备使用者所要求的性能、尺寸较小且价格低廉的隔振装置。