用于光刻胶底部抗反射涂层的聚合物及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN117872680B

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410269048.6

    申请日:2024-03-11

    Abstract: 本发明涉及光刻胶技术领域,具体涉及用于光刻胶底部抗反射涂层的聚合物及制备方法和应用,所述聚合物具有如下结构式:#imgabs0#;a、b、c分别为聚合物中重复单元的质量分数,a选自1‑10%,b选自10‑80%,c选自10‑80%,所述聚合物的重均分子量选自4000‑10000Da,分子量分散系数选自1.0‑3.0。制备方法为:三种单体在溶剂中,经缩聚反应得到目标聚合物。所述聚合物可应用于光刻胶底部抗反射涂层,所述聚合物可有效阻止光刻胶辐射光穿透反射涂层,大幅提高光刻胶显影图案的分辨率。

    用于光刻胶底部抗反射涂层的聚合物及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN117872680A

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202410269048.6

    申请日:2024-03-11

    Abstract: 本发明涉及光刻胶技术领域,具体涉及用于光刻胶底部抗反射涂层的聚合物及制备方法和应用,所述聚合物具有如下结构式:#imgabs0#;a、b、c分别为聚合物中重复单元的质量分数,a选自1‑10%,b选自10‑80%,c选自10‑80%,所述聚合物的重均分子量选自4000‑10000Da,分子量分散系数选自1.0‑3.0。制备方法为:三种单体在溶剂中,经缩聚反应得到目标聚合物。所述聚合物可应用于光刻胶底部抗反射涂层,所述聚合物可有效阻止光刻胶辐射光穿透反射涂层,大幅提高光刻胶显影图案的分辨率。

    一种制备4,4-吡喃二甲酸二乙酯衍生物的方法

    公开(公告)号:CN104910116B

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201510255683.X

    申请日:2015-05-19

    Abstract: 本发明涉及一种制备4,4-吡喃二甲酸二乙酯及其衍生物的方法,本发明制备方法以丙二酸二乙酯和取代二氯乙醚为原料,碘化亚铜催化,以叔丁醇钾、叔丁醇钠、叔戊醇钠中的一种或几种的混合物为碱,进行反应,反应结束后,减压蒸除溶剂,再继续减压蒸馏,得到4,4-吡喃二甲酸二乙酯及其衍生物。本发明制备方法,以前未曾报道过,所用原料易得,反应方法简单易行,反应时间较短,具有较高的应用价值和市场价值。

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