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公开(公告)号：CN106031913B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201510102889.9
申请日：2015-03-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂敷液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂敷液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂敷液向涂敷液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂敷液供给系统连接，一边喷出供给来的涂敷液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂敷液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂敷液后关闭，停止涂敷液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂敷液供给系统，并且内部充满涂敷液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。
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公开(公告)号：CN101204687B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710128038.7
申请日：2007-06-22
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布用涂布头的清扫装置，设有吸引部(23)，在使清扫构件(20)的前端部与设有供给涂布液(1)的狭缝状排出口(12)的涂布用涂布头(10)的前端面(11a)接触、使清扫构件沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时，该吸引部(23)可对由清扫构件从涂布用涂布头上除去后的涂布液进行吸引，并在清扫构件的移动方向后方侧设置有洗净液供给喷嘴(21)，该洗净液供给喷嘴(21)与清扫构件一起移动，将洗净液供给到从涂布用涂布头上除去涂布液后的清扫构件的前端部。在使清扫构件的前端部与涂布用涂布头接触状态下使其沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时，就能简单而可靠地除去附着在该清扫构件上的涂布液。
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公开(公告)号：CN101204687A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710128038.7
申请日：2007-06-22
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: B05B15/02
Abstract: 一种涂布用涂布头的清扫装置，设有吸引部(23)，在使清扫构件(20)的前端部与设有供给涂布液(1)的狭缝状排出口(12)的涂布用涂布头(10)的前端面(11a)接触、使清扫构件沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时，该吸引部(23)可对由清扫构件从涂布用涂布头上除去后的涂布液进行吸引，并在清扫构件的移动方向后方侧设置有洗净液供给喷嘴(21)，该洗净液供给喷嘴(21)与清扫构件一起移动，将洗净液供给到从涂布用涂布头上除去涂布液后的清扫构件的前端部。在使清扫构件的前端部与涂布用涂布头接触状态下使其沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时，就能简单而可靠地除去附着在该清扫构件上的涂布液。
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公开(公告)号：CN106031913A
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201510102889.9
申请日：2015-03-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂覆液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂覆液后关闭，停止涂覆液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。
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公开(公告)号：CN109574511A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201711439897.8
申请日：2017-12-26
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: C03C17/00
CPC classification number: C03C17/002 , C03C2218/112
Abstract: 本发明提供一种基板的涂布方法以及基板的涂布装置，其在同时开始喷嘴的移动与涂敷液从喷嘴的喷出的情况下，能够容易地使从涂布开始时起几秒内的期间的涂膜厚度尽可能地恒定，从而能够防止基板的利用面积减少。在同时开始喷出涂敷液(D)的喷嘴(3)的移动与涂敷液从喷嘴的喷出而向基板(8)涂布涂敷液时，逐渐增加喷嘴的移动速度(Vt)(Vt1、Vt2、Vt3)，以使得基板的单位面积的涂敷液量恒定，从而涂膜厚度恒定。
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公开(公告)号：CN101209439A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200710307314.6
申请日：2007-12-27
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布装置和涂布方法，相对于载放在支承台上的被涂布构件(13)而使涂布液排出装置(3)向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置(2)将涂布液供给到所述涂布液排出装置(3)，通过涂布液排出装置(3)的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上(13)。本发明的涂布装置具有：与从涂布液排出装置(3)至喷嘴的配管途中连通的分支管(19)；通过分支管(19)从喷嘴吸引涂布液的涂布液吸引装置(5)；根据涂布液排出装置(3)的喷嘴前端开口部到达被涂布构件(13)的最后涂布区域而使涂布液吸引装置(5)开始进行涂布液吸引动作的控制装置(6)。采用本发明，容易进行调整，长期使用难以产生故障，包含最后涂布位置在内将涂布在被涂布构件上的涂布液的膜厚分布做得均匀。
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