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公开(公告)号:CN101209439A
公开(公告)日:2008-07-02
申请号:CN200710307314.6
申请日:2007-12-27
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布装置和涂布方法,相对于载放在支承台上的被涂布构件(13)而使涂布液排出装置(3)向水平方向移动,并驱动涂布液供给装置(2)将涂布液供给到所述涂布液排出装置(3),通过涂布液排出装置(3)的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上(13)。本发明的涂布装置具有:与从涂布液排出装置(3)至喷嘴的配管途中连通的分支管(19);通过分支管(19)从喷嘴吸引涂布液的涂布液吸引装置(5);根据涂布液排出装置(3)的喷嘴前端开口部到达被涂布构件(13)的最后涂布区域而使涂布液吸引装置(5)开始进行涂布液吸引动作的控制装置(6)。采用本发明,容易进行调整,长期使用难以产生故障,包含最后涂布位置在内将涂布在被涂布构件上的涂布液的膜厚分布做得均匀。
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公开(公告)号:CN101574685A
公开(公告)日:2009-11-11
申请号:CN200910004741.6
申请日:2009-02-20
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布装置,使基板与涂布器之间的间隙稳定,对每块基板逐一进行速度控制,可进行边缘涂装,且不会在基板的背面上产生损伤。本发明的涂布装置包括:在基板(P)上涂布涂布液的涂布器(3a、3b);可旋转驱动地配置在涂布器(3a、3b)的下方、在外周上具有吸引孔(7)、并一边吸引基板(P)一边进行搬运的承压滚筒(5);在承压滚筒(5)的上游侧和下游侧配置在比承压滚筒(5)低的位置上、一边吸引基板(P)一边进行搬运的搬运辊(6a、6b);配置在上游侧的搬运辊(6a)的上游侧、将基板(P)朝承压滚筒5搬入的搬入输送机(15);以及配置在下游侧的搬运辊(6b)的下游侧、将基板(P)从承压滚筒(5)搬出的搬出输送机(16)。
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公开(公告)号:CN101574685B
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN200910004741.6
申请日:2009-02-20
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布装置,使基板与涂布器之间的间隙稳定,对每块基板逐一进行速度控制,可进行边缘涂装,且不会在基板的背面上产生损伤。本发明的涂布装置包括:在基板(P)上涂布涂布液的涂布器(3a、3b);可旋转驱动地配置在涂布器(3a、3b)的下方、在外周上具有吸引孔(7)、并一边吸引基板(P)一边进行搬运的承压滚筒(5);在承压滚筒(5)的上游侧和下游侧配置在比承压滚筒(5)低的位置上、一边吸引基板(P)一边进行搬运的搬运辊(6a、6b);配置在上游侧的搬运辊(6a)的上游侧、将基板(P)朝承压滚筒5搬入的搬入输送机(15);以及配置在下游侧的搬运辊(6b)的下游侧、将基板(P)从承压滚筒(5)搬出的搬出输送机(16)。
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公开(公告)号:CN101209443B
公开(公告)日:2010-11-17
申请号:CN200710305802.3
申请日:2007-12-24
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种注射泵对涂布液的吸引时间短、空气不会流入的涂布液供给装置。该涂布液供给装置包括:收容涂布液的涂布液箱体(1)、以及从涂布液箱体(1)吸引涂布液而将该涂布液向相对于工作台(14)沿规定方向相对移动的涂布装置(12)的模具(13)供给的注射泵(9),在涂布液箱体(1)与注射泵(9)之间还具有吸引涂布液箱体(1)中的涂布液而将该涂布液向注射泵(9)送出的增压泵(5),注射泵(9)安装在涂布装置(12)的与模具(13)的移动方向成直角方向的侧面上。
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公开(公告)号:CN101209443A
公开(公告)日:2008-07-02
申请号:CN200710305802.3
申请日:2007-12-24
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种注射泵对涂布液的吸引时间短、空气不会流入的涂布液供给装置。该涂布液供给装置包括:收容涂布液的涂布液箱体(1)、以及从涂布液箱体(1)吸引涂布液而将该涂布液向相对于工作台(14)沿规定方向相对移动的涂布装置(12)的模具(13)供给的注射泵(9),在涂布液箱体(1)与注射泵(9)之间还具有吸引涂布液箱体(1)中的涂布液而将该涂布液向注射泵(9)送出的增压泵(5),注射泵(9)安装在涂布装置(12)的与模具(13)的移动方向成直角方向的侧面上。
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