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公开(公告)号：CN111801170B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN201980013849.3
申请日：2019-04-02
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种清扫装置，从设置于在被涂布体的上方行进的涂布用喷嘴的前端面处的狭缝状的排出口排出涂敷液，在对被涂布体的表面涂布涂敷液之后，上述清扫装置通过清扫构件去除残留于涂布用喷嘴的前端部的涂敷液，在涂布用喷嘴的行进方向上夹着所需间隔设置的第一清扫构件和第二清扫构件设置有与涂布用喷嘴的前端部的形状对应的清扫用刮除部，并且上述第一清扫构件和第二清扫构件朝向涂布用喷嘴的前端部的长度方向向相反方向倾斜，使这些清扫构件中的清扫用刮除部沿着涂布用喷嘴的前端部，并使第一清扫构件和第二清扫构件依次向相反方向移动，从而对涂敷用喷嘴的前端部进行清扫。
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公开(公告)号：CN102992642B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201210327831.0
申请日：2012-09-06
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 一种基板供给装置（1），能在短时间内更换基板，其包括：多个臂部（4），这些臂部（4）设置成能一体地旋转及升降，且绕转轴对称地设置；多个小平台（6），这些小平台（6）分别被支承成与臂部（4）之间存在游隙，且所述小平台能对基板进行保持；以及主平台（7），该主平台（7）利用臂部（4）的旋转及升降来载置小平台（6），且包括在游隙的范围内对小平台（6）进行定位并保持的平台保持机构（9、10）。
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公开(公告)号：CN111801170A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201980013849.3
申请日：2019-04-02
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种清扫装置，从设置于在被涂布体的上方行进的涂布用喷嘴的前端面处的狭缝状的排出口排出涂敷液，在对被涂布体的表面涂布涂敷液之后，上述清扫装置通过清扫构件去除残留于涂布用喷嘴的前端部的涂敷液，在涂布用喷嘴的行进方向上夹着所需间隔设置的第一清扫构件和第二清扫构件设置有与涂布用喷嘴的前端部的形状对应的清扫用刮除部，并且上述第一清扫构件和第二清扫构件朝向涂布用喷嘴的前端部的长度方向向相反方向倾斜，使这些清扫构件中的清扫用刮除部沿着涂布用喷嘴的前端部，并使第一清扫构件和第二清扫构件依次向相反方向移动，从而对涂敷用喷嘴的前端部进行清扫。
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公开(公告)号：CN106031913A
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201510102889.9
申请日：2015-03-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂覆液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂覆液后关闭，停止涂覆液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。
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公开(公告)号：CN114054307A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202011470427.X
申请日：2020-12-14
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 提供一种将膜厚均匀性高的涂布膜形成于基板的边缘部平坦化设备及包括该设备的涂布干燥系统。边缘部平坦化设备(3)包括加热涂布在基板(7)的涂布液膜(8)的边缘部(49)的加热部(30)、测量边缘部(49)处的隆起的隆起测量传感器(40)、控制边缘部(49)处的涂布液膜(8)的表面张力的表面张力控制部(32、33)和控制表面张力控制部(32、33)的控制部(100)，控制部(100)用隆起测量传感器测量边缘部(49)处的隆起，同时控制表面张力控制部(32、33)并控制加热部(30)对边缘部(49)的加热以使边缘部(49)处的涂布液膜(8)的表面张力下降并抑制涂布液膜(8)的边缘部(49)处的隆起。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112474205A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202010939262.X
申请日：2020-09-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 提供一种能够将膜厚均匀性高的涂布膜形成于基板上的减压干燥装置。一种减压干燥装置(3)，包括：腔室(6)，上述腔室对涂布有包含溶剂的涂布液膜(8)的基板(7)进行收容；减压排气部(20)，上述减压排气部使上述腔室(6)的内部减压排气；以及汽化促进部(30、35)，上述汽化促进部促进来自上述涂布液膜(8)的上述溶剂的汽化，上述汽化促进部(30、35)配设在涂布于上述基板(7)的上述涂布液膜(8)的液周缘部(49)的周边。
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公开(公告)号：CN106031913B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201510102889.9
申请日：2015-03-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂敷液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂敷液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂敷液向涂敷液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂敷液供给系统连接，一边喷出供给来的涂敷液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂敷液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂敷液后关闭，停止涂敷液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂敷液供给系统，并且内部充满涂敷液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。
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公开(公告)号：CN101204692A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710199805.3
申请日：2007-12-05
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布装置(1)，具有基板保持载物台(2)和在基板保持载物台的宽度方向并排配置并具有保持喷嘴(5)的一对保持构件(4)的滑块(3)，所述基板保持载物台(2)的上表面(6)具有设在中央部的基板保持区域(11)和设在从所述基板保持区域(11)的宽度方向外侧至侧缘(10a)的位置的平滑区域(10)。保持构件(4)分别在其下端的所述基板保持载物台侧缘外侧位置形成沿所述基板保持载物台的侧面方向延伸的卡合部(13)，所述下端的所述基板保持载物台侧缘内侧载放在所述平滑区域(10)上，并沿侧面配置所述卡合部，因而可防止滑块(3)向所述基板保持载物台(2)的宽度方向偏移。采用本发明，可节省制造及安装的时间，消除喷嘴与基板的间隔窜动，可消除导轨的调整。
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公开(公告)号：CN115810556A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202111549821.7
申请日：2021-12-17
Applicant: 中外炉工业株式会社
Inventor： 横山雅树
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种基板保持装置，能抑制在解除基板的吸附时因来自供气流路的供气而使灰尘排出并附着于基板。基板保持装置包括：具有供基板载置的保持面的保持部；设置于所述保持部，并用于将所述基板吸附于所述保持面的吸附孔；以及设置于所述保持部的抽吸流路和供气流路，在解除所述基板相对于所述保持面的吸附时，从所述供气流路向所述基板供气，接着，通过所述抽吸流路抽吸所述吸附孔附近的空气。
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公开(公告)号：CN105312193B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201410705063.7
申请日：2014-11-26
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂敷装置及其改良方法，该涂敷装置具备涂敷对象物的移送功能，能够使设备节约空间化，并且在因设备的布局变更等进行移动设置时，也不会招致成本提高。在涂敷装置(1)中，具有喷出涂敷液的喷嘴(7)的移动体(6)与载置于工作台(4)的基板(3)相对移动，向基板涂敷从喷嘴喷出的涂敷液，支承基板且将其向工作台移送的支承臂(10)设于移动体。
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