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公开(公告)号：CN101279310B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN200710196478.6
申请日：2007-12-05
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: [目的]为了提供一种能够横过基板的整个长度和宽度施加一致厚度的涂层的基板涂敷设备及涂敷方法。[装置]作为调节形成于涂敷喷嘴上的排出口(4)的位置的装置，喷嘴定位器(5a～5e)横过涂敷喷嘴(3)的长度以适合的间隔安装。在涂敷喷嘴向前移动期间，安装到与对应的喷嘴定位器组成组的涂敷喷嘴上的每个距离传感器(6a～6e)沿基板的长度在多个量测点处测量涂敷喷嘴和基板(2)之间的间隙量，以便通过栅格图案测量基板表面上的波形变形。根据从每个距离传感器输入的间隙量数据，控制单元通过沿基板的长度在每个距离传感器处的平均间隙量的计算值来控制每个喷嘴定位器的致动。
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公开(公告)号：CN101279310A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200710196478.6
申请日：2007-12-05
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: [目的]为了提供一种能够横过基板的整个长度和宽度施加一致厚度的涂层的基板涂敷设备及涂敷方法。[装置]作为调节形成于涂敷喷嘴上的排出口(4)的位置的装置，喷嘴定位器(5a～5e)横过涂敷喷嘴(3)的长度以适合的间隔安装。在涂敷喷嘴向前移动期间，安装到与对应的喷嘴定位器组成组的涂敷喷嘴上的每个距离传感器(6a～6e)沿基板的长度在多个量测点处测量涂敷喷嘴和基板(2)之间的间隙量，以便通过栅格图案测量基板表面上的波形变形。根据从每个距离传感器输入的间隙量数据，控制单元通过沿基板的长度在每个距离传感器处的平均间隙量的计算值来控制每个喷嘴定位器的致动。
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公开(公告)号：CN101204687B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710128038.7
申请日：2007-06-22
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种涂布用涂布头的清扫装置，设有吸引部(23)，在使清扫构件(20)的前端部与设有供给涂布液(1)的狭缝状排出口(12)的涂布用涂布头(10)的前端面(11a)接触、使清扫构件沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时，该吸引部(23)可对由清扫构件从涂布用涂布头上除去后的涂布液进行吸引，并在清扫构件的移动方向后方侧设置有洗净液供给喷嘴(21)，该洗净液供给喷嘴(21)与清扫构件一起移动，将洗净液供给到从涂布用涂布头上除去涂布液后的清扫构件的前端部。在使清扫构件的前端部与涂布用涂布头接触状态下使其沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时，就能简单而可靠地除去附着在该清扫构件上的涂布液。
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公开(公告)号：CN101204687A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710128038.7
申请日：2007-06-22
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: B05B15/02
Abstract: 一种涂布用涂布头的清扫装置，设有吸引部(23)，在使清扫构件(20)的前端部与设有供给涂布液(1)的狭缝状排出口(12)的涂布用涂布头(10)的前端面(11a)接触、使清扫构件沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时，该吸引部(23)可对由清扫构件从涂布用涂布头上除去后的涂布液进行吸引，并在清扫构件的移动方向后方侧设置有洗净液供给喷嘴(21)，该洗净液供给喷嘴(21)与清扫构件一起移动，将洗净液供给到从涂布用涂布头上除去涂布液后的清扫构件的前端部。在使清扫构件的前端部与涂布用涂布头接触状态下使其沿涂布用涂布头的长度方向移动而将附着在涂布用涂布头的唇部上的涂布液除去时，就能简单而可靠地除去附着在该清扫构件上的涂布液。
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