一种基于迈克尔逊干涉的微小器件形貌测量校准方法

    公开(公告)号:CN119354096A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411586276.2

    申请日:2024-11-07

    Abstract: 本发明提供了一种基于迈克尔逊干涉的微小器件形貌测量校准方法,利用迈克尔逊干涉原理,针对压电陶瓷控制仪精度有限、步距不定的情况进行校准。通过基于白光干涉光路结构的系统,在压电陶瓷驱动系统两侧放置平面镜,组成两套迈克尔逊干涉仪。第一侧的迈克尔逊干涉仪用于获取微小器件表面的干涉条纹,根据干涉条纹的变化关系,结合数字图像处理,精确计算出压电陶瓷步距,再利用另一侧的迈克尔逊干涉仪对压电陶瓷的步距进行校准。与无校准系统的迈克尔逊干涉仪对比,该方法能够实现对压电陶瓷步距的精准把控,获取更清晰准确的干涉图像,提高系统对微小器件表面形貌复原的能力。

    一种光纤端面缺陷观察及检测装置

    公开(公告)号:CN222618520U

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202420779528.2

    申请日:2024-04-16

    Inventor: 田俊豪 娄开成

    Abstract: 本实用新型涉及光纤缺陷检测技术领域,公开了一种光纤端面缺陷观察及检测装置,包括光纤套件、光纤固定结构、观察镜结构、支撑结构和照明结构,光纤套件通过光纤固定结构固定在支撑结构的上方,观察镜结构位于光纤套件的对向,光纤套件、观察镜结构的角度能够进行调节;照明结构位于观察镜结构的旁侧,用于提供定向照明。支撑结构包括下底板、套筒底板、立柱套筒和立柱,套筒底板固定在下底板的上端中央,立柱套筒设置在套筒底板的上端中央,立柱底端通过螺钉固定在立柱套筒中。本实用新型的结构简单小巧,观察镜及光纤的端面角度均可调节,同时设置有照明结构可以辅助照明,不仅方便观察及检测光纤的端面缺陷,还可以提高检测精度。

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