公开(公告)号：CN118071597A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202311568986.8

申请日：2023-11-22

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 凌彦镔 ,  田俊豪 ,  陈煜茗 ,  陈柯宇 ,  徐成 ,  刘昊昀 ,  倪军 ,  沈洋

IPC: G06T3/4053 ,  G06T5/50 ,  G06T5/00 ,  G06T5/70 ,  G06T3/4007 ,  G06T5/10 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/084 ,  G06N3/126

Abstract: 本发明涉及白光干涉图像处理的高精度端面检测技术领域，具体涉及一种基于卷积神经网络的光纤连接器及半导体材料表面采样图像超分辨率重建技术。包括步骤：使用CCD相机拍摄并收集高分辨率端面图像数据，并对数据进行退化，对退化后的低分辨率图像提取像素点干涉曲线，之后利用傅里叶变换以及遗传算法拟合包络线，找到曲线最高点并进行处理，最终可得到该像素点相对高度值，再使用改进过后的滤波技术剔除噪声点后，最终再运用超分辨率技术，重建为高分辨率端面图像。与往常方法相比，使用超分辨率技术预处理和傅里叶变换以及遗传算法拟合包络线的方式，既可以大幅度减少系统运算的数据，还可以确保图像的重建精度。

公开(公告)号：CN119354096A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411586276.2

申请日：2024-11-07

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 陈煜茗 ,  徐成 ,  罗晴博 ,  闫婷婷 ,  刘昊昀 ,  康一明 ,  王自珉 ,  田俊豪 ,  沈洋

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02055

Abstract: 本发明提供了一种基于迈克尔逊干涉的微小器件形貌测量校准方法，利用迈克尔逊干涉原理，针对压电陶瓷控制仪精度有限、步距不定的情况进行校准。通过基于白光干涉光路结构的系统，在压电陶瓷驱动系统两侧放置平面镜，组成两套迈克尔逊干涉仪。第一侧的迈克尔逊干涉仪用于获取微小器件表面的干涉条纹，根据干涉条纹的变化关系，结合数字图像处理，精确计算出压电陶瓷步距，再利用另一侧的迈克尔逊干涉仪对压电陶瓷的步距进行校准。与无校准系统的迈克尔逊干涉仪对比，该方法能够实现对压电陶瓷步距的精准把控，获取更清晰准确的干涉图像，提高系统对微小器件表面形貌复原的能力。