公开(公告)号：CN119354096A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411586276.2

申请日：2024-11-07

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 陈煜茗 ,  徐成 ,  罗晴博 ,  闫婷婷 ,  刘昊昀 ,  康一明 ,  王自珉 ,  田俊豪 ,  沈洋

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02055

Abstract: 本发明提供了一种基于迈克尔逊干涉的微小器件形貌测量校准方法，利用迈克尔逊干涉原理，针对压电陶瓷控制仪精度有限、步距不定的情况进行校准。通过基于白光干涉光路结构的系统，在压电陶瓷驱动系统两侧放置平面镜，组成两套迈克尔逊干涉仪。第一侧的迈克尔逊干涉仪用于获取微小器件表面的干涉条纹，根据干涉条纹的变化关系，结合数字图像处理，精确计算出压电陶瓷步距，再利用另一侧的迈克尔逊干涉仪对压电陶瓷的步距进行校准。与无校准系统的迈克尔逊干涉仪对比，该方法能够实现对压电陶瓷步距的精准把控，获取更清晰准确的干涉图像，提高系统对微小器件表面形貌复原的能力。

公开(公告)号：CN119730543A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411908180.3

申请日：2024-12-23

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 张贻俊 ,  闫婷婷 ,  沈洋 ,  胡光才

IPC: H10K30/10 ,  H10K30/60 ,  H10K85/10 ,  H10K30/81 ,  B81B1/00

Abstract: 本发明公开了一种氧化镓圆台微米柱‑PANI的PN型紫外探测器，旨在提供一种高效、灵敏且性能稳定的紫外探测解决方案。所述PN结由下往上依次包括衬底层，氧化镓层，氧化镓圆台微米柱阵列，聚苯胺(Polyaniline,PANI)层和电极层；其中N型半导体为氧化镓层和氧化镓圆台微米柱阵列，P型半导体为PANI层，所述氧化镓层材料为α相、κ相、γ相或β相氧化镓，所述氧化镓圆台微米柱材料为α相、κ相、γ相或β相氧化镓。相对于一般的PN型探测器，本发明引入的氧化镓圆台微米柱结构，极大的增大了探测器的表面积，增加了对紫外光的吸收，提高了探测器的吸收效率和响应速度，相对于纳米结构的氧化镓，本发明制备的氧化镓圆台微米柱阵列形貌精准可控，制造工艺简单。