公开(公告)号：CN101644691B

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN200810118013.3

申请日：2008-08-06

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 纪刚 ,  孙国胜 ,  宁瑾 ,  刘兴昉 ,  赵永梅 ,  王雷 ,  赵万顺 ,  曾一平 ,  李晋闽

IPC: G01N27/20 ,  G01N27/14 ,  G01K7/01

Abstract: 一种电学测试的汞探针装置，其特征在于，包括：一基座，该基座为扁平状的圆柱体，在基座的中心处纵向开有一细水银槽，在基座的中心处细水银槽的周围开有圆环形的水银槽；在基座的左侧圆柱体侧壁上开有一左水银槽，该左水银槽与圆环形的水银槽连通；与左水银槽相对的位置开有一右水银槽，该右水银槽与细水银槽垂直连通；与左、右水银槽垂直，在基座的上面分别开有一与左、右水银槽连通的左、右水银通道；一左推杆，该左推杆的一端插入在左水银槽内；一右推杆，该右推杆的一端插入在右水银槽内。

公开(公告)号：CN101644691A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200810118013.3

申请日：2008-08-06

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 纪刚 ,  孙国胜 ,  宁瑾 ,  刘兴昉 ,  赵永梅 ,  王雷 ,  赵万顺 ,  曾一平 ,  李晋闽

IPC: G01N27/20 ,  G01N27/14 ,  G01K7/01

Abstract: 一种电学测试的汞探针装置，其特征在于，包括：一基座，该基座为扁平状的圆柱体，在基座的中心处纵向开有一细水银槽，在基座的中心处细水银槽的周围开有圆环形的水银槽；在基座的左侧圆柱体侧壁上开有一左水银槽，该左水银槽与圆环形的水银槽连通；与左水银槽相对的位置开有一右水银槽，该右水银槽与细水银槽垂直连通；与左、右水银槽垂直，在基座的上面分别开有一与左、右水银槽连通的左、右水银通道；一左推杆，该左推杆的一端插入在左水银槽内；一右推杆，该右推杆的一端插入在右水银槽内。

公开(公告)号：CN101492835A

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200810056727.6

申请日：2008-01-24

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 刘兴昉 ,  孙国胜 ,  李晋闽 ,  赵永梅 ,  王雷 ,  赵万顺 ,  王亮 ,  纪刚 ,  杨挺 ,  曾一平

IPC: C30B29/02 ,  C30B25/02

Abstract: 本发明一种由绝缘衬底上超薄六方相碳化硅膜外延石墨烯的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：取一绝缘衬底；步骤2：采用氢气对绝缘衬底进行高温刻蚀预处理，用于去除表面划痕等缺陷，将表面刻蚀平整；步骤3：对绝缘衬底进行高温氮化处理，用于活化外延表面，使后续碳化硅易于附着在衬底表面且与衬底保持相同晶向关系；步骤4：在绝缘衬底上外延六方相单晶态碳化硅；步骤5：将碳化硅中的硅原子蒸发掉，完成在绝缘衬底上制备石墨烯。