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公开(公告)号：CN109686806A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201811514186.7
申请日：2018-12-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L31/105 , H01L31/0232 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/105 , H01L31/0232 , H01L31/1844
Abstract: 本发明公开了一种可见光至近红外的单芯片集成的光谱探测器装置及制备方法，其中，该装置包括：外延片，包括上部的N接触层；胶状量子点阵列组成的胶状量子点滤光层，位于N接触层上。其制备方法中，胶状量子点由可以吸收可见光至近红外波段的硫化镉、硒化镉、硫化铅量子点纳米颗粒与对苯二胺混合后溶入高分子聚合物聚乙烯醇缩丁醛氯仿溶液中制成。本发明提供的焦平面器件的优点在于能够将多个不同波段的入射光进行分立同步采集，利用波长复用原理对原始光谱进行重建，同时获取多个波段的目标信息，有效地消除多色探测目标时遇到的干扰，提高对目标的高分辨效果。
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公开(公告)号：CN108209941A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810007103.9
申请日：2018-01-03
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: A61B5/1455
Abstract: 本公开提供一种血氧探测器探测单元，包括：信号发射端，用于向人体皮肤方向发射红外线，其由下自上包括：红外线发射模块，用于向人体皮肤方向发射红外线；以及红光发射模块，用于向人体皮肤方向发射红光；以及信号接收端，与所述信号发射端相邻设置，用于接收来自人体皮肤方向的，由所述信号发射端发出，照射人体皮肤后反射回的红外线，根据红外线和红光吸收率的差值，计算出人体皮肤中的血氧饱和度。信号发射端和信号接收端相邻设置，且血氧探测器探头单元整体尺寸很小，在人体运动过程中，信号发射端和信号接收端相对皮肤而言只发生了极小的相对运动，因此光电信号可以保持稳定。
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公开(公告)号：CN105609589B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201610065321.9
申请日：2016-01-29
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L31/18 , H01L21/205 , C23C16/44 , H01L21/027 , G03F7/20 , G03F7/16 , H01L21/306 , B81C1/00
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种适用于转印的无机半导体薄膜功能单元的制备方法，该制备方法包括：生长带有牺牲层的无机半导体外延片，传统功能单元制备；牺牲层钻蚀；涂覆柔性聚合物材料及其图形化；腐蚀牺牲层；完成适用于转印的超薄无机半导体功能单元制备。本发明制备的无机半导体功能单元具有厚度小、结构有序可控、重复性好、制作成本低、操作简单及易于转印等优点。
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公开(公告)号：CN105609589A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201610065321.9
申请日：2016-01-29
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L31/18 , H01L21/205 , C23C16/44 , H01L21/027 , G03F7/20 , G03F7/16 , H01L21/306 , B81C1/00
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/18 , B81C1/00 , C23C16/44 , G03F7/16 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/30608 , H01L21/30617
Abstract: 本发明公开了一种适用于转印的无机半导体薄膜功能单元的制备方法，该制备方法包括：生长带有牺牲层的无机半导体外延片，传统功能单元制备；牺牲层钻蚀；涂覆柔性聚合物材料及其图形化；腐蚀牺牲层；完成适用于转印的超薄无机半导体功能单元制备。本发明制备的无机半导体功能单元具有厚度小、结构有序可控、重复性好、制作成本低、操作简单及易于转印等优点。
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公开(公告)号：CN105489716A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610006965.0
申请日：2016-01-05
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L33/00
CPC classification number: H01L33/0079
Abstract: 本发明公开了一种无机柔性LED阵列的制备方法，包括：在半导体衬底上生长具有牺牲层的LED外延片，光刻形成环形图形化的光刻胶掩膜，刻蚀至LED外延片下接触层；光刻刻蚀工艺制作侧面钝化层；形成图形化的金属图形，退火合金化之后形成欧姆接触；刻蚀环型下台面，暴露出牺牲层；腐蚀牺牲层并钻蚀一定长度；旋涂柔性聚合物材料；刻蚀内环和部分金属电极上方覆盖的聚合物材料，暴露出部分金属电极以制备金属互连；金属溅射并进行图形化处理制备LED单元互联；旋涂柔性聚合物材料；暴露出内环牺牲层；腐蚀剩余的牺牲层；剥离柔性聚合物包裹的无机LED阵列，完成无机柔性LED阵列的制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108209941B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201810007103.9
申请日：2018-01-03
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: A61B5/1455
Abstract: 本公开提供一种血氧探测器探测单元，包括：信号发射端，用于向人体皮肤方向发射红外线，其由下自上包括：红外线发射模块，用于向人体皮肤方向发射红外线；以及红光发射模块，用于向人体皮肤方向发射红光；以及信号接收端，与所述信号发射端相邻设置，用于接收来自人体皮肤方向的，由所述信号发射端发出，照射人体皮肤后反射回的红外线，根据红外线和红光吸收率的差值，计算出人体皮肤中的血氧饱和度。信号发射端和信号接收端相邻设置，且血氧探测器探头单元整体尺寸很小，在人体运动过程中，信号发射端和信号接收端相对皮肤而言只发生了极小的相对运动，因此光电信号可以保持稳定。
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公开(公告)号：CN108815714B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201810339609.X
申请日：2018-04-16
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供了一种可延展柔性光电针灸器件的制备方法，包括以下步骤：步骤1、制备可延展柔性光电针灸探头阵列；步骤2、在可延展柔性光电针灸探头阵列的底面涂覆可延展柔性绝缘材料，完成封装，形成可延展柔性光电针灸器件。本发明还提供了一种可延展柔性光电针灸器件，其包括：可延展柔性光电针灸探头阵列、可延展柔性绝缘材料，可延展柔性绝缘材料涂覆在可延展柔性光电针灸探头阵列的表面。本发明是把传统的无机半导体器件和有机柔性可延展基底相结合的新型柔性无机集成器件，既保留了无机器件的诸多优点，又具备了柔性和可延展性以及防水、人体生物组织相容性等功能。
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公开(公告)号：CN108815714A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810339609.X
申请日：2018-04-16
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供了一种可延展柔性光电针灸器件的制备方法，包括以下步骤：步骤1、制备可延展柔性光电针灸探头阵列；步骤2、在可延展柔性光电针灸探头阵列的底面涂覆可延展柔性绝缘材料，完成封装，形成可延展柔性光电针灸器件。本发明还提供了一种可延展柔性光电针灸器件，其包括：可延展柔性光电针灸探头阵列、可延展柔性绝缘材料，可延展柔性绝缘材料涂覆在可延展柔性光电针灸探头阵列的表面。本发明是把传统的无机半导体器件和有机柔性可延展基底相结合的新型柔性无机集成器件，既保留了无机器件的诸多优点，又具备了柔性和可延展性以及防水、人体生物组织相容性等功能。
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公开(公告)号：CN106877732B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201710164775.6
申请日：2017-03-17
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明提供了一种基于褶皱导电薄膜的摩擦发电机，包括：上摩擦层，包含：上绝缘层(200)，由柔性材料制备；上电极(100)，位于上绝缘层之上；下摩擦层，包含：衬底(400)，由柔性材料制备；下电极(300)，位于衬底之上，由褶皱的导电薄膜材料制备。褶皱的设计提高了摩擦面积和摩擦效应，使得相同面积的器件可以有更大的输出电压，在同样的空间结构中，有效提高了摩擦发电机的输出电压和输出功率，有利于将多个摩擦发电机进行集成和推广，上、下均为褶皱电极还提升了器件的延展性，从而拓宽了发电方式，不仅可以通过压力发电，还可以通过拉伸和弯曲发电，增强了器件的通用性，有助于拓宽摩擦发电机在复杂环境与人机界面方面的应用。
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公开(公告)号：CN108878585A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810659964.5
申请日：2018-06-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L31/18 , H01L31/101
Abstract: 一种多波段可见光至近红外的焦平面探测器的制备方法，包括：步骤1：在一InP衬底上依次生长牺牲层、N接触层、光吸收层和帽层；步骤2：从帽层的一侧向下刻蚀，刻蚀深度达到N接触层，便于电极引出；步骤3：在接触层和帽层上生长图形金属电极，并在电极上生长铟柱，得到探测器芯片；步骤4：取一个读出电路，将探测器芯片与读出电路倒扣，得到一个焦平面模块；步骤5：对焦平面模块的背面，去除衬底和牺牲层；步骤6：在N接触层上生长SiO2介质膜，图形化制备多层分光透光膜，形成多波段可见光至近红外焦平面探测器。本发明具有工艺简单，产品成像速度快，成本低的优点，其解决了集成度低的问题。
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