公开(公告)号：CN115394606A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202110568371.X

申请日：2021-05-24

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 宁瑾 ,  侯中轩 ,  韩国威 ,  司朝伟 ,  何昱容 ,  赵永梅 ,  王晓东 ,  杨富华

IPC: H01H59/00 ,  H01H1/021 ,  H01H1/00

Abstract: 本公开提供一种MEMS开关，包括：衬底；第一触点(5)和第二触点(7)，设置在衬底上；可变形的导电悬臂(8)，导电悬臂的第一端与第一触点(5)电连接；以及第一可动触点(9)，设置在导电悬臂(8)的第二端，使得导电悬臂(8)通过第一可动触点(9)与第二触点(7)可断开地电连接，其中，导电悬臂(8)和第一可动触点(9)中的至少一个由钪合金制备而成。本公开通过优化MEMS开关悬臂梁和可动触点的材料选择，在金属中掺入不同比例的钪，提升了开关的寿命和可靠性。