一种电致变色薄膜及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN111334771B

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN202010331408.2

    申请日:2020-04-24

    Abstract: 本发明提供了一种电致变色薄膜及其制备方法和应用,属于光电材料领域。本发明提供的电致变色薄膜的制备方法包括:首先采用磁控溅射方法在基片表面沉积金属薄膜,所述金属为钒或铌;然后利用高能原子氧束流辐照所述金属薄膜,最终制备得到金属氧化物电致变色薄膜。本发明提供的电致变色薄膜制备方法不用在磁控溅射阶段使用氧气,高能原子氧束流辐照可以均匀氧化溅射金属薄膜,方法简单,容易操作,且过程容易控制;而且本发明所述方法制备得到的电致变色薄膜性能稳定。

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