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公开(公告)号:CN111378928B
公开(公告)日:2021-06-29
申请号:CN202010322092.0
申请日:2020-04-22
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所 , 上海宇航系统工程研究所
Abstract: 本发明提供一种纳米晶MoS2固体润滑薄膜及其制备方法和应用,属于固体润滑薄膜技术领域。本发明提供的制备方法,包括以下步骤:利用溅射方法在钢材表面沉积MoS2薄膜,得到沉积后钢材;将所述沉积后钢材进行真空热处理,在所述沉积后钢材表面得到纳米晶MoS2固体润滑薄膜。本发明利用溅射方法制得的MoS2薄膜具有致密的类非晶结构;利用真空热处理能够使MoS2薄膜的结构由类非晶结构向纳米晶结构转变。本发明通过将溅射方法与真空热处理相结合来调控MoS2薄膜中MoS2的结晶性,以实现对纳米晶MoS2固体润滑薄膜摩擦学性能的调控,进而提高纳米晶MoS2固体润滑薄膜的摩擦学性能。
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公开(公告)号:CN111378928A
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN202010322092.0
申请日:2020-04-22
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所 , 上海宇航系统工程研究所
Abstract: 本发明提供一种纳米晶MoS2固体润滑薄膜及其制备方法和应用,属于固体润滑薄膜技术领域。本发明提供的制备方法,包括以下步骤:利用溅射方法在钢材表面沉积MoS2薄膜,得到沉积后钢材;将所述沉积后钢材进行真空热处理,在所述沉积后钢材表面得到纳米晶MoS2固体润滑薄膜。本发明利用溅射方法制得的MoS2薄膜具有致密的类非晶结构;利用真空热处理能够使MoS2薄膜的结构由类非晶结构向纳米晶结构转变。本发明通过将溅射方法与真空热处理相结合来调控MoS2薄膜中MoS2的结晶性,以实现对纳米晶MoS2固体润滑薄膜摩擦学性能的调控,进而提高纳米晶MoS2固体润滑薄膜的摩擦学性能。
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公开(公告)号:CN111334771B
公开(公告)日:2021-04-27
申请号:CN202010331408.2
申请日:2020-04-24
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种电致变色薄膜及其制备方法和应用,属于光电材料领域。本发明提供的电致变色薄膜的制备方法包括:首先采用磁控溅射方法在基片表面沉积金属薄膜,所述金属为钒或铌;然后利用高能原子氧束流辐照所述金属薄膜,最终制备得到金属氧化物电致变色薄膜。本发明提供的电致变色薄膜制备方法不用在磁控溅射阶段使用氧气,高能原子氧束流辐照可以均匀氧化溅射金属薄膜,方法简单,容易操作,且过程容易控制;而且本发明所述方法制备得到的电致变色薄膜性能稳定。
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公开(公告)号:CN111411339B
公开(公告)日:2021-03-16
申请号:CN202010322844.3
申请日:2020-04-22
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: C23C14/35 , C23C14/14 , C23C14/06 , C23C14/50 , C23C14/34 , C23C14/02 , C23C16/50 , C23C16/26 , C23C28/00 , F16H55/06 , F16H57/04 , F16C33/64 , F16C33/66
Abstract: 本发明提供一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法,涉及减速器的润滑技术领域。本发明提供的固体润滑方法,包括以下步骤:利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的柔轮以及波发生器中的大挡片和小挡片表面沉积过渡层;利用等离子体辅助化学气相沉积结合封闭场非平衡磁控溅射在所述过渡层表面沉积C‑WC复合薄膜层;利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的刚轮以及波发生器中的柔性轴承内圈和柔性轴承外圈表面沉积MoS2/WS2纳米多层自润滑薄膜层。本发明提供的固体润滑方法,使杯型谐波齿轮减速器在大气环境、真空环境和高低温环境条件下具有低摩擦扭矩,且其传动特性对环境温度不敏感,适应性强。
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公开(公告)号:CN111411339A
公开(公告)日:2020-07-14
申请号:CN202010322844.3
申请日:2020-04-22
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: C23C14/35 , C23C14/14 , C23C14/06 , C23C14/50 , C23C14/34 , C23C14/02 , C23C16/50 , C23C16/26 , C23C28/00 , F16H55/06 , F16H57/04 , F16C33/64 , F16C33/66
Abstract: 本发明提供一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法,涉及减速器的润滑技术领域。本发明提供的固体润滑方法,包括以下步骤:利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的柔轮以及波发生器中的大挡片和小挡片表面沉积过渡层;利用等离子体辅助化学气相沉积结合封闭场非平衡磁控溅射在所述过渡层表面沉积C-WC复合薄膜层;利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的刚轮以及波发生器中的柔性轴承内圈和柔性轴承外圈表面沉积MoS2/WS2纳米多层自润滑薄膜层。本发明提供的固体润滑方法,使杯型谐波齿轮减速器在大气环境、真空环境和高低温环境条件下具有低摩擦扭矩,且其传动特性对环境温度不敏感,适应性强。
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公开(公告)号:CN110231241A
公开(公告)日:2019-09-13
申请号:CN201810177837.1
申请日:2018-03-05
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明公开了润滑薄膜摩擦学性能自动评价装置,该装置由摩擦试验机、摩擦力测试、真空系统、伺服电机及电器控制构成。本发明是将高真空或大气、氮气、氦气等环境和装有伺服电机系统的摩擦试验机跟预先设定好启停逻辑关系的仪表以及继电器开关控制电路优化集成而成;本发明能够在高真空或大气、氮气、氦气等环境下对润滑薄膜的摩擦力、摩擦系数、摩损寿命等实现自动评价的试验装置,同时也可在手动控制下实现评价试验。
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公开(公告)号:CN106119776A
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:CN201610815941.X
申请日:2016-09-12
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/022 , C23C14/0623 , C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种纳米织构化CrN/WS2固体润滑薄膜的制备方法,具体步骤为:1)采用超声清洗法清洗基片;2)用氩离子溅射清洗基片;3)采用中频磁控溅射技术沉积表面具有纳米锥状阵列结构的CrN层;4)通过射频磁控溅射技术沉积WS2润滑薄膜层。本发明所述薄膜结构致密,与基底材料的结合牢固,纳米锥状阵列结构的CrN提供良好的支撑和保存WS2润滑膜的作用,整体薄膜呈现出明显改善的摩擦学性能,具有良好的应用前景。
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公开(公告)号:CN118581423A
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202410643968.X
申请日:2024-05-23
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种金基复合薄膜及其制备方法和应用、导电滑环组件,属于真空环境用导电薄膜材料技术领域。本发明提供的金基复合薄膜包括依次叠层设置在基底表面的过渡层和氮掺杂金层;所述过渡层具有Ti‑(TiAgCu)n‑(Ti)m梯度渐变结构,其中,n为TiAgCu渐变结构出现的次数,1≤n≤10;m为Ti层的层数,0≤m≤1。在本发明中,过渡层能够增强膜‑基底结合强度,氮掺杂金层能够增强膜的电接触性能。本发明提供的金基复合薄膜具有良好的摩擦学性能与电接触性能,可应用于制备导电滑环组件。
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公开(公告)号:CN110530636B
公开(公告)日:2024-06-18
申请号:CN201810498617.9
申请日:2018-05-23
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: G01M13/025
Abstract: 本发明公开了模拟空间环境谐波减速器传动性能测试系统,将谐波减速器的传动性能测试与高真空、高温、低温和高低温交变等空间环境模拟优化集成而成,以实现空间润滑技术处理后的谐波减速器在模拟空间环境中运转时的传动精度、传动扭矩、传动效率以及运转寿命的测试与考察,为空间飞行器用谐波减速器的润滑技术、谐波减速器机型与运转参数之间的选型匹配提供必要的测试及研究依据。
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公开(公告)号:CN117946780A
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN202410112700.3
申请日:2024-01-26
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: C10M103/00 , C10M177/00 , C10N50/08
Abstract: 本发明涉及固体润滑技术领域,尤其涉及一种记忆合金复合固体润滑薄膜材料及其制备方法和应用。本发明提供了一种记忆合金复合固体润滑薄膜材料,制备原料包括形状记忆合金和层状过渡金属二硫族化合物;所述形状记忆合金和层状过渡金属二硫族化合物的质量比为(1~30):100。所述记忆合金复合固体润滑薄膜材料具有较优的摩擦学性能(真空环境中)的同时,还具有智能响应性。
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