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公开(公告)号：CN119321877A
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202411566750.5
申请日：2024-11-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种离焦扩束系统放大倍率检测装置及方法，属于精密光学测量领域。装置主要由光学隔振平台、多齿分度台、反射镜调整座、反射镜、离焦扩束系统、自准直仪、自准直仪调整平台构成。本发明通过控制多齿分度台精密转角运动，并使用自准直仪测量经过离焦扩束系统后的角度变化，通过计算角度比值得到离焦扩束系统放大倍率。本发明测量装置结构简化，可实现离焦扩束系统放大倍率的精密测量。
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公开(公告)号：CN117921541A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410036682.5
申请日：2024-01-10
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种光学元件面形非接触式检测装置及方法，主要用于光学元件研磨加工阶段面形非接触式检测。该装置由光学加工机器人、光学测距传感器、激光跟踪仪、靶球、精密机械件、检测架组成。该检测装置基于空间点坐标采集与计算，通过数据同步采集与处理分析，得到光学元件面形结果。本发明采用光学测距传感器测量，检测精度高，可实现非接触式测量；采用激光跟踪仪测量靶球空间位置数据，便于实现光学元件在位检测。
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公开(公告)号：CN111272095B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010114036.8
申请日：2020-02-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种高精度二维位置传感器对心检测装置和方法，主要用于光学测距传感器光轴姿态调整，与转台轴心线的快速对心调整，并精确测量对心误差。该装置由多维调整机构、光学测距传感器、二维位置传感器、固定装置、转台组成。二维位置传感器测量光学测距传感器光斑中心的位置，调整测距传感器不同位置高度，测量测距传感器光斑中心在对应位置的坐标数据，通过数据处理得到测距传感器的姿态；随着转台转动，测量光学测距传感器光斑中心在转台对应位置的坐标数据，通过数据处理得到光学测距传感器光轴与转台轴心线相对位置关系以及对心误差。本发明采用二维位置传感器进行姿态调整、对心调整和检测，调整精度高，检测精度高、重复性好。
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公开(公告)号：CN111609997A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010374930.9
申请日：2020-05-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置，包括：双频激光器、用于形成测量光学腔及补偿光学腔的支架、分光镜、转折镜、角锥镜、用于干涉测量的接收器及处理电路、用于实现面阵扫描的转台及直线位移台、主控器。本发明检测装置结构简单、工程易实现且具有较强的扩展性，可实现透射式光学元件光程均匀性快速、高精度的测量。
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公开(公告)号：CN104019750B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201410243303.6
申请日：2014-06-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明一种摆臂式轮廓仪有效臂长的测量装置和方法，该装置由第一靶球、第二靶球、微调机构、横臂、横臂支座、配重块、计算机、第一角度块、横臂转台、第二角度块、激光跟踪仪、工件转台、待测镜面、接触式传感器和工作台面组成；横臂绕横臂转台轴心线旋转，接触式传感器的测头球心、第一靶球的球心和第二靶球的球心在空间形成绕横臂转台轴心线旋转的圆弧轨迹，激光跟踪仪分别跟踪测量第一靶球的球心和第二靶球的球心在空间形成的圆弧轨迹，通过计算机的数据处理，得到接触式传感器的测头球心到横臂转台轴心线的距离，即摆臂式轮廓仪有效臂长。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104215186A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410528758.2
申请日：2014-10-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明公开了一种摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法，该装置摆臂式轮廓仪测头系统包括接触式传感器夹具、接触式传感器、第一靶球和第二靶球，多功能测量显微镜包括多功能测量显微镜立柱头、多功能测量显微镜立柱和多功能测量显微镜工作台面。通过控制多功能测量显微镜工作台面实现X、Y方向的移动，控制多功能测量显微镜立柱头实现Z方向的移动，分别使第一靶球、第二靶球和接触式传感器测头通过点源显微镜CCD成像并且在计算机窗口上显示对应光斑最小，此时多功能测量显微镜的坐标即是第一靶球的球心、第二靶球的球心和接触式传感器的测头的球心对应测量的空间位置坐标。本发明精度较高，同时可以方便快捷的实现。
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公开(公告)号：CN119687789A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411905440.1
申请日：2024-12-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明为公开了一种零部件大跨距螺孔位置与刮研平面度的在位测量方法，属于测量领域。本方法是通过制作复合式靶座，作为激光跟踪仪测量靶座，通过复合式靶座上端3处定位球固定球形角锥镜，同时保证角锥镜球心与下端螺纹杆同心，利用激光跟踪仪结合复合式靶座测量并分析螺孔位置度；取下螺纹杆利用复合式靶座底部与刮研面接触完成刮研平面度测量。本发明方法能确保球形角锥镜重复放置旋转时都具有良好的定心及重复性精度，并且靶座可更换不同规格螺纹杆，适用不同规格的螺纹孔快速检测。同时不受刮研点子影响平面度测量，能有效保护被测表面，具有效率高、结构简单、易实现、成本低等特点。
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公开(公告)号：CN119573555A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411824975.6
申请日：2024-12-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸环形零件形位公差的在位测量方法，属于检测技术领域，用于大尺寸环形光学、机械零件在位测量，其步骤为：（1）利用标尺、激光干涉仪、标准球标定数控加工中心精度；（2）使用指示表测量并调试工件与转台平行、同心；（3）利用激光跟踪仪测量工件参数建立工件坐标系；（4）使用激光跟踪仪结合机床测量零件外形轮廓参数；（5）分析零件几何量形位误差。本发明方法解决了大尺寸环形工件加工过程的在位测量问题，降低了工件需反复运输送检的风险与成本，具有操作便捷，安全高效，测量精度高等特点。
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公开(公告)号：CN119197337A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411667431.3
申请日：2024-11-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于折衍混合原理的光谱共焦位移测头，属于光学测量技术领域，包括镜筒、光纤接口、折衍射混合透镜、光纤、光阑，镜筒一端设有光纤接口，折衍射混合透镜安装在镜筒内部，位于与光纤接口相对的另一端，折衍射混合透镜沿光轴从左往右的第一面为非球面，第二面为衍射面，用于光束聚焦和色散；所述镜筒的另一端设有光阑，其中复色光由光纤引入至镜筒内，经过折衍射混合透镜的非球面以及衍射面后进行色散聚焦，其焦点在光轴上随波长线性分布。与传统折射型光谱共焦测头相比，本发明提出的测头具有色散线性度好、结构简单、易于装调、体积小、重量轻等优势。
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公开(公告)号：CN119126403A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411616904.7
申请日：2024-11-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于双面纯相位型衍射色散透镜的光谱共焦位移测头，属于光学测量技术领域，包括镜筒、光纤接口、双面纯相位型衍射色散透镜、第一衍射面、第二衍射面、光纤、光阑，镜筒的一端设有光纤接口，用于安装光纤，在镜筒的内部靠近镜筒另一端设有双面纯相位型衍射色散透镜，双面纯相位型衍射色散透镜具有第一衍射面和第二衍射面，第一衍射面是光入射面，第二衍射面是光出射面，镜筒的另一端设有光阑，其中复色光由光纤引入至镜筒内，经过双面纯相位型衍射色散透镜的第一衍射面和第二衍射面后进行色散聚焦，不同波长的光聚焦在光轴的不同位置。根据本发明技术方案，显著地简化了测头光学系统的复杂程度。
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