-
公开(公告)号：CN120060780A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510231767.3
申请日：2025-02-28
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种碲烯光电探测器阵列的制备方法及其应用，涉及光电探测器制备技术领域，包括：将阵列掩膜板和基板依次置于基板托架上；利用脉冲激光沉积技术在所述阵列掩膜板的通孔处沉积碲烯层，沉积完成后取下所述阵列掩膜板得到由若干像素单元组成的阵列；将电极掩膜板和镀有所述阵列的基板依次放置于基板托架上，利用物理气相沉积技术在通孔处沉积电极，并将所述电极与读出电极相连接。本发明采用脉冲激光沉积技术结合掩膜板的方法制备碲烯光电探测器阵列，无需使用光刻胶或刻蚀液等有机物，避免了传统光刻工艺中多次旋涂、显影引入的污染，可实现碲烯光电探测器阵列的简单高效、低成本、无污染制备。
-
公开(公告)号：CN112242455B
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202010965478.3
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种范德瓦尔斯非对称势垒结构的红外探测器及制备方法。所述探测器结构包括衬底、介质层、石墨烯层、二硫化钼层、黑磷层和金属源、漏电极。器件制备步骤是将机械剥离的石墨烯、二硫化钼和黑磷依次转移到具有介质层的衬底上，运用电子束曝光和热蒸发等工艺分别在黑磷和石墨烯上制作金属源、漏电极，形成了垂直结构的范德瓦尔斯单载流子红外光电探测器。利用二维材料丰富的能带结构和独特的物理特性，设计了多子阻挡的非对称势垒能带结构，可以对暗电流进行有效的抑制，进而实现了中波红外的室温黑体探测、偏振探测和红外成像。该探测器具有室温工作、多子阻挡、中波红外响应、灵敏度高、响应快及黑体探测等特点。
-
公开(公告)号：CN116646412A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310736479.4
申请日：2023-06-20
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/036 , H01L31/101 , H01L31/0304 , H01L31/18
Abstract: 本发明属于红外探测器技术领域，具体涉及一种短波红外探测器单元器件及其制备方法。本发明在吸收层的表面设置有多耦合拓扑缺陷光子晶体结构层，多耦合拓扑缺陷光子晶体结构层为具有通孔结构的第三介质材料层；第三介质材料层上设置有周期性排布的第一通孔和周期性排布的第二通孔，第一通孔中填充有第一介质材料，第二通孔中填充有第二介质材料。本发明第一介质材料和第三介质材料形成光子晶体结构有效增强了红外探测器对红外光的吸收；通过第二通孔的第二介质材料在光子晶体结构中形成缺陷带和缺陷模两种拓扑缺陷，利用两种拓扑缺陷间的耦合及泄露模式的干涉，实现光子晶体结构对入射光场的定域化增强，进而增强红外探测焦平面像元红外信号。
-
公开(公告)号：CN113823702A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202111128166.8
申请日：2021-09-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/0232 , H01L31/032 , H01L31/11 , H01L31/18 , G01J5/10
Abstract: 本发明公开了一种混合维度范德华异质结室温双色红外探测器及制备方法。器件的制备步骤是利用一定比例的氢氟酸和氟化铵制备的缓冲氧化物刻蚀液刻蚀双面抛光的Si/SiO2，形成Si窗口。利用聚碳酸亚丙酯薄膜无损转移的二维范德华材料异质结至Si窗口形成PNP(NPN)异质结构。利用光电三极管能带结构实现双波段红外信号探测，同时利用Si材料高吸光率作为近红外光敏材料和长波通滤波片来降低串扰，提升器件双波段红外响应。本发明的特点是将三维薄膜材料与二维范德华材料相结合，实现近红外/中红外室温探测，制作成本低、工艺简单易制备、探测率高、工作温度高。
-
公开(公告)号：CN110635042A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910850366.0
申请日：2019-09-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管结合低维材料克服激子效应的高响应红外探测器。器件的制备步骤是利用化学气相沉积生长单壁碳纳米管(SWCNTs)，并通过溶液分离法均匀沉积在Si/SiO2形成薄膜，利用热蒸发在上面沉积金属钯(Pd)作为源极和漏极。利用光刻胶为掩模，用氧刻将器件周围一圈碳管薄膜刻蚀干净。最后将低维材料硫化铅量子点通过逐层旋涂的方式沉积在已制备好的碳纳米管场效应晶体管上完成SWCNTs复合结构器件。利用低维材料与SWCNTs形成异质结，克服SWCNTs的激子效应，同时提升器件近红外响应。本发明的特点是将一维单壁碳管与低维材料相结合，制作成本低、工艺简单易制备、响应度高、工作温度高。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113964235B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202111127775.1
申请日：2021-09-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18 , H01L31/032 , H01L31/075
Abstract: 本发明公开了一种原子层厚度调控二维材料PtSSe掺杂特性的方法。本方法通过机械剥离减薄二维材料PtSSe，随着原子层厚度的减薄，二维原子层材料的掺杂类型从p型转变成i型，继而转变成n型，载流子浓度从1012cm‑2变化到1011cm‑2。可控掺杂关键点是制备不同厚度的二维材料，随着二维材料厚度的变化，材料中发生应力变化，使得二维材料PtSSe点缺陷种类发生变化，实现二维材料掺杂。而且，二维材料PtSSe的厚度仅改变0.8nm，掺杂浓度发生明显变化，实现了二维材料原子层厚度的掺杂。本发明的优点在于简单、无损伤、单原子层可控地实现了二维原子层半导体材料掺杂类型和掺杂浓度的连续变化。
-
公开(公告)号：CN111272217B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202010052428.6
申请日：2020-01-17
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种利用分形结构提取紫外至长波红外激光光斑的方法。该方法利用光的波动性对波长进行分辨：同一波长的电磁波对不同尺度的结构的反射及透射不同，不同波长的电磁波对某一特定尺度的结构的反射及透射也不同。该方法还利用了分形结构的自相似性，来构造分别适用于超宽光谱的结构，并将电磁波对不同尺度的结构的反射的不同转化为了空间位置的不同。通过测量不同位置的反射特征，并结合分形结构的自相似性理论，对数据进行分析，得到激光光斑大小信息、激光波长信息。通过对多个水平方向的测量，可以得到激光的光斑形状。本专利的优点是结构简单，可以提取波长从70nm到14μm范围内的激光波长和光斑尺寸信息。
-
公开(公告)号：CN113517371A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110392526.9
申请日：2021-04-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/101 , H01L31/0272 , H01L31/0216 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种黑体灵敏的室温低维碲红外光电探测器及制备方法。其器件结构自下而上依次为是衬底、低维的纳米半导体，覆盖在器件两端的金属源漏电极。器件制备步骤是将CVD生长的碲(Te)纳米线或者纳米片转移到具有氧化物层的硅衬底上，运用激光直写或者电子束光刻的方法，结合热蒸发工艺制备金属电极作为半导体沟道的源极和漏极，形成纳米线半导体场效应晶体管结构，成为低维纳米光电探测器。器件首先需要在源极和漏极间施加一小电压，通过黑体光源光照下的电流信号变化，进而实现黑体探测。该黑体灵敏探测器具有室温工作、黑体灵敏、响应快、稳定性好及低功耗等特点。
-
公开(公告)号：CN112129787A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202010966408.X
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜及制备方法。利用特制的PPC膜，无损地将目标材料定点转移到铜网上完成TEM样品的制备，避免了湿法转移中存在的目标样品随机分布、材料损伤大、无法转移易水氧样品等问题，实现了高效、可靠地制备高质量的TEM样品。利用PPC的物理特性，在微区转移平台的辅助下，可以定点地对目标样品进行微区精准操作。这种全新的方法无须使用强酸强碱进行腐蚀，转移过程中不会对材料和碳膜造成损伤。该工艺适用于不同类型的材料，包括薄膜材料、二维材料、纳米线等。本发明的优点在于精准定点转移、无水接触、样品损伤小、有机残留少、适用面广、成本低、效率快、成功率高。
-
公开(公告)号：CN120035233A
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202510201909.1
申请日：2025-02-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明属于红外探测技术领域，具体一种外尔半金属长波红外探测器及其制备方法，外尔半金属长波红外探测器，包括衬底，以及从下至上依次堆叠在所述衬底上的底电极、外尔半金属层、石墨烯透明电极和顶电极，电极间沟道沿堆叠方向，形成垂直沟道；外尔半金属层，用于产生光电流；石墨烯透明电极，能够收集外尔半金属层产生的光电流。本发明解决了常规半导体长波红外探测器难以在室温条件工作的问题，及现有外尔半金属探测器实际光响应区域受限的问题，实现室温零偏压条件下的高性能光电探测，大幅增加了探测器的响应区域。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
32
records
(took 0.038 seconds)
