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公开(公告)号：CN103022246B
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201210506767.2
申请日：2012-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种用于碲镉汞红外探测器衬底去除技术中的选择性湿法腐蚀工艺方法，该方法是在红外光敏感芯片和读出电路在冷压混成互连后，采用高选择比的无机酸腐蚀液，通过湿法腐蚀工艺，完全腐蚀衬底留下外延层，以展宽探测波段至可见光，减小衬底与读出电路间热应力失配导致的损伤，消除衬底荧光效应，从而提高探测器性能和模块的可靠性。本发明方法操作简单，便于在工艺上实现。
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公开(公告)号：CN100433328C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200610118053.9
申请日：2006-11-08
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L25/18 , H01L27/144 , H01L21/822
Abstract: 本发明公开了一种带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法，该探测器，包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和增透会聚微镜列阵。所说的增透会聚微镜列阵是由红外光敏元列阵芯片的衬底背面生长一增透膜，通过常规的等离子体组合刻蚀形成的。微镜制备方法采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法，获得的背向集成微透镜列阵的各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的优点是：由于增透会聚微镜中心区域的增透效果，以及周边区域的会聚作用，既能提高新一代高密度像元红外焦平面探测器的光电流信号，又能减小相邻像元之间的空间串音。
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公开(公告)号：CN1949508A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200610118053.9
申请日：2006-11-08
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L25/18 , H01L27/144 , H01L21/822
Abstract: 本发明公开了一种带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法，该探测器，包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和增透会聚微镜列阵。所说的增透会聚微镜列阵是由红外光敏元列阵芯片的衬底背面生长一增透膜，通过常规的等离子体组合刻蚀形成的。微镜制备方法采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法，获得的背向集成微透镜列阵的各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的优点是：由于增透会聚微镜中心区域的增透效果，以及周边区域的会聚作用，既能提高新一代高密度像元红外焦平面探测器的光电流信号，又能减小相邻像元之间的空间串音。
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公开(公告)号：CN1937190A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610117107.X
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L21/60
Abstract: 本发明公开了一种红外焦平面列阵器件混成互连铟柱的微熔回流加固方法，该方法是在红外光敏感列阵芯片和读出电路在常规的冷压混成互连后，采用甲酸作为还原剂，在金属铟的熔点温度下进行混成互连铟柱的微熔回流加固，以增强混成互连铟柱之间及内部的键合力，以及混成互连铟柱与金属化电极层间的机械接触强度，从而确保红外光敏感列阵芯片与硅读出电路之间的电学连通，并提高红外焦平面混成互连的机械可靠性。本发明方法操作简单，便于在工艺上实现。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101645396A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200910195164.3
申请日：2009-09-04
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种薄膜自动剥离装置，它包括直流电机、拨盘、驱动板、活塞、缸体、泵、储液盘、样品台。特点是；电机提供动力，通过机械机构由电机的旋转运动转变为活塞在缸体内往复直线运动，缸体的一端与泵连通，在活塞的驱动下，泵把试剂从储液盘里吸入，又喷出到样品台。台面上装有待处理的样品，样品在试剂反复喷射的作用下，达到表面薄膜剥离的目的。
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公开(公告)号：CN100444381C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200610117106.5
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 一种背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法，该探测器包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和微透镜列阵。微透镜列阵是在红外光敏元列阵芯片的衬底背面直接通过微机械加工形成的。采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法以及等离子体组合刻蚀技术，获得的背向集成微透镜各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的最大优点是微透镜列阵的引入，对入射目标红外辐射有会聚功能，既提高了红外焦平面探测器光敏元的响应率，又能减小红外焦平面探测器、特别是高密度像元的红外焦平面探测器相邻像元之间的空间串音。
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公开(公告)号：CN1933149A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200610117106.5
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 一种背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法，该探测器包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和微透镜列阵。微透镜列阵是在红外光敏元列阵芯片的衬底背面直接通过微机械加工形成的。采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法以及等离子体组合刻蚀技术，获得的背向集成微透镜各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的最大优点是微透镜列阵的引入，对入射目标红外辐射有会聚功能，既提高了红外焦平面探测器光敏元的响应率，又能减小红外焦平面探测器、特别是高密度像元的红外焦平面探测器相邻像元之间的空间串音。
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公开(公告)号：CN103022246A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210506767.2
申请日：2012-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种用于碲镉汞红外探测器衬底去除技术中的选择性湿法腐蚀工艺方法，该方法是在红外光敏感芯片和读出电路在冷压混成互连后，采用高选择比的无机酸腐蚀液，通过湿法腐蚀工艺，完全腐蚀衬底留下外延层，以展宽探测波段至可见光，减小衬底与读出电路间热应力失配导致的损伤，消除衬底荧光效应，从而提高探测器性能和模块的可靠性。本发明方法操作简单，便于在工艺上实现。
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公开(公告)号：CN101645396B
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN200910195164.3
申请日：2009-09-04
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种薄膜自动剥离装置，它包括直流电机、拨盘、驱动板、活塞、缸体、泵、储液盘、样品台。特点是；电机提供动力，通过机械机构由电机的旋转运动转变为活塞在缸体内往复直线运动，缸体的一端与泵连通，在活塞的驱动下，泵把试剂从储液盘里吸入，又喷出到样品台。台面上装有待处理的样品，样品在试剂反复喷射的作用下，达到表面薄膜剥离的目的。
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