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公开(公告)号：CN109946044B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201910178524.2
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统。检验光学系统主要由干涉仪、折反透镜组、亨德尔球面反射镜及待检凸抛物面反射镜组成。折反透镜组由一个单透镜和一个折反透镜组成。首先利用折反透镜校正球面反射镜产生的球差，再利用单透镜形成自准检验光路同时提高球差校正效果。该光学系统可以实现超大口径凸抛物面反射镜的高精度检验。本发明可以在保证系统检验高精度的同时，减小所需球面反射镜以及折反透镜组的口径，缩短检测光路的长度，降低了加工以及检测过程中装调的难度，节约了成本。
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公开(公告)号：CN109946043B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201910178518.7
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种折反透镜组合校正的超大凸双曲面检验光学系统。检验光学系统由激光干涉仪、折反透镜组、待检凸双曲面反射镜、球面反射镜组成，球面反射镜的球心与待检凸双曲面反射镜的后焦点重合，构成自准光学系统，激光干涉仪发出的发散光线经折反透镜组后，到达球面反射镜上，球面反射镜将光线反射至待检凸双曲面反射镜上，经过待检凸双曲面的反射，光线沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪，折反透镜组用于校正球面反射镜引入的球差。该光学系统用于实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，具有检验精度高、所需球面反射镜口径小和光路简单等优点。
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公开(公告)号：CN109946044A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910178524.2
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统。检验光学系统主要由干涉仪、折反透镜组、亨德尔球面反射镜及待检凸抛物面反射镜组成。折反透镜组由一个单透镜和一个折反透镜组成。首先利用折反透镜校正球面反射镜产生的球差，再利用单透镜形成自准检验光路同时提高球差校正效果。该光学系统可以实现超大口径凸抛物面反射镜的高精度检验。本发明可以在保证系统检验高精度的同时，减小所需球面反射镜以及折反透镜组的口径，缩短检测光路的长度，降低了加工以及检测过程中装调的难度，节约了成本。
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公开(公告)号：CN117226679A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311281939.5
申请日：2023-10-07
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种抛光工业机器人工件坐标系定位方法，涉及工业机器人自动化抛光技术领域，其技术方案要点是：通过机器人法兰贴近已知厚度的标定物实现Z方向上的偏置标定，通过千分表调整机器人末端法兰与测头工装的同心度实现XY两个方向的偏置标定，实现工件测头相对于机器人末端法兰位置的精确标定，根据工件测头实现工件坐标系的测量和计算，最终完成工件坐标系的定位。该方法实现了工件测头相对于机器人末端法兰位置的精确标定，根据工件测头实现工件坐标系的测量和计算，最终完成工件坐标系的定位，解决了工件测头相对于工业机器人相对位置测量方法定位精度低、耗时长的问题。
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公开(公告)号：CN112496353A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011292509.X
申请日：2020-11-18
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: B23B1/00
Abstract: 本发明公开一种金刚石车削自由曲面粗车工艺方法，将自由曲面分解为回转对称面形和非回转对称两部分，针对回转对称部分，利用非球面拟合方法或者包络线拟合曲线等方法采用传统车削加工技术完成，切削速度快，走刀速度快，加工时间短；针对非回转对称部分，则仍采用慢刀伺服或者快刀伺服车削技术进行粗加工。该工艺方法一方面可以减少五轴加工自由曲面铣削工序，减少工序步骤，一次装夹即可完成粗加工和精加工，另一方面将部分自由曲面车削工序转化成传统车削工序，总体上提高了整个工艺的加工效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117584045A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311589242.4
申请日：2023-11-27
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种抛光去除率的高精度测量方法，涉及光学自动化抛光技术领域，其技术要点为：首先制作有台阶的抛光样件，安装到超精密机床上，通过高精度非接触测头在线测量工件表面的数据，通过数据处理，获得样件台阶上端面参考点到台阶下端面的高度值，然后进行抛光实验，同时保护好台阶下端面不被抛光，抛光结束后重复上述测量，对比前后两次的高度差，即为抛光实验的去除量。本发明的方法解决现有抛光去除量测量方法存在精度低、效率低等缺点的问题，该方法较现有的常规方法而言可以实现更高精度的去除量测量。
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公开(公告)号：CN112496353B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202011292509.X
申请日：2020-11-18
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: B23B1/00
Abstract: 本发明公开一种金刚石车削自由曲面粗车工艺方法，将自由曲面分解为回转对称面形和非回转对称两部分，针对回转对称部分，利用非球面拟合方法或者包络线拟合曲线等方法采用传统车削加工技术完成，切削速度快，走刀速度快，加工时间短；针对非回转对称部分，则仍采用慢刀伺服或者快刀伺服车削技术进行粗加工。该工艺方法一方面可以减少五轴加工自由曲面铣削工序，减少工序步骤，一次装夹即可完成粗加工和精加工，另一方面将部分自由曲面车削工序转化成传统车削工序，总体上提高了整个工艺的加工效率。
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公开(公告)号：CN109946043A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910178518.7
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种折反透镜组合校正的超大凸双曲面检验光学系统。检验光学系统由激光干涉仪、折反透镜组、待检凸双曲面反射镜、球面反射镜组成，球面反射镜的球心与待检凸双曲面反射镜的后焦点重合，构成自准光学系统，激光干涉仪发出的发散光线经折反透镜组后，到达球面反射镜上，球面反射镜将光线反射至待检凸双曲面反射镜上，经过待检凸双曲面的反射，光线沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪，折反透镜组用于校正球面反射镜引入的球差。该光学系统用于实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，具有检验精度高、所需球面反射镜口径小和光路简单等优点。
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公开(公告)号：CN209689884U
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201920299355.3
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本专利公开了一种折反透镜组合校正的超大凸双曲面检验光学系统。检验光学系统由激光干涉仪、折反透镜组、待检凸双曲面反射镜、球面反射镜组成，球面反射镜的球心与待检凸双曲面反射镜的后焦点重合，构成自准光学系统，激光干涉仪发出的发散光线经折反透镜组后，到达球面反射镜上，球面反射镜将光线反射至待检凸双曲面反射镜上，经过待检凸双曲面的反射，光线沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪，折反透镜组用于校正球面反射镜引入的球差。该光学系统用于实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，具有检验精度高、所需球面反射镜口径小和光路简单等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209689883U
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201920299353.4
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本专利公开了一种折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统。检验光学系统主要由干涉仪、折反透镜组、亨德尔球面反射镜及待检凸抛物面反射镜组成。折反透镜组由一个单透镜和一个折反透镜组成。首先利用折反透镜校正球面反射镜产生的球差，再利用单透镜形成自准检验光路同时提高球差校正效果。该光学系统可以实现超大口径凸抛物面反射镜的高精度检验。本专利可以在保证系统检验高精度的同时，减小所需球面反射镜以及折反透镜组的口径，缩短检测光路的长度，降低了加工以及检测过程中装调的难度，节约了成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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