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公开(公告)号：CN109946043A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910178518.7
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种折反透镜组合校正的超大凸双曲面检验光学系统。检验光学系统由激光干涉仪、折反透镜组、待检凸双曲面反射镜、球面反射镜组成，球面反射镜的球心与待检凸双曲面反射镜的后焦点重合，构成自准光学系统，激光干涉仪发出的发散光线经折反透镜组后，到达球面反射镜上，球面反射镜将光线反射至待检凸双曲面反射镜上，经过待检凸双曲面的反射，光线沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪，折反透镜组用于校正球面反射镜引入的球差。该光学系统用于实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，具有检验精度高、所需球面反射镜口径小和光路简单等优点。
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公开(公告)号：CN105910572B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610405784.5
申请日：2016-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑，包括：橡胶垫、面力传感器、浮动头、顶杆、平衡杠杆、芯轴、轴承座、销轴、轴承、支撑杆、气缸座、小轴、接头、气缸安装板、气缸。气缸通过平衡杠杆驱动顶杆，带动浮动头及橡胶垫为反射镜提供支撑力。其优点是：安装在橡胶垫和浮动头之间的面力传感器，可检测浮动支撑对反射镜的接触力大小及分布。精确控制气缸气压大小可控制支撑力的大小，力重复性高。平衡杠杆及气缸随芯轴通过轴承安装在轴承座上，可在轴承座内自由转动，顶杆会自动保持在竖直向上的方向，方便为镜子提供竖直向上的支撑力。
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公开(公告)号：CN109946043B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201910178518.7
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种折反透镜组合校正的超大凸双曲面检验光学系统。检验光学系统由激光干涉仪、折反透镜组、待检凸双曲面反射镜、球面反射镜组成，球面反射镜的球心与待检凸双曲面反射镜的后焦点重合，构成自准光学系统，激光干涉仪发出的发散光线经折反透镜组后，到达球面反射镜上，球面反射镜将光线反射至待检凸双曲面反射镜上，经过待检凸双曲面的反射，光线沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪，折反透镜组用于校正球面反射镜引入的球差。该光学系统用于实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，具有检验精度高、所需球面反射镜口径小和光路简单等优点。
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公开(公告)号：CN109946044A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910178524.2
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统。检验光学系统主要由干涉仪、折反透镜组、亨德尔球面反射镜及待检凸抛物面反射镜组成。折反透镜组由一个单透镜和一个折反透镜组成。首先利用折反透镜校正球面反射镜产生的球差，再利用单透镜形成自准检验光路同时提高球差校正效果。该光学系统可以实现超大口径凸抛物面反射镜的高精度检验。本发明可以在保证系统检验高精度的同时，减小所需球面反射镜以及折反透镜组的口径，缩短检测光路的长度，降低了加工以及检测过程中装调的难度，节约了成本。
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公开(公告)号：CN109946044B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201910178524.2
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统。检验光学系统主要由干涉仪、折反透镜组、亨德尔球面反射镜及待检凸抛物面反射镜组成。折反透镜组由一个单透镜和一个折反透镜组成。首先利用折反透镜校正球面反射镜产生的球差，再利用单透镜形成自准检验光路同时提高球差校正效果。该光学系统可以实现超大口径凸抛物面反射镜的高精度检验。本发明可以在保证系统检验高精度的同时，减小所需球面反射镜以及折反透镜组的口径，缩短检测光路的长度，降低了加工以及检测过程中装调的难度，节约了成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106066238B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610407139.7
申请日：2016-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明提供一种接触力可控型反射镜检测涨紧装夹装置，包括：面力传感器、橡胶芯轴、动锥面、静锥面、丝杠、丝杠螺母、传动杆、减速机、步进电机。其中所述动锥面与丝杠相连，步进电机和减速机通过联轴器与传动杆相连，传动杆与丝杠螺母相连。转动步进电机，动锥面可前后移动，使橡胶芯轴发生弹性变形。其优点是：橡胶芯轴可膨胀、缩小，待检镜装卸方便；橡胶芯轴表面安装有面力测量传感器，可在线监测橡胶芯轴和反射镜内壁的接触状态及接触力大小，降低设计与实际支撑力之间的误差，多次装夹重复性高。
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公开(公告)号：CN106066238A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610407139.7
申请日：2016-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 本发明提供一种接触力可控型反射镜检测涨紧装夹装置，包括：面力传感器、橡胶芯轴、动锥面、静锥面、丝杠、丝杠螺母、传动杆、减速机、步进电机。其中所述动锥面与丝杠相连，步进电机和减速机通过联轴器与传动杆相连，传动杆与丝杠螺母相连。转动步进电机，动锥面可前后移动，使橡胶芯轴发生弹性变形。其优点是：橡胶芯轴可膨胀、缩小，待检镜装卸方便；橡胶芯轴表面安装有面力测量传感器，可在线监测橡胶芯轴和反射镜内壁的接触状态及接触力大小，降低设计与实际支撑力之间的误差，多次装夹重复性高。
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公开(公告)号：CN105910572A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610405784.5
申请日：2016-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑，包括：橡胶垫、面力传感器、浮动头、顶杆、平衡杠杆、芯轴、轴承座、销轴、轴承、支撑杆、气缸座、小轴、接头、气缸安装板、气缸。气缸通过平衡杠杆驱动顶杆，带动浮动头及橡胶垫为反射镜提供支撑力。其优点是：安装在橡胶垫和浮动头之间的面力传感器，可检测浮动支撑对反射镜的接触力大小及分布。精确控制气缸气压大小可控制支撑力的大小，力重复性高。平衡杠杆及气缸随芯轴通过轴承安装在轴承座上，可在轴承座内自由转动，顶杆会自动保持在竖直向上的方向，方便为镜子提供竖直向上的支撑力。
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公开(公告)号：CN205808671U
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201620557108.5
申请日：2016-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本专利提供一种接触力可控型反射镜检测涨紧装夹装置，包括：面力传感器、橡胶芯轴、动锥面、静锥面、丝杠、丝杠螺母、传动杆、减速机、步进电机。其中所述动锥面与丝杠相连，步进电机和减速机通过联轴器与传动杆相连，传动杆与丝杠螺母相连。转动步进电机，动锥面可前后移动，使橡胶芯轴发生弹性变形。其优点是：橡胶芯轴可膨胀、缩小，待检镜装卸方便；橡胶芯轴表面安装有面力测量传感器，可在线监测橡胶芯轴和反射镜内壁的接触状态及接触力大小，降低设计与实际支撑力之间的误差，多次装夹重复性高。
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公开(公告)号：CN209689883U
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201920299353.4
申请日：2019-03-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本专利公开了一种折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统。检验光学系统主要由干涉仪、折反透镜组、亨德尔球面反射镜及待检凸抛物面反射镜组成。折反透镜组由一个单透镜和一个折反透镜组成。首先利用折反透镜校正球面反射镜产生的球差，再利用单透镜形成自准检验光路同时提高球差校正效果。该光学系统可以实现超大口径凸抛物面反射镜的高精度检验。本专利可以在保证系统检验高精度的同时，减小所需球面反射镜以及折反透镜组的口径，缩短检测光路的长度，降低了加工以及检测过程中装调的难度，节约了成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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