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公开(公告)号：CN109253865A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201811176461.9
申请日：2018-10-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种用于检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统。检验光学系统由激光干涉仪，补偿透镜组，待检凸抛物面反射镜，球面反射镜组成。球面反射镜的球心位于被检凸抛物面反射镜的后焦点上；激光干涉仪发出的发散光线，从被检凸抛物面反射镜的中心孔入射，经过补偿透镜组的折射，入射到球面反射镜上，从球面反射镜反射的光线，再经过被检凸抛物面反射镜的反射，沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪。本发明的优点在于：该光学系统可以实现口径600mm及以上的超大口径凸抛物面反射镜的高精度检验，系统在保证检验精度的同时，可以减小辅助面的口径以及系统的长度。
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公开(公告)号：CN117584045A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311589242.4
申请日：2023-11-27
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种抛光去除率的高精度测量方法，涉及光学自动化抛光技术领域，其技术要点为：首先制作有台阶的抛光样件，安装到超精密机床上，通过高精度非接触测头在线测量工件表面的数据，通过数据处理，获得样件台阶上端面参考点到台阶下端面的高度值，然后进行抛光实验，同时保护好台阶下端面不被抛光，抛光结束后重复上述测量，对比前后两次的高度差，即为抛光实验的去除量。本发明的方法解决现有抛光去除量测量方法存在精度低、效率低等缺点的问题，该方法较现有的常规方法而言可以实现更高精度的去除量测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109253864A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201811176449.8
申请日：2018-10-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统。系统中球面反射镜的球心位于待检凸双曲面反射镜的后焦点上，激光干涉仪发出的发散光线，从待检凸双曲面反射镜的中心孔入射，经过补偿透镜组的折射，入射到球面反射镜上；从球面反射镜反射的光线，再经过待检反射镜的反射，沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪。本发明的光学系统可以实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，在保证检验精度的同时，可以减小辅助面的口径以及系统的长度。
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公开(公告)号：CN109253864B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201811176449.8
申请日：2018-10-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统。系统中球面反射镜的球心位于待检凸双曲面反射镜的后焦点上，激光干涉仪发出的发散光线，从待检凸双曲面反射镜的中心孔入射，经过补偿透镜组的折射，入射到球面反射镜上；从球面反射镜反射的光线，再经过待检反射镜的反射，沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪。本发明的光学系统可以实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，在保证检验精度的同时，可以减小辅助面的口径以及系统的长度。
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公开(公告)号：CN117226679A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311281939.5
申请日：2023-10-07
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种抛光工业机器人工件坐标系定位方法，涉及工业机器人自动化抛光技术领域，其技术方案要点是：通过机器人法兰贴近已知厚度的标定物实现Z方向上的偏置标定，通过千分表调整机器人末端法兰与测头工装的同心度实现XY两个方向的偏置标定，实现工件测头相对于机器人末端法兰位置的精确标定，根据工件测头实现工件坐标系的测量和计算，最终完成工件坐标系的定位。该方法实现了工件测头相对于机器人末端法兰位置的精确标定，根据工件测头实现工件坐标系的测量和计算，最终完成工件坐标系的定位，解决了工件测头相对于工业机器人相对位置测量方法定位精度低、耗时长的问题。
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公开(公告)号：CN111458111A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010446277.2
申请日：2020-05-25
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种用于检验超大口径凹非球面反射镜的光学系统。检验光学系统由激光干涉仪和自准校正透镜组组成。自准校正透镜组位于待检凹非球面反射镜的共轭后点前。激光干涉仪出射的光线经过自准校正透镜的折射成像在待检凹非球面反射镜的共轭后点。经待检反射镜反射后光线成像在待检凹非球面的共轭前点。反射光线经过自准校正透镜组折射，在远离待检凹非球面反射镜的表面自准反射，按原路返回干涉仪。本发明的优点在于：该光学系统可以实现超大口径以及超大相对孔径凹非球面反射镜的高精度检验。同时，光学系统的光路长度较短，自准校正透镜组的口径较小，便于加工及装调。
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公开(公告)号：CN209446259U
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201821638609.1
申请日：2018-10-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/00
Abstract: 本专利公开了一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学系统。系统中球面反射镜的球心位于待检凸双曲面反射镜的后焦点上，激光干涉仪发出的发散光线，从待检凸双曲面反射镜的中心孔入射，经过补偿透镜组的折射，入射到球面反射镜上；从球面反射镜反射的光线，再经过待检反射镜的反射，沿法线方向再次入射到球面反射镜上，并自准反射，按原路返回干涉仪。本光学系统可以实现口径600mm及以上的超大口径凸双曲面反射镜的高精度检验，在保证检验精度的同时，可以减小辅助面的口径以及系统的长度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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