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公开(公告)号：CN101493574B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200810204560.3
申请日：2008-12-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明涉及一种微机械推拉式可调谐光栅，其特征在于所述的微机械推拉式可调谐光栅包括光栅条阵列、光栅链接梁、光栅支撑梁以及所连接的推驱动器和拉驱动器，其中，光栅条阵列通过光栅链接梁相连后构成光栅本体，再通过光栅支撑梁与推驱动器和拉驱动器相连构成微机械推拉式可调谐光栅；所述的推驱动器或拉驱动器位于光栅本体的一侧或两侧；光栅链接梁为1级或多级细弹性梁。本发明提供推拉式光栅结构降低了常规拉伸式DRIE工艺的苛刻要求，在相同条件下可实现更大的调谐范围，且可采用常规的MEMS工艺，易于大批量、低成本制作。
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公开(公告)号：CN101493574A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200810204560.3
申请日：2008-12-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明涉及一种微机械推拉式可调谐光栅，其特征在于所述的微机械推拉式可调谐光栅包括光栅条阵列、光栅链接梁、光栅支撑梁以及所连接的推驱动器和拉驱动器，其中，光栅条阵列通过光栅链接梁相连后构成光栅本体，再通过光栅支撑梁与推驱动器和拉驱动器相连构成微机械推拉式可调谐光栅；所述的推驱动器或拉驱动器位于光栅本体的一侧或两侧；光栅链接梁为1级或多级细弹性梁。本发明提供推拉式光栅结构降低了常规拉伸式DRIE工艺的苛刻要求，在相同条件下可实现更大的调谐范围，且可采用常规的MEMS工艺，易于大批量、低成本制作。
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公开(公告)号：CN101559914B
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200910051290.1
申请日：2009-05-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成，上层极板包括绝缘基板、参考电极层、深亚微米孔结构和疏水膜层，上层极板和下层极板由支撑结构进行连接；驱动电极呈阵列状均布于绝缘衬底上，介质层覆盖在驱动电极阵列上，深亚微米孔结构和疏水膜层组成超疏水膜层，覆盖在介质层上；单极板结构与双极板结构中的下层极板结构相同。采用深亚微米级结构有效增强疏水膜层的疏水性能，有效减小结构的厚度，降低驱力电压。
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公开(公告)号：CN101559914A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910051290.1
申请日：2009-05-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成，上层极板包括绝缘基板、参考电极层、深亚微米孔结构和疏水膜层，上层极板和下层极板由支撑结构进行连接；驱动电极呈阵列状均布于绝缘衬底上，介质层覆盖在驱动电极阵列上，深亚微米孔结构和疏水膜层组成超疏水膜层，覆盖在介质层上；单极板结构与双极板结构中的下层极板结构相同。采用深亚微米级结构有效增强疏水膜层的疏水性能，有效减小结构的厚度，降低驱力电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100382991C
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200410035193.0
申请日：2004-04-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用一只加速度传感器实现车辆加速或减速/刹车方法及装置。特征在于在车辆上只放置一只加速度传感器，利用传感器对车辆行驶中速度改变的敏感特性，将车辆向前的加速度或刹车/减速信号经简便电路处理后，分别对车辆向前加速度显示及对刹车/减速时产生向后加速度的程度产生分级显示，与车辆原刹车信号间形成逻辑“或”的关系。装置中包括安装一只2g量程加速度传感器及信号处理电路，分别驱动放在车内前部的向前加速度显示器和方在车后部的分级刹车/减速显示器。可就本车减速程度对后面车辆进行分级警示，提醒后车驾驶员根据前车告示的减速程度对己车采取合适程度的刹车，避免追尾等事故发生。
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公开(公告)号：CN1569517A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN200410035193.0
申请日：2004-04-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B60Q1/26
Abstract: 本发明涉及一种用一只加速度传感器实现车辆加速或减速/刹车方法及装置。特征在于在车辆上只放置一只加速度传感器，利用传感器对车辆行驶中速度改变的敏感特性，将车辆向前的加速度或刹车/减速信号经简便电路处理后，分别对车辆向前加速度显示及对刹车/减速时产生向后加速度的程度产生分级显示，与车辆原刹车信号间形成逻辑“或”的关系。装置中包括安装一只2g量程加速度传感器及信号处理电路，分别驱动放在车内前部的向前加速度显示器和放在车后部的分级刹车/减速显示器。可就本车减速程度对后面车辆进行分级警示，提醒后车驾驶员根据前车告示的减速程度对己车采取合适程度的刹车，避免追尾等事故发生。
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公开(公告)号：CN1232437C
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN03142072.9
申请日：2003-08-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种毛细管法气密封装MEMS器件的方法，其特征在于：(1)在MEMS器件晶片和腔体的晶片上，各制作出熔融焊料的导入导出线和导入导出孔，通过导入导出线，将周边的封环与导入导出孔连接起来；(2)对位后，两晶片上相对应的封环和导入导出线将构成金属化毛细管。在焊接的过程中，焊料熔化，从导入导出孔进入，铺展在导入导出线和封环金属表面上，在封环全部被焊料浸润后，两封环间的焊料液体就形成粘桥，焊料凝固后，两晶片粘接在一起，形成密封腔体。本发明简化了MEMS器件的气密封装过多的中间环节，提高生产效率，降低生产成本，不仅能实现在不同气氛下气密封装MEMS器件，而且可提高器件气密特性。
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公开(公告)号：CN1513751A
公开(公告)日：2004-07-21
申请号：CN03142072.9
申请日：2003-08-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81B5/00
Abstract: 本发明涉及一种毛细管法气密封装MEMS器件的方法，其特征在于：(1)在MEMS器件晶片和腔体的晶片上，各制作出熔融焊料的导入导出线和导入导出孔，通过导入导出线，将周边的封环与导入导出孔连接起来；(2)对位后，两晶片上相对应的封环和导入导出线将构成金属化毛细管。在焊接的过程中，焊料熔化，从导入导出孔进入，铺展在导入导出线和封环金属表面上，在封环全部被焊料浸润后，两封环间的焊料液体就形成粘桥，焊料凝固后，两晶片粘接在一起，形成密封腔体。本发明简化了MEMS器件的气密封装过多的中间环节，提高生产效率，降低生产成本，不仅能实现在不同气氛下气密封装MEMS器件，而且可提高器件气密特性。
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公开(公告)号：CN2626974Y
公开(公告)日：2004-07-21
申请号：CN03231290.3
申请日：2003-05-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C5/00
Abstract: 本实用新型涉及一种实现微机电系统(MEMS)器件气密密封装的结构，其特征在于：(1)晶片上每个MEMS器件的周边上有一个焊料封环，键合区分布在焊料封环周边的一侧，并与MEMS器件通过介质下的导体形成电连接；(2)盖板基片上腔体与晶片上MEMS器件相对应，每个腔体周边有一凸凹相同结构的焊料封环，晶片上MEMS器件周边的焊料封环相对应，在四角上各有一限位块；焊料封环周边一侧上有一孔洞框，它与晶片上键合区相对应，它与外围配置电路构成集成化的MEMS；(3)晶体上焊料封环和腔体的封环夹层间形成气孔通道，分布于两封环夹层的四周。键合过程腔体内表面释放的气体从夹层的通道逃逸出去。
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