公开(公告)号：CN101559914B

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200910051290.1

申请日：2009-05-15

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李铁 ,  皋华敏 ,  刘翔 ,  周萍 ,  王跃林

IPC: G01N35/10 ,  G01N33/50 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  B81C5/00

Abstract: 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成，上层极板包括绝缘基板、参考电极层、深亚微米孔结构和疏水膜层，上层极板和下层极板由支撑结构进行连接；驱动电极呈阵列状均布于绝缘衬底上，介质层覆盖在驱动电极阵列上，深亚微米孔结构和疏水膜层组成超疏水膜层，覆盖在介质层上；单极板结构与双极板结构中的下层极板结构相同。采用深亚微米级结构有效增强疏水膜层的疏水性能，有效减小结构的厚度，降低驱力电压。

公开(公告)号：CN101559914A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200910051290.1

申请日：2009-05-15

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李铁 ,  皋华敏 ,  刘翔 ,  周萍 ,  王跃林

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  B81C5/00 ,  G01N33/50

Abstract: 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成，上层极板包括绝缘基板、参考电极层、深亚微米孔结构和疏水膜层，上层极板和下层极板由支撑结构进行连接；驱动电极呈阵列状均布于绝缘衬底上，介质层覆盖在驱动电极阵列上，深亚微米孔结构和疏水膜层组成超疏水膜层，覆盖在介质层上；单极板结构与双极板结构中的下层极板结构相同。采用深亚微米级结构有效增强疏水膜层的疏水性能，有效减小结构的厚度，降低驱力电压。