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公开(公告)号：CN113049228B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202110302284.X
申请日：2021-03-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种物镜波像差检测装置及检测方法，该物镜波像差检测装置包括波前检测系统、平面镜、平面镜调节机构，被测物镜置于平面镜与波前检测设备之间；平面镜置于被测物镜焦点处。由波前检测系统发出的测试波前通过被测物镜，经平面镜反射后再次通过被测物镜，被波前检测系统接收并检测得出其相位分布，调整平面镜倾斜状态以获得不同的返回波前，选择用于表达波像差的多项式，并计算其与每个返回波前相对应的表达式，便可以通过多项式拟合的方法得到待测物镜波像差以所选多项式进行表达的拟合结果。本发明具有结构简单，成本低，可检测物镜NA不受系统零部件制约的特点，并且所得待测物镜波像差拟合结果的误差有望低于10％。
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公开(公告)号：CN113639629B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202110767175.5
申请日：2021-07-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02015 , G01M11/02
Abstract: 光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置及检测方法，装置包含：光源及照明系统、被测投影物镜、物面衍射光栅版、第一三维位移台、像面衍射光栅版、第二三维位移台、二维光电传感器和计算处理单元。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版分别置于待测投影物镜的物面和像面。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版上制作有两套小周期(对应的s1和s2剪切率均大于等于12.5％)的物面光栅和光栅像面，两套光栅方向不同、测量得到两组不同剪切方向的差分波前，采用组合剪切波前重建算法，可精确重建待测投影物镜的波像差。该方法由于采用了小周期的光栅，简化了干涉场，减少了相移步数，同时采用组合剪切波前重建算法，既提高了波像差测量精度，又提高了波像差检测速度。
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公开(公告)号：CN112964455A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110180217.5
申请日：2021-02-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种大数值孔径的物镜波像差测量装置及测量方法，测量装置包含波面测量模块、标准球面反射镜、可提供旋转和倾斜调整的旋转机构。待测物镜置于波面测量模块和标准球面反射镜中间，其光轴与波面测量模块光轴重合。将待测物镜全数值孔径范围内的波前划分为一系列子孔径波前，由旋转机构控制标准球面反射镜实现各子孔径的定位，由波面测量模块对子孔径数据进行测量，通过对子孔径数据进行拼接计算，最终得到待测物镜在全数值孔径范围内的波像差信息。同时，通过标定波面测量模块的系统误差，提高了拼接测量精度。本发明具有测量通用性好、测量装置简单、可测的待测物镜数值孔径可扩展的特点，尤其适用于数值孔径N.A为0.9及以上的物镜波像差测量。
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公开(公告)号：CN112034688A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010799258.8
申请日：2020-08-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种投影物镜波像差检测装置及检测方法，该投影物镜波像差检测装置包括光源及照明系统、物面光栅、物面位移台、被测投影物镜、像面光栅、二维光电传感器、像面位移台和控制处理单元。本发明通过物面光栅采用周期增大1倍的振幅相位混合光栅，抑制±1级衍射级次以外的其他衍射级次，像面光栅可采用棋盘光栅，降低了系统成本，提高了波像差检测速度和精度。
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公开(公告)号：CN107990838A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711099311.8
申请日：2017-11-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台，和待测光学元件；所述的波面测量干涉仪输出准直光束，待测光学元件是锥镜或柱面镜，待测光学元件安装在精密旋转台上，其旋转对称轴与精密旋转台的旋转轴对齐；波面测量干涉仪出射光与待测光学元件的一条母线垂直，从而测得该母线的面形信息，通过精密旋转台扫描完成待测光学元件全表面测量。具有高精度、低成本、高通用性的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106324996A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510325941.7
申请日：2015-06-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法，该装置包括光刻机的光源、照明系统、掩模台、投影物镜、工件台和计算机，还包括物面光栅板、波像差传感器。利用该装置原位检测光刻机的成像质量：波像差、畸变与场曲，提高了成像质量检测的并行通道数和检测速度。
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公开(公告)号：CN105890541A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610223513.8
申请日：2016-04-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 一种高精度平面子孔径拼接检测方法，包含搭建子孔径拼接检测装置；对待测光学元件的该部分面形进行测量，得到该子孔径面形数据并保存；计算重叠区域局部斜率差：利用重叠区域局部斜率差通过第4项和第6项Zernike像差拟合准参考镜面形；减去所拟合的准参考镜面形，得到去除准参考镜面形的子孔径面形数据；去倾斜和平移得到全口径面形。本发明能够有效去除x方向和y方向两种拼接累积误差，同时保证拼接连续而没有拼接痕迹，提高了平面面形子孔径拼接检测的精度，不需要增加额外的辅助部件或标定流程，具有易实现、精度高、不增加系统成本的优点。
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公开(公告)号：CN104406770A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410582052.4
申请日：2014-10-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种波像差测量系统的畸变测量装置和畸变校正方法，该装置包含：光源、标准模板、波像差测量模块、精密调节台和数据处理单元，波像差测量模块由傅立叶透镜和图像采集元件共同组成，标准模板用于波像差测量模块的畸变测量中。本发明通过在光源和波像差测量模块之间放置标准模板，标准模板上制作有位置已知的高精度定位标记，由图像采集元件采集图像并输出至数据处理单元中。数据处理单元对图像进行定位标记的图像识别，然后进行畸变的映射计算，并对波像差测量结果进行畸变的位置校正和波像差数据的修正，提高波像差测量精度，对于干涉法和非干涉法的波像差测量模块的畸变测量都适用。
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公开(公告)号：CN104236856A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410456915.3
申请日：2014-09-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种物镜成像系统的波像差检测装置，包含：光源、沿该光源发出光方向依次放置的准直镜、分光镜、聚焦镜和标准球面反射镜，以及数据处理单元、与该数据处理单元分别连接的波前传感器、第一精密调整台和第二精密调整台；在本发明中，测量过程和系统误差标定过程的切换是通过改变标准球面反射镜5的位置来实现，由于两次测量过程中，标准球面反射镜5具有相同的调节精度，因此可以有效的完成装置系统误差的标定测量并加以校正，提高了波像差测量精度。本发明不需要高精度的标准光源，降低了成本，且装置的系统误差标定方法简单、结构紧凑，具有简单易于实现等优点，能够以简单的系统完成待测物镜成像系统的波像差检测。
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公开(公告)号：CN115452331A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211190014.5
申请日：2022-09-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法，该方法采用的光栅剪切干涉仪系统包含：光学及照明系统、待测光学成像系统、物面衍射光栅版、像面衍射光栅版、二维光电传感器和计算处理单元。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版分别置于待测光学成像系统的物面和像面。测量时，通过轴向扫描的方法，测量轴向两个及以上位置处的差分波前，并拟合得到轴向位置处x方向差分波前的Z2系数和y方向差分波前的Z3系数，利用Z2和Z3系数对轴向光栅位置线性拟合得到直接待测系统的Z5像散误差，消除了剪切干涉仪系统由于光栅离焦及位置变化引入的像散误差。该方法不需要制作额外的光栅，也不需要额外增加转台，既提高了待测光学系统的波像差测量精度，又不增加测量系统结构的复杂度。
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