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公开(公告)号：CN113049228B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202110302284.X
申请日：2021-03-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种物镜波像差检测装置及检测方法，该物镜波像差检测装置包括波前检测系统、平面镜、平面镜调节机构，被测物镜置于平面镜与波前检测设备之间；平面镜置于被测物镜焦点处。由波前检测系统发出的测试波前通过被测物镜，经平面镜反射后再次通过被测物镜，被波前检测系统接收并检测得出其相位分布，调整平面镜倾斜状态以获得不同的返回波前，选择用于表达波像差的多项式，并计算其与每个返回波前相对应的表达式，便可以通过多项式拟合的方法得到待测物镜波像差以所选多项式进行表达的拟合结果。本发明具有结构简单，成本低，可检测物镜NA不受系统零部件制约的特点，并且所得待测物镜波像差拟合结果的误差有望低于10％。
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公开(公告)号：CN112965099B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202110184543.3
申请日：2021-02-10
Applicant: 上海市农业科学院 , 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海束能辐照技术有限公司
IPC: G01T1/36
Abstract: 一种电子加速器能量测量方法，将所述的辐射变色计放置在电子加速器束流输出口，且所述的辐射变色计的长度方向沿束流方向；设置所述的电子加速器输出能量值，开启束流,在束流输出时间t后关闭束流；利用所述的变色长度测量单元测量所述的辐射变色计经加速器束流辐照后发生变色的变色区域长度L；计算束流能量E元。本发明可以在极短的时间内对辐射变色计能量进行测量，无需繁杂的计算过程，提高了电子加速器能量的测量精度，节省了测量时间，能够适用于需要方便携带且实现现场实时测量的工况。
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公开(公告)号：CN113639629B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202110767175.5
申请日：2021-07-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02015 , G01M11/02
Abstract: 光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置及检测方法，装置包含：光源及照明系统、被测投影物镜、物面衍射光栅版、第一三维位移台、像面衍射光栅版、第二三维位移台、二维光电传感器和计算处理单元。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版分别置于待测投影物镜的物面和像面。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版上制作有两套小周期(对应的s1和s2剪切率均大于等于12.5％)的物面光栅和光栅像面，两套光栅方向不同、测量得到两组不同剪切方向的差分波前，采用组合剪切波前重建算法，可精确重建待测投影物镜的波像差。该方法由于采用了小周期的光栅，简化了干涉场，减少了相移步数，同时采用组合剪切波前重建算法，既提高了波像差测量精度，又提高了波像差检测速度。
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公开(公告)号：CN112964455A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110180217.5
申请日：2021-02-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种大数值孔径的物镜波像差测量装置及测量方法，测量装置包含波面测量模块、标准球面反射镜、可提供旋转和倾斜调整的旋转机构。待测物镜置于波面测量模块和标准球面反射镜中间，其光轴与波面测量模块光轴重合。将待测物镜全数值孔径范围内的波前划分为一系列子孔径波前，由旋转机构控制标准球面反射镜实现各子孔径的定位，由波面测量模块对子孔径数据进行测量，通过对子孔径数据进行拼接计算，最终得到待测物镜在全数值孔径范围内的波像差信息。同时，通过标定波面测量模块的系统误差，提高了拼接测量精度。本发明具有测量通用性好、测量装置简单、可测的待测物镜数值孔径可扩展的特点，尤其适用于数值孔径N.A为0.9及以上的物镜波像差测量。
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公开(公告)号：CN112034688A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010799258.8
申请日：2020-08-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种投影物镜波像差检测装置及检测方法，该投影物镜波像差检测装置包括光源及照明系统、物面光栅、物面位移台、被测投影物镜、像面光栅、二维光电传感器、像面位移台和控制处理单元。本发明通过物面光栅采用周期增大1倍的振幅相位混合光栅，抑制±1级衍射级次以外的其他衍射级次，像面光栅可采用棋盘光栅，降低了系统成本，提高了波像差检测速度和精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112013972A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201910450984.6
申请日：2019-05-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明涉及一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法。该标定装置包括准直光源、带有已知底角度数的多边形相位台阶标定板，以及待标定的横向剪切干涉波前传感器。该标定方法利用差分波前的提取算法，从待标定传感器所采集到的干涉图提取沿剪切方向的差分波前信息，并结合差分波前的几何特征分布，计算出剪切量的大小，从而实现对波前传感器剪切量的标定。
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公开(公告)号：CN110736544A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201910948566.X
申请日：2019-10-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及标定方法。该标定装置包括准直光源、圆形相位台阶标定板，以及待标定的横向剪切干涉波前传感器。该标定方法利用差分波前的提取算法，从待标定传感器所采集到的干涉图提取沿剪切方向的差分波前信息，并根据差分波前的特征图形面积大小，计算剪切量的标定结果。本发明采用圆形相位台阶标定板，基于差分波前的特征图形对剪切量进行标定，对相位板的摆放角度无特殊要求，从而在简化了标定装置的同时，提高了剪切量标定的精度。
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公开(公告)号：CN109814270A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910226513.7
申请日：2019-03-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种激光器输出光空间相干性抑制装置，包括激光器、扩束镜、聚焦透镜、第一毛玻璃、传输光纤、成像透镜、第二毛玻璃、匀光棒、成像透镜、第三毛玻璃。本发明利用第一毛玻璃破坏激光器输出光的空间相干性，利用传输光纤模间色散效应及匀光棒的非相干叠加原理进一步抑制光束的空间相干性；通过两个成像透镜调节照明NA(数值孔径)与照明视场的大小；通过第二毛玻璃、第三毛玻璃增强照明光场和照明光瞳的均匀性。
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公开(公告)号：CN107462179B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710547369.8
申请日：2017-07-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种双点光源间距的纳米精度测量方法，将面阵探测器放置在两个点光源下方，建立双点光源干涉场的数学模型，通过控制点光源的开闭并结合图像处理技术，获得点光源间距的粗测值，然后保持两个点光源均打开，采集两个点光源的干涉图，求解干涉相位，按照面阵探测器坐标系，对得到的干涉相位进行泽尼克多项式前9项拟合得到泽尼克多项式系数值。通过计算像差项系数的偏导数，并结合面阵探测器采集到的干涉相位拟合泽尼克多项式的系数值，利用偏导数的定义实现对点光源间距d、点光源的连线中心与面阵探测器光敏面的垂直距离Z、面阵探测器旋转角度θ和面阵探测器倾斜角γ的修正。通过迭代计算，得到点光源间距d的精确值，实现两点光源间距的纳米精度测量。
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公开(公告)号：CN107036529B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710312393.3
申请日：2017-05-05
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪和同步相移模块；同步相移模块包括非偏振分束器，第一检偏器阵列，第二检偏器阵列或检偏器，第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列。本发明采用2个光电探测器阵列实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有光电探测器阵列坐标关系标定难度低，光路简单，检偏器阵列复杂性降低，检测空间分辨率高的优点。
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