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公开(公告)号：CN105424325B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201510982270.1
申请日：2015-12-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/0271 , G01J9/0215 , G01J2009/0223 , G01J2009/0226 , G01J2009/0265 , G03F7/706
Abstract: 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法,所述的点衍射干涉波像差测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成，特点在于理想波前发生单元的第一输出端和第二输出端之间的中心距离小于被测光学系统的等晕区的直径，大于被测光学系统像点弥散斑的直径除以被测光学系统的放大倍数。本发明测量仪具有检测步骤简单、测量过程具有平均效果、可实现完整数值孔径的系统误差标定和消除等优点。
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公开(公告)号：CN106324996A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510325941.7
申请日：2015-06-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法，该装置包括光刻机的光源、照明系统、掩模台、投影物镜、工件台和计算机，还包括物面光栅板、波像差传感器。利用该装置原位检测光刻机的成像质量：波像差、畸变与场曲，提高了成像质量检测的并行通道数和检测速度。
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公开(公告)号：CN103984074B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201410184407.4
申请日：2014-05-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种光学元件的夹具和角度调整机构，包括外底座、内顶板、磁板、磁块、连杆、竖杆、限位柱、磁铁、定杆、动杆。本发明通过调节定杆和动杆，使顶板和底板相对转动，在磁板和磁块的作用下，顶板和底板保持接触，通过三个连杆带动三个竖杆分离，可以放入不同尺寸的光学元件，然后在磁铁的磁力作用下，各个杆件复位，将光学元件在竖杆之间夹紧，从而实现不同直径和尺寸的光学元件夹持功能；本发明通过位于磁铁上的螺孔，通过螺纹顶丝机构，使得竖杆可以在底板后侧的腰形限位通孔内移动，实现平面内三个角度的调整。本发明通过磁铁实现夹紧，省去了以往的柔性铰链或弹簧调整机构，结构简单，整体结构稳定可靠紧凑。
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公开(公告)号：CN105403973A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201610018717.8
申请日：2016-01-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B7/00
CPC classification number: G02B7/004
Abstract: 一种光学元件对中性调整机构，包括外圈、外壳、顶板、中间板、蜗轮板、支撑板、卡爪、光学元件、中空台、蜗杆、蜗杆安装座。本发明通过调节蜗杆与蜗轮板机构，带动与蜗轮板连接的卡爪向中间移动，将光学元件夹紧，然后通过顶丝穿过外壳侧面顶部的正调节孔，驱动与顶板相连接的中间板、蜗轮板、支撑板、卡爪、蜗杆、蜗杆安装座在不同方向移动，从而使光学元件能够在中空台的中心孔中平移，实现光学元件的微调。本发明构简单，整体结构稳定可靠紧凑。
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公开(公告)号：CN105403973B
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201610018717.8
申请日：2016-01-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种光学元件对中性调整机构，包括外圈、外壳、顶板、中间板、蜗轮板、支撑板、卡爪、光学元件、中空台、蜗杆、蜗杆安装座。本发明通过调节蜗杆与蜗轮板机构，带动与蜗轮板连接的卡爪向中间移动，将光学元件夹紧，然后通过顶丝穿过外壳侧面顶部的正调节孔，驱动与顶板相连接的中间板、蜗轮板、支撑板、卡爪、蜗杆、蜗杆安装座在不同方向移动，从而使光学元件能够在中空台的中心孔中平移，实现光学元件的微调。本发明构简单，整体结构稳定可靠紧凑。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103852854B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410049792.1
申请日：2014-02-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B7/02
Abstract: 一种长镜筒内透镜的安装工具，包括第一套筒、第二套筒、大柔性锥垫、第一调整螺垫、中杆、第二调整螺垫、第三调整螺垫和小柔性锥垫。本发明可以快速方便的将不同直径的透镜安装到具有不同深度的长镜筒中，能够方便地应用于光学实验中，同时该安装工具也适用于长镜筒内阶梯孔处的透镜安装，具有整体结构稳定可靠，操作简单的特点。
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公开(公告)号：CN103760655A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410030120.6
申请日：2014-01-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种顶面中心安装或偏心安装的大承载的二维角度调整机构，包括顶板、底板、第一支撑柱调整机构、第二支撑柱调整机构、支撑柱、定位钢球、第一限位机构、第二限位机构和挡块。本发明通过调节第一支撑柱调整机构、第二支撑柱调整机构使顶板和底板之间的相对距离发生改变，从而实现整个机构的俯仰、偏摆角度调整和锁紧的功能。本发明适用于顶面中心安装或偏心安装的较大质量的光机元件，无需任何配重结构进行二维角度调整，本发明结构简单，操作方便，整体结构稳定可靠紧凑。
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公开(公告)号：CN104279957B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201410576969.3
申请日：2014-10-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种位置可调的光栅尺安装工具，包括用以确定所述光栅尺安装位置的调节定位部件和用以压紧粘贴该光栅尺的滑移粘贴部件；通过调节大螺杆，根据指针的刻度值，确定光栅尺相对于定杆的粘贴位置，将光栅尺放入滑块的底端，调节小螺杆，改变调节块与光栅尺端面的距离，根据调节块和滑块上的刻度值，确定调节块与光栅尺端面接触，下压操作压杆，沿导轨滑动滑块，在拉伸弹簧和压轮的作用下，光栅尺被沿着滑块运动的方向粘贴完成。本发明代替了传统的手工操作方式，能够快速、方便地实现光栅尺与安装基准距离的调整，并将光栅尺粘贴到需要的位置，具有整体结构稳定、可靠紧凑的优点，在使用操作方面具有广泛的实用价值。
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公开(公告)号：CN103929589B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201410129678.X
申请日：2014-04-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种CCD相机调整机构，包括纵向调整垫、上板、底座、调节螺杆、销轴、CCD相机、调整球、第一拉伸弹簧和第二拉伸弹簧。本发明通过调节螺杆和拉伸弹簧的作用，调节CCD相机的俯仰和偏摆角度，还可以通过位于上板上的圆周方向的若干个螺纹孔，调整CCD相机的其它方向的多个角度，还可以通过旋转纵向调整垫，改变CCD相机的纵向高度。本发明可以快速高效的调整CCD相机的纵向平移和多个角度的调整机构，能够方便的应用于光学实验中，整体结构稳定可靠紧凑。
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