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公开(公告)号：CN113340212A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110529251.9
申请日：2021-05-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海精测半导体技术有限公司
Abstract: 基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，通过在一侧干涉仪光路中加入相干性抑制单元，使得对侧干涉仪的输出光与本侧干涉仪的测量光、参考光不相干，不能发生干涉；或对侧干涉仪输出光与本侧干涉仪测量光、参考光等效不发生干涉，仅产生背景直流量，不影响干涉相位的提取。本发明不改变双侧干涉仪系统的光路结构，有效利用了光学系统的数值孔径，简化了系统工作流程，具有测量精度与效率高，分光方式灵活等优点。
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公开(公告)号：CN113049228A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110302284.X
申请日：2021-03-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种物镜波像差检测装置及检测方法，该物镜波像差检测装置包括波前检测系统、平面镜、平面镜调节机构，被测物镜置于平面镜与波前检测设备之间；平面镜置于被测物镜焦点处。由波前检测系统发出的测试波前通过被测物镜，经平面镜反射后再次通过被测物镜，被波前检测系统接收并检测得出其相位分布，调整平面镜倾斜状态以获得不同的返回波前，选择用于表达波像差的多项式，并计算其与每个返回波前相对应的表达式，便可以通过多项式拟合的方法得到待测物镜波像差以所选多项式进行表达的拟合结果。本发明具有结构简单，成本低，可检测物镜NA不受系统零部件制约的特点，并且所得待测物镜波像差拟合结果的误差有望低于10％。
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公开(公告)号：CN113203357B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202110383929.7
申请日：2021-04-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: G01B9/02015 , G01B11/24
Abstract: 一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括光源模块，第一干涉仪主机，第二干涉仪主机，第一标准镜，第二标准镜，被测非透明平面；所述的第一干涉仪主机、第二干涉仪主机均为斐索干涉仪。本发明将点光源位于准直镜的焦面但不在焦点上，从而使经准直镜透射的出射光与干涉仪光轴具有夹角，通过与光阑配合，使对侧干涉仪的出射光进入到本侧干涉仪后，汇聚在光阑的遮光区，不影响本侧干涉仪干涉图的接收；或者使用光开关，使第一干涉仪主机、第二干涉仪主机单独工作。本发明有效的提高了干涉图的质量，具有装置结构简单，操作方便，测量精度高的优点。
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公开(公告)号：CN113203357A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110383929.7
申请日：2021-04-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海精测半导体技术有限公司
Abstract: 一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括光源模块，第一干涉仪主机，第二干涉仪主机，第一标准镜，第二标准镜，被测非透明平面；所述的第一干涉仪主机、第二干涉仪主机均为斐索干涉仪。本发明将点光源位于准直镜的焦面但不在焦点上，从而使经准直镜透射的出射光与干涉仪光轴具有夹角，通过与光阑配合，使对侧干涉仪的出射光进入到本侧干涉仪后，汇聚在光阑的遮光区，不影响本侧干涉仪干涉图的接收；或者使用光开关，使第一干涉仪主机、第二干涉仪主机单独工作。本发明有效的提高了干涉图的质量，具有装置结构简单，操作方便，测量精度高的优点。
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公开(公告)号：CN113049228B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202110302284.X
申请日：2021-03-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种物镜波像差检测装置及检测方法，该物镜波像差检测装置包括波前检测系统、平面镜、平面镜调节机构，被测物镜置于平面镜与波前检测设备之间；平面镜置于被测物镜焦点处。由波前检测系统发出的测试波前通过被测物镜，经平面镜反射后再次通过被测物镜，被波前检测系统接收并检测得出其相位分布，调整平面镜倾斜状态以获得不同的返回波前，选择用于表达波像差的多项式，并计算其与每个返回波前相对应的表达式，便可以通过多项式拟合的方法得到待测物镜波像差以所选多项式进行表达的拟合结果。本发明具有结构简单，成本低，可检测物镜NA不受系统零部件制约的特点，并且所得待测物镜波像差拟合结果的误差有望低于10％。
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