双极晶体管及其制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114122110A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111414757.1

    申请日:2021-11-25

    Abstract: 本发明提供了一种双极晶体管及其制备方法,所述双极晶体管包括:衬底、外延层、基区、发射区、深集电极接触区、环形掺杂区、基极接触、发射极接触及环形集电极接触,环形掺杂区环绕基区,环形集电极接触分别与深集电极接触区及环形掺杂区电连接。通过包围基区和发射结的环形掺杂区,以及与环形掺杂区电连接的环形集电极接触,形成了一个抗总剂量加固结构,该抗总剂量加固结构在上电时会形成一个环形电场,该环形电场可使发射结注入基区的少数载流子能够沿多个方向的传输路径被集电结收集,降低了电流传输路径上的载流子浓度,削弱了基区中少子向界面位置的扩散,降低了基区Si/SiO2界面附近的载流子复合率,抑制了基极电流的增加,提高了抗总剂量能力。

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