公开(公告)号：CN109506785A

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201811563095.2

申请日：2018-12-20

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 杨少华 ,  恩云飞 ,  黄云 ,  赖灿雄 ,  吴福根

IPC: G01J5/02

Abstract: 本发明涉及一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，包括：穿刺针、穿刺管道及质谱仪；穿刺针内部开设有通路，穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃后，与红外探测器杜瓦内部气体连通，以采集红外探测器杜瓦内部的气体；穿刺管道的一端与穿刺针内部的通路连通，另一端与质谱仪连通，用于将穿刺针采集的气体输送至质谱仪；质谱仪用于对穿刺管道输送的穿刺针采集的气体进行检测，以得到红外探测器杜瓦的真空特性。本发明利用穿刺针穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃，采集红外探测器杜瓦内部的气体，将采集到的气体通过穿刺管道输送至质谱仪，质谱仪对采集到的气体进行检测，能够直接得到红外探测器杜瓦的真空特性。

公开(公告)号：CN109506785B

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN201811563095.2

申请日：2018-12-20

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 杨少华 ,  恩云飞 ,  黄云 ,  赖灿雄 ,  吴福根

IPC: G01J5/02

Abstract: 本发明涉及一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，包括：穿刺针、穿刺管道及质谱仪；穿刺针内部开设有通路，穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃后，与红外探测器杜瓦内部气体连通，以采集红外探测器杜瓦内部的气体；穿刺管道的一端与穿刺针内部的通路连通，另一端与质谱仪连通，用于将穿刺针采集的气体输送至质谱仪；质谱仪用于对穿刺管道输送的穿刺针采集的气体进行检测，以得到红外探测器杜瓦的真空特性。本发明利用穿刺针穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃，采集红外探测器杜瓦内部的气体，将采集到的气体通过穿刺管道输送至质谱仪，质谱仪对采集到的气体进行检测，能够直接得到红外探测器杜瓦的真空特性。