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公开(公告)号：CN117929782B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410326082.2
申请日：2024-03-21
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，提供一种低应力摆式微加速度计，包括依次布置的上极板、中间极板和下极板。上极板和下极板均包括第一键合边框、电极区和第一应力主隔离梁，第一键合边框的内侧形成第一容置空间，电极区和第一应力主隔离梁位于第一容置空间内，电极区通过第一应力主隔离梁连接至第一键合边框。中间极板包括第二键合边框、质量块、挠性梁和第二应力主隔离梁，第二键合边框的内侧形成第二容置空间，质量块、挠性梁和第二应力主隔离梁位于第二容置空间内，挠性梁的一端连接至质量块，挠性梁的另一端通过第二应力主隔离梁连接至第二键合边框。能够隔离键合及封装过程中的应力，且可批量制造，提高加工效率。
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公开(公告)号：CN106501548A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611191423.1
申请日：2016-12-21
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P1/00
CPC classification number: G01P15/125 , G01P1/00 , G01P15/18
Abstract: 本发明公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本发明首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁-敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k(ΔCa-ΔCb)，将外界环境造成的扰动抑制掉，从而提高了器件的长期稳定性和温度稳定性。
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公开(公告)号：CN115001180A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210604074.0
申请日：2022-05-30
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: H02K1/2795 , H02K1/02 , H02K1/04 , H02K3/04 , H02K21/24
Abstract: 本发明公开了一种扁平旋转电机，所述电机包括转子、定子和铁芯三部分，整个电机呈扁平形状；其中，转子由转子基板和转子永磁两部分组成；定子由定子基板和定子线圈两部分组成，定子线圈包括外环线圈和内环线圈两部分；铁芯位于定子线圈正下方，铁芯的圆心轴与定子线圈的圆心轴同轴，铁芯与转子永磁之间相互吸引，使得转子永磁紧紧贴合在定子表面旋转。本发明结构简单，制备工艺与微纳工艺兼容，有利于在小体积内实现较高输出力矩。
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公开(公告)号：CN119400649A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202510014582.7
申请日：2025-01-06
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种具有在线检测功能的微惯性开关，该微惯性开关在第一结构层的质量块上侧以及第二结构层下侧分别设置第一极板和第二极板形成检测电容器组，通过检测检测电容器组容值从而了解第一极板和第二极板之间的间隔距离或正对面积变化，继而了解质量块在加速度作用下的运动情况，从而实现微惯性开关的动态特性测试。检测电容器组的电容信号只通过设置于第二结构层的一组或多组接线端子组引出，质量块上的第一极板不需要额外引线，简化了制造工艺。另外，由于设置于质量块上的第一极板不直接通电，在动态特性测试过程中质量块可不受干扰，因此，可以在微惯性开关正常工作过程中测试敏感结构质量块的运动特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116519976A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310306799.6
申请日：2023-03-27
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本申请提供一种石英微加速度计，包括两个边极板和中间极板，边极板上设置有边部键合区、电容区和边部电气隔离区以及电容引线密封区；中间极板设置于两个边极板之间；中间极板上设置有中间键合区、质量块、挠性梁、中间电极引线区、边部电极引线区；边部键合区和中间键合区对应设置；电容区和质量块对应设置；电容引线密封区与边部电极引线区的位置相对应设置。根据本申请的加速度计，能够有效进行气密性封装。
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公开(公告)号：CN119400649B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510014582.7
申请日：2025-01-06
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种具有在线检测功能的微惯性开关，该微惯性开关在第一结构层的质量块上侧以及第二结构层下侧分别设置第一极板和第二极板形成检测电容器组，通过检测检测电容器组容值从而了解第一极板和第二极板之间的间隔距离或正对面积变化，继而了解质量块在加速度作用下的运动情况，从而实现微惯性开关的动态特性测试。检测电容器组的电容信号只通过设置于第二结构层的一组或多组接线端子组引出，质量块上的第一极板不需要额外引线，简化了制造工艺。另外，由于设置于质量块上的第一极板不直接通电，在动态特性测试过程中质量块可不受干扰，因此，可以在微惯性开关正常工作过程中测试敏感结构质量块的运动特性。
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公开(公告)号：CN117929782A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410326082.2
申请日：2024-03-21
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，提供一种低应力摆式微加速度计，包括依次布置的上极板、中间极板和下极板。上极板和下极板均包括第一键合边框、电极区和第一应力主隔离梁，第一键合边框的内侧形成第一容置空间，电极区和第一应力主隔离梁位于第一容置空间内，电极区通过第一应力主隔离梁连接至第一键合边框。中间极板包括第二键合边框、质量块、挠性梁和第二应力主隔离梁，第二键合边框的内侧形成第二容置空间，质量块、挠性梁和第二应力主隔离梁位于第二容置空间内，挠性梁的一端连接至质量块，挠性梁的另一端通过第二应力主隔离梁连接至第二键合边框。能够隔离键合及封装过程中的应力，且可批量制造，提高加工效率。
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公开(公告)号：CN115872350A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211520334.2
申请日：2022-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏的声学图像传感器及其制备方法，应用于声学传感技术领域，该声学图像传感器包括：亥姆霍兹型微腔超表面结构、设置于亥姆霍兹型微腔超表面结构下方的微机械超声换能器阵列以及设置于微机械超声换能器阵列下方的集成电路；亥姆霍兹型微腔超表面结构为亥姆霍兹微腔在像素平面上的亚波长周期阵列超构形成，每个像素单元对应一个微腔结构；微机械超声换能器阵列包括多个超声换能器单元，集成电路为多个集成电路单元的阵列，微腔结构、超声换能器单元和集成电路单元一一对应设置；本发明能够对入射超声声波进行有效吸收和声压增强，实现对超声声波的图像传感。
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公开(公告)号：CN206281871U
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201621408705.8
申请日：2016-12-21
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P1/00
Abstract: 本实用新型公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本实用新型首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k(ΔCa‑ΔCb)，将外界环境造成的扰动抑制掉，从而提高了器件的长期稳定性和温度稳定性。
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