公开(公告)号：CN116519976A

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202310306799.6

申请日：2023-03-27

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 张照云 ,  谢国芬 ,  赵宝林 ,  陈俊 ,  黄健树 ,  王斌 ,  沈朝阳 ,  熊壮 ,  杨杰 ,  谢晋 ,  王颉 ,  屈名山 ,  刘振华 ,  王旭光

IPC: G01P15/125

Abstract: 本申请提供一种石英微加速度计，包括两个边极板和中间极板，边极板上设置有边部键合区、电容区和边部电气隔离区以及电容引线密封区；中间极板设置于两个边极板之间；中间极板上设置有中间键合区、质量块、挠性梁、中间电极引线区、边部电极引线区；边部键合区和中间键合区对应设置；电容区和质量块对应设置；电容引线密封区与边部电极引线区的位置相对应设置。根据本申请的加速度计，能够有效进行气密性封装。