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公开(公告)号：CN111156249B
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202010119092.0
申请日：2020-02-26
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条及滑块，所述滑块与导轨条之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块支撑在导轨条上侧的第一气膜，还包括电磁铁，所述电磁铁固定在导轨条和/或滑块上，且在电磁铁通电后，电磁铁产生使得导轨条与滑块在竖直方向相互靠拢的磁力。本气浮导轨的结构设计可使得其能够被运用于精密测量仪器或者超精密机床在轻负载时，拥有良好的支承刚度和运动精度和抗干扰的能力，有利于提高气浮导轨的运动精度和动力学性能。
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公开(公告)号：CN110821958B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201911242465.7
申请日：2019-12-06
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种轴向可动静压气浮主轴，包括主轴转子、电磁作动器组件及主轴外壳，所述电磁作动器组件包括固定于主轴外壳上的次级铁芯及线圈绕组，所述电磁作动器组件还包括固定于主轴转子上的永磁体，所述永磁体为多块，且永磁体沿着主轴转子的轴线间隔排列；所述永磁体以极性朝向相同的方式排布于主轴转子上；还包括固定于主轴转子上的次级铁芯，所述次级铁芯的数量较永磁体数量多一块；任意相邻两永磁体之间均夹持有一块次级铁芯，各永磁体的两侧均贴合有一块次级铁芯。本气浮主轴的结构设计可使得其能够被运用于精密光学设备加工，如实现具有表面微结构的零部件加工。
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公开(公告)号：CN113609620A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110920314.3
申请日：2021-08-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识方法，包括：分析超精密机床的结构特征，确定进给系统的空间拓扑结构；根据所需辨识的进给系统空间拓扑结构设计伺服动刚度检测辨识试件；规划设计的所述伺服动刚度检测辨识试件的加工工艺；根据规划的加工工艺，采用所述超精密机床进行试件加工；采集试件加工过程中的过程数据；对采集的数据进行处理，计算得到进给系统的伺服动刚度。本发明以实际切削工件为参考源，整个过程并未额外增加加载装置等外部零件，加工过程即为检测辨识过程，解决仪器检测方法与实际加工过程状态偏差而引起的检测结果不准确的局限性问题，实现了检测辨识结果代表机床加工状态下的真实伺服动刚度水平。
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公开(公告)号：CN113290421A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110719566.X
申请日：2021-06-28
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于铈镧合金超精密加工的局部低温隔温装置及系统，局部低温隔温装置包括隔温挡板、外壳、隔热风琴防护罩和隔温垫；隔温挡板上设置有用于穿过主轴箱的通孔，隔热风琴防护罩用于密封通孔与主轴箱之间形成的空隙；外壳设置在隔温挡板远离静压主轴的一侧，所述外壳、隔温挡板、隔热风琴防护罩与静压导轨的滑台之间形成封闭的加工区域，外壳上设置有用于向加工区域内通入低温惰性气体的进气管；隔温垫设置在静压主轴和真空吸盘之间、刀架座和静压导轨的滑台之间；所述隔温挡板、外壳、隔热风琴防护罩和隔温垫均采用隔温材料制成。本发明解决了现有技术无法对常温下材质软、燃点低和化学活性高的铈镧合金进行超精密切削加工的问题。
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公开(公告)号：CN111906358A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010680462.8
申请日：2020-07-15
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种微米尺度表面微结构超精密加工方法，以超精密数控机床作为加工平台、采用球形微铣刀为铣削刀具，在加工过程中通过改变进给速度和主轴转速以及刀具姿态来实现被加工零件的表面微结构加工。本发明在传统超精密铣削技术的基础上，以超精密数控机床作为加工平台，利用球头铣刀铣削过程中不可避免产生的切削残留构造表面微结构，利用铣削过程中进给速度和主轴转速等铣削参数以及刀具形状倾角共同作用下切削残留高度的变化，从而实现表面微结构定量加工。利用该方可以用实现微米级的表面微结构超精密加工，且具有操作简单、精度高，对设备精度依赖度较低的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109175557B
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201811272457.2
申请日：2018-10-30
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: B23H7/10
Abstract: 本发明公开了一种线切割走丝装置。本发明的线切割走丝装置利用电极丝代替传统的成形电极，利用电火花放电现象进行工件的切割加工。在加工过程中，电机带动收丝轮缓慢转动，带动电极丝运动。在高压脉冲电源的作用下，电极丝与工件之间产生火花放电，放电产生热量使工件表面融化去除。通过机床主轴以及柔性铰链可以调整电极丝的空间姿态，以满足加工要求。张紧轮机构可以提供自适应的张紧力，使电极丝走丝平稳，并抑制振动的产生。本发明的线切割走丝装置能够实现电极丝走丝的自适应柔性调节，精细调整线切割电极丝空间姿态、张紧力大小与方向，有利于保持电极丝走丝平稳，实现精密加工。
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公开(公告)号：CN110067811A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910463467.2
申请日：2019-05-30
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种气浮转台，包括轴承组件、反馈组件、驱动组件，所述轴承组件包括节流器及安装在节流器内侧的转子，所述驱动组件包括电机定子及电机动子，还包括底座、定子压环及动子固定支架，所述电机定子通过定子压环与底座固定连接，所述动子固定支架固定于转子上，电机动子固定于动子固定支架上；所述转子、节流器、电机动子、电机定子四者同轴，且在转子的径向方向，所述四者按照转子、节流器、电机动子、电机定子顺序由内至外依次排布，电机动子及电机定子朝向转子轴线的投影均落在转子上。本气浮转台的结构设计中，通过降低气浮转台的高度，可扩大其适用范围，使得其对空间大小的适应力更强。
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公开(公告)号：CN109630780A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910099005.7
申请日：2019-01-31
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16L27/08
CPC classification number: F16L27/08
Abstract: 本发明公开了一种气浮旋转接头，包括外筒体、连接在外筒体上的支架以及安装在外筒体内的芯轴，所述芯轴为其上设置有流体流通通道的空心结构，所述外筒体上设置有第一管路通道和第二管路通道，所述第一管路通道和第二管路通道两者为相互独立的流体流通通道，且两者的其中一端均位于外筒体的外侧；所述芯轴与外筒体间隙配合，所述两者中，其中一者的另一端与位于芯轴与外筒体之间的间隙相通，另一者的另一端与芯轴上的流体流通通道相通。本旋转接头克服了传统旋转接头存在的运动精度较差、磨损较大、振动较强等的不足，能够有效提高旋转接头的运动精度及使用寿命。
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公开(公告)号：CN109630780B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201910099005.7
申请日：2019-01-31
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16L27/08
Abstract: 本发明公开了一种气浮旋转接头，包括外筒体、连接在外筒体上的支架以及安装在外筒体内的芯轴，所述芯轴为其上设置有流体流通通道的空心结构，所述外筒体上设置有第一管路通道和第二管路通道，所述第一管路通道和第二管路通道两者为相互独立的流体流通通道，且两者的其中一端均位于外筒体的外侧；所述芯轴与外筒体间隙配合，所述两者中，其中一者的另一端与位于芯轴与外筒体之间的间隙相通，另一者的另一端与芯轴上的流体流通通道相通。本旋转接头克服了传统旋转接头存在的运动精度较差、磨损较大、振动较强等的不足，能够有效提高旋转接头的运动精度及使用寿命。
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公开(公告)号：CN110067811B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201910463467.2
申请日：2019-05-30
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种气浮转台，包括轴承组件、反馈组件、驱动组件，所述轴承组件包括节流器及安装在节流器内侧的转子，所述驱动组件包括电机定子及电机动子，还包括底座、定子压环及动子固定支架，所述电机定子通过定子压环与底座固定连接，所述动子固定支架固定于转子上，电机动子固定于动子固定支架上；所述转子、节流器、电机动子、电机定子四者同轴，且在转子的径向方向，所述四者按照转子、节流器、电机动子、电机定子顺序由内至外依次排布，电机动子及电机定子朝向转子轴线的投影均落在转子上。本气浮转台的结构设计中，通过降低气浮转台的高度，可扩大其适用范围，使得其对空间大小的适应力更强。
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