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公开(公告)号：CN104567848A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510043522.4
申请日：2015-01-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5649 , G01C19/5656
Abstract: 本发明公开了一种基于隧道磁阻效应的微机械陀螺结构装置，主要结构包括：基板、垫衬框体，垫衬框体设在基板上方并与基板相连接；永磁体，永磁体设在基板与垫衬框体组合形成的矩形凹槽的中心位置；和微陀螺角速率敏感体，微陀螺角速率敏感体设在垫衬框体的上方并与垫衬框体相连接，且微陀螺角速率敏感体包括：对应设在矩形凹槽上方的灵敏测量体，灵敏测量体上表面设有隧道磁敏电阻且隧道磁敏电阻与永磁体位置对应。隧道磁敏电阻可随灵敏测量体沿垂直于所述永磁体上表面的方向振动。根据本发明的微机械陀螺采用整体结构设计，结构合理、紧凑，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
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公开(公告)号：CN104567848B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201510043522.4
申请日：2015-01-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本发明公开了一种基于隧道磁阻效应的微机械陀螺结构装置，主要结构包括：基板、垫衬框体，垫衬框体设在基板上方并与基板相连接；永磁体，永磁体设在基板与垫衬框体组合形成的矩形凹槽的中心位置；和微陀螺角速率敏感体，微陀螺角速率敏感体设在垫衬框体的上方并与垫衬框体相连接，且微陀螺角速率敏感体包括：对应设在矩形凹槽上方的灵敏测量体，灵敏测量体上表面设有隧道磁敏电阻且隧道磁敏电阻与永磁体位置对应。隧道磁敏电阻可随灵敏测量体沿垂直于所述永磁体上表面的方向振动。根据本发明的微机械陀螺采用整体结构设计，结构合理、紧凑，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
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公开(公告)号：CN103257010B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201310145527.9
申请日：2013-04-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01L3/00
Abstract: 本发明涉及动力机械装置的旋转件扭矩测试领域，具体是一种基于电容耦合的旋转件扭矩测试方法，将旋转件扭矩测试装置接入电容检测电路中，所述的旋转件扭矩测试装置包括粘贴于动力机械装置内旋转件被测部位的第一感应元件，设于动力机械装置内的第二感应元件。本发明所述的基于电容耦合的旋转件扭矩测试方法，其所使用的装置的结构和原理不同于现有构建电桥利用桥压输出反映扭矩的结构和原理，也不同于现有的两组容栅、磁栅、光栅利用相位差解算扭矩的结构和原理，本发明所述的扭矩测试装置无需构建电桥，只需要一组电容极板，通过电容耦合，将第一感应元件和第二感应元件获取的扭矩信息通过电路检测，实现扭矩的测试。
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公开(公告)号：CN103278274A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310144371.2
申请日：2013-04-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01L3/00
Abstract: 本发明涉及动力机械装置的旋转件扭矩测试领域，具体是一种基于电容耦合的旋转件扭矩测试装置，包括粘贴于动力机械装置内旋转件被测部位的第一感应元件，设于动力机械装置内的第二感应元件，本发明所述的基于电容耦合的旋转件扭矩测试装置的结构和原理不同于现有构建电桥利用桥压输出反映扭矩的结构和原理，也不同于现有的两组容栅、磁栅、光栅利用相位差解算扭矩的结构和原理，本发明所述的扭矩测试装置无需构建电桥，只需要一组电容极板，通过电容耦合，将第一感应元件和第二感应元件获取的扭矩信息通过电路检测，实现扭矩的测试。
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公开(公告)号：CN103257010A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310145527.9
申请日：2013-04-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01L3/00
Abstract: 本发明涉及动力机械装置的旋转件扭矩测试领域，具体是一种基于电容耦合的旋转件扭矩测试方法，将旋转件扭矩测试装置接入电容检测电路中，所述的旋转件扭矩测试装置包括粘贴于动力机械装置内旋转件被测部位的第一感应元件，设于动力机械装置内的第二感应元件。本发明所述的基于电容耦合的旋转件扭矩测试方法，其所使用的装置的结构和原理不同于现有构建电桥利用桥压输出反映扭矩的结构和原理，也不同于现有的两组容栅、磁栅、光栅利用相位差解算扭矩的结构和原理，本发明所述的扭矩测试装置无需构建电桥，只需要一组电容极板，通过电容耦合，将第一感应元件和第二感应元件获取的扭矩信息通过电路检测，实现扭矩的测试。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102853826A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210329748.7
申请日：2012-09-07
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5733
Abstract: 本发明公开了一种硅基隧道磁阻效应微陀螺，包括：键合基板；垫衬框体，垫衬框体设在键合基板上方并与键合基板相连接；铁磁性薄膜，铁磁性薄膜设在键合基板与垫衬框体组合形成的矩形凹槽的中心位置；和微陀螺，微陀螺设在垫衬框体的上方并与垫衬框体相连接，且微陀螺包括：对应设在矩形凹槽上方的敏感质量块，敏感质量块上表面设有巨磁敏电阻且巨磁敏电阻与铁磁性薄膜位置对应。巨磁敏电阻层可随敏感质量块沿垂直于所述铁磁性薄膜上表面的方向振动。根据本发明的微机械陀螺仪采用整体结构设计，结构合理、紧凑，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
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公开(公告)号：CN104155051B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410413806.3
申请日：2014-08-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及高温压力测试领域，具体而言，涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感器，传感器具体包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；本发明通过传感器的阵列结构拓宽传感器的测试量程，通过传感器阵列上的敏感单元的阵列结构来提高传感器的可靠性。同时，敏感单元采用氮化硼/石墨烯/氮化硼的异质结构，使传感器有较好抗腐蚀性、耐高温性和瞬时响应。可见，宽量程石墨烯高温压力传感器实现了压力传感器的耐高温、高可靠性、高精度、瞬时响应、大量程等要求。
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公开(公告)号：CN102914394B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201210404330.8
申请日：2012-10-22
IPC: G01L1/12
Abstract: 一种MEMS巨磁阻式高度压力传感器，包括键合基板、设置在键合基板上方的铁磁性薄膜承载体、设置在铁磁性薄膜承载体的弹性薄膜的下表面的中心位置的铁磁性薄膜、设置在键合基板上表面中心位置的与铁磁性薄膜正对的巨磁敏电阻以及固定在铁磁性薄膜承载体上方的保护罩，保护罩上表面的中间设置连通保护罩的内腔和外界的接触孔，被测压力通过接触孔作用在铁磁性薄膜承载体的硅弹性薄膜上并使其发生Z向弯曲，从而带动铁磁性薄膜发生Z向移动，导致其产生的磁场发生微弱变化，引起巨磁敏电阻阻值发生剧烈变化，电阻值变化引起测量电路中相应电路的电流或电压变化，实现对被测压力的测量，由于海拔与压力之间有一定的关系，通过测得的压力就可以得到海拔高度。
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公开(公告)号：CN104155051A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410413806.3
申请日：2014-08-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及高温压力测试领域，具体而言，涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感器，传感器具体包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；本发明通过传感器的阵列结构拓宽传感器的测试量程，通过传感器阵列上的敏感单元的阵列结构来提高传感器的可靠性。同时，敏感单元采用氮化硼/石墨烯/氮化硼的异质结构，使传感器有较好抗腐蚀性、耐高温性和瞬时响应。可见，宽量程石墨烯高温压力传感器实现了压力传感器的耐高温、高可靠性、高精度、瞬时响应、大量程等要求。
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公开(公告)号：CN103278274B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201310144371.2
申请日：2013-04-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01L3/00
Abstract: 本发明涉及动力机械装置的旋转件扭矩测试领域，具体是一种基于电容耦合的旋转件扭矩测试装置，包括粘贴于动力机械装置内旋转件被测部位的第一感应元件，设于动力机械装置内的第二感应元件，本发明所述的基于电容耦合的旋转件扭矩测试装置的结构和原理不同于现有构建电桥利用桥压输出反映扭矩的结构和原理，也不同于现有的两组容栅、磁栅、光栅利用相位差解算扭矩的结构和原理，本发明所述的扭矩测试装置无需构建电桥，只需要一组电容极板，通过电容耦合，将第一感应元件和第二感应元件获取的扭矩信息通过电路检测，实现扭矩的测试。
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