一种石英音叉结构
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116743106A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202310542769.5

    申请日:2023-05-15

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种石英音叉结构,包括一对石英叉指、一对锤头和石英基座;石英叉指设置在石英基座上,所述一对锤头设置在石英叉指端部;石英叉指上下表面设置变截面凹槽结构,叉指侧壁和凹槽内的表面设有导电薄膜。本发明能够有效地改善叉指沿长度方向上的应力分布情况,在压‑电转换中,大大提高石英叉指上的电荷产生和电荷收集效率;在电‑压驱动应用中叉指上下表面设置变截面凹槽,可以有效地提高叉指内部的激励电场强度和电极激励效率,降低谐振器阻抗值。本发明结构可采用湿法刻蚀工艺,在制作工艺成本、体积、功耗、精度等方面都具有不可比拟的优点,可应用于高品质石英音叉谐振器、以及基于石英音叉的角速度传感器、光声气体传感器等。

    一种石英振梁式加速度计差动测量系统及其使用方法

    公开(公告)号:CN116609551A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202310542846.7

    申请日:2023-05-15

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 梁金星 窦航

    Abstract: 本发明公开了一种石英振梁式加速度计差动测量系统及其使用方法,包括频率差分电路模块、数字频率合成电路模块和测频模块,频率差分电路模块用于完成方波信号频率的减法运算;数字频率合成电路模块用于合成频率差分电路模块中的减数频率/被减频率;测频模块用于测量频率差分电路模块中的输出频率,并控制数字频率合成电路模块;本系统根据数字频率合成电路模块中合成的减数频率/被减频率,频率差分电路模块对两路方波信号做差处理,并将做差处理的信号输入测频模块,测得加速度计的实时输出频率,完成差动测量,能够有效抑制石英振梁式加速度计由于温度变化导致的频率以及标度因数漂移,并且能够降低对测频方法精度的要求,有效提高分辨率。

    一种基于边沿检测的高精度频率测量方法及系统

    公开(公告)号:CN116559529A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310527263.7

    申请日:2023-05-11

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 梁金星 李会康

    Abstract: 本发明公开了一种基于边沿检测的高精度频率测量方法及系统,属于时频测量技术领域,包括整形模块、基准时钟模块、边沿检测模块、数字抽取滤波模块、分频模块、数据处理模块和显示模块。本发明以高精度时钟源作为基准时钟生成参考时钟信号;以参考时钟对整形为方波信号的被测信号的上升沿和下降沿进行检测,得到被测信号的量化输出比特流,通过对比特流进行解调并降低信号输出速率得到解调数据,对解调后的数据进行处理即可得到被测信号频率。该方法通过边沿检测和数字滤波提高了测量精度与测量速度,可以进行连续无死区测量。

    一种高灵敏度的微波功率检测系统

    公开(公告)号:CN112684246B

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202011495430.7

    申请日:2020-12-17

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度的微波功率检测系统,包括微波发射模块、微波接收模块、磁隧道结敏感元件、功率检测电路、信号调理电路、数据采集模块和控制微波信号及显示检测电压的计算机。其中,所述的微波发射模块中使用四象限射频乘法调制器来产生双边带调幅信号,微波发射器件和微波接收模块中的微波接收器件均使用平衡对踵式Vivaldi平面端射天线,所述的磁隧道结敏感元件使用MgO势垒层磁隧道结,并对其施加面内短轴方向磁场作用,所述的功率检测电路、信号调理电路用来对微波小信号进行放大、滤波以及信号调理,最后通过计算机进行信号采集和处理,本发明可在室温和平面内磁场下,对微波功率实现高灵敏度检测,构建结构简单、集成度高。

    具有自检功能的石英振梁加速度计及其制作与自检方法

    公开(公告)号:CN108152534B

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN201711435362.3

    申请日:2017-12-26

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 梁金星 赵奚

    Abstract: 本发明公开了一种具有自检功能的石英振梁加速度计及其制作与自检方法,其中,加速度计包括石英振梁、质量‑挠性结构和安装框,其中,质量‑挠性结构包括活动连接的质量块和底座,质量块的上方和/或下方设极板,该极板的两端与安装框连接,极板中部与质量块之间存在间距,同时,极板中部和质量块相对的各自表面设有导电薄膜。本发明的加速度计增加了自检功能,能够及时发现加速度计的缺陷和故障,从而大大提高石英振梁加速度计的可靠性;同时本发明制作工艺在成本、体积、功耗、精度等方面都具有不可比拟的优点,可广泛应用于高精度惯性导航和军工领域。

    一种集成温度敏感单元的石英双梁力频谐振器

    公开(公告)号:CN104820113A

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201510219367.7

    申请日:2015-04-30

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 梁金星 白凤蕊

    Abstract: 本发明公开了一种集成温度敏感单元的石英双梁力频谐振器,包括呈一体式结构的石英双梁力频谐振器部分和温度敏感部分,两者谐振模态和谐振频率不同,可以共存且互不干扰。其中,石英双梁力频谐振器部分由石英双梁和两端的结合底座组成,工作在面内弯曲振动模态,谐振频率对双梁的轴向拉、压应力敏感,而对温度不敏感;温度敏感部分由扭转叉指、连接固定部分和音叉结合底座组成,其工作在扭转模态,扭转频率是温度的函数,对温度敏感,而对轴向拉压力不敏感。本发明能够实时、准确地反映力频谐振器的真实温度及温度变化情况,从而完成对石英双梁力频谐振器温度漂移的补偿,并且温度敏感部分输出数字信号,便于信号的处理,同时具有小型化的优势。

    一种石英晶体微天平检测装置

    公开(公告)号:CN103048210B

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201310009784.X

    申请日:2013-01-11

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 梁金星 黄佳 张天

    Abstract: 本发明公开了一种石英晶体微天平检测装置,包括底座、封盖、硅胶垫片和石英晶片;石英晶片位于底座凹槽内,其底端中心加工有上下两面分别设有上电极和下电极的石英晶片凹槽;硅胶垫片上下两面分别与封盖和底座相连,且石英晶片凹槽左右两端与硅胶垫片相连;进样口和出样口均与中心长通孔相连通;上电极由上弹簧针探头依次穿过第三硅胶通孔和上探头通孔引出,下电极由下弹簧针探头穿过下探头通孔引出。本发明提供了一种石英晶体微天平检测装置,该装置中的流通池可以重复利用,结构简单,且性能稳定,还实现了对石英晶体微天平的高频小型化,提高了其质量-频率灵敏度,可以完成对小分子或痕量物质的检测,且所需待检测物的最小样品量小。

    一种一体式的石英振梁加速度计

    公开(公告)号:CN103760381A

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201410032572.8

    申请日:2014-01-24

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种一体式的石英振梁加速度计结构,包括固定部分、与固定部分连接的一个或两个活动部分,活动部分包括质量块、位于质量块下方的支撑座、连接质量块和支撑座的振梁、第一挠性铰链和第二挠性铰链,第一挠性铰链和第二挠性铰链对称设置在振梁的两侧,上下两端面的横向中心线分别与质量块下侧面的横向中心线和支撑座上侧面的横向中心线连接重合,质量块和支撑座的厚度相同,振梁、第一挠性铰链和第二挠性铰链的厚度,比质量块和支撑座的厚度小。本发明具有很高的品质因数和测量精度,同时提高了加速度计敏感轴方向的灵敏度,消除了交叉轴方向的加速度干扰。

    石英振梁加速度计及其制作方法

    公开(公告)号:CN103116037A

    公开(公告)日:2013-05-22

    申请号:CN201310020857.5

    申请日:2013-01-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种石英振梁加速度计及其制作方法,该石英振梁加速度计包括石英振梁和质量-挠性结构,其中,质量-挠性结构包括通过挠性铰链相连的底座和质量块,在石英振梁两端、底座和质量块上各设焊盘,对应位置的焊盘之间通过金属合金键合装配,同时在与底座相对应的焊盘上连接激励电极;本发明的制作方法包括光刻技术、湿法腐蚀的微加工技术制作以及回流焊工艺。本发明的优点在于石英振梁加速度计具有加工精度高,焊盘位置、尺寸对应关系好,同时装配精度高、重复性好、装配工艺简单。

    一种智能传感器实验教学平台
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN120032548A

    公开(公告)日:2025-05-23

    申请号:CN202510215875.1

    申请日:2025-02-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种智能传感器实验教学平台,包括智能传感器实验单元、智能传感器实验教学开发模块和智能传感器实验教学软件,智能传感器实验单元用于完成设定物理量的输出、传送、检测以及温湿度变化工作环境的模拟;智能传感器实验教学开发模块用于实现传感器输出信号的接收和实验教学软件的运行与显示;智能传感器实验教学软件根据传感器数据实现多功能、智能化实验教学,实验教学内容包括传感器标定实验、滤波实验、非线性校正实验、温度补偿实验和数据无线通信实验。该实验教学平台具有功能强大、通用性强、智能化程度高、实验功能模块丰富、创新性强的特点,有助于学生掌握智能传感器的开发与应用,增强学生的创新能力。

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