公开(公告)号：CN117579013A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202311509672.0

申请日：2023-11-14

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  杜宇之 ,  方飞浒 ,  黄仁涛 ,  陶亦缕 ,  王毅

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/24 ,  H03H9/21

Abstract: 本发明公开了一种石英音叉结构及其制作方法，包括一对石英叉指、一对锤头和石英基座；所述一对石英叉指设置在石英基座上，所述一对锤头设置在石英叉指端部；所述石英叉指上表面与下表面均设置一组变截面凹槽；且凹槽的中心轴与叉指的中心轴重合。本发明通过在叉指上表面与下表面设置变截面凹槽，极大地提高叉指内部的激励电场强度和电极激励效率，从而有效地降低谐振器阻抗值，提高品质因数。同时，可以有效增加了三维电极的有效面积，从而大大提高石英叉指上的电荷收集效率。

公开(公告)号：CN116743106A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310542769.5

申请日：2023-05-15

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  方飞浒 ,  杜宇之

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/05 ,  H03H3/02 ,  H03H3/04

Abstract: 本发明公开了一种石英音叉结构，包括一对石英叉指、一对锤头和石英基座；石英叉指设置在石英基座上，所述一对锤头设置在石英叉指端部；石英叉指上下表面设置变截面凹槽结构，叉指侧壁和凹槽内的表面设有导电薄膜。本发明能够有效地改善叉指沿长度方向上的应力分布情况，在压‑电转换中，大大提高石英叉指上的电荷产生和电荷收集效率；在电‑压驱动应用中叉指上下表面设置变截面凹槽，可以有效地提高叉指内部的激励电场强度和电极激励效率，降低谐振器阻抗值。本发明结构可采用湿法刻蚀工艺，在制作工艺成本、体积、功耗、精度等方面都具有不可比拟的优点，可应用于高品质石英音叉谐振器、以及基于石英音叉的角速度传感器、光声气体传感器等。