公开(公告)号：CN116743106A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310542769.5

申请日：2023-05-15

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  方飞浒 ,  杜宇之

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/05 ,  H03H3/02 ,  H03H3/04

Abstract: 本发明公开了一种石英音叉结构，包括一对石英叉指、一对锤头和石英基座；石英叉指设置在石英基座上，所述一对锤头设置在石英叉指端部；石英叉指上下表面设置变截面凹槽结构，叉指侧壁和凹槽内的表面设有导电薄膜。本发明能够有效地改善叉指沿长度方向上的应力分布情况，在压‑电转换中，大大提高石英叉指上的电荷产生和电荷收集效率；在电‑压驱动应用中叉指上下表面设置变截面凹槽，可以有效地提高叉指内部的激励电场强度和电极激励效率，降低谐振器阻抗值。本发明结构可采用湿法刻蚀工艺，在制作工艺成本、体积、功耗、精度等方面都具有不可比拟的优点，可应用于高品质石英音叉谐振器、以及基于石英音叉的角速度传感器、光声气体传感器等。

公开(公告)号：CN118443056A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410630794.3

申请日：2024-05-21

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  陈豪 ,  方飞浒 ,  黄仁涛 ,  李承锦

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明公开了一种石英音叉陀螺正交误差闭环补偿方法及系统，方法包括：采用闭环振荡环路使石英音叉陀螺驱动端发生稳定串联谐振；通过角速度信号检测通道提取石英音叉陀螺检测端在哥氏力作用下产生的表面电荷，并获得与外部角速度信号大小呈正比的直流电压信号；利用正交误差幅值检测通道获取角速度信号检测通道内正交误差幅值信号；通过正交误差补偿通道提取石英音叉陀螺驱动端在振动时产生的表面电荷，并产生正交误差补偿信号；将正交误差补偿信号输入至角速度信号检测通道内以实现对正交误差信号的实时抑制，改善陀螺零偏性能。本方法能实现对检测通道正交误差信号的实时抑制，同时能有效提升陀螺输出信号零偏性能。

公开(公告)号：CN117579013A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202311509672.0

申请日：2023-11-14

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  杜宇之 ,  方飞浒 ,  黄仁涛 ,  陶亦缕 ,  王毅

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/24 ,  H03H9/21

Abstract: 本发明公开了一种石英音叉结构及其制作方法，包括一对石英叉指、一对锤头和石英基座；所述一对石英叉指设置在石英基座上，所述一对锤头设置在石英叉指端部；所述石英叉指上表面与下表面均设置一组变截面凹槽；且凹槽的中心轴与叉指的中心轴重合。本发明通过在叉指上表面与下表面设置变截面凹槽，极大地提高叉指内部的激励电场强度和电极激励效率，从而有效地降低谐振器阻抗值，提高品质因数。同时，可以有效增加了三维电极的有效面积，从而大大提高石英叉指上的电荷收集效率。