公开(公告)号：CN104820113B

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201510219367.7

申请日：2015-04-30

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  白凤蕊

IPC: G01P15/097 ,  G01L1/10

Abstract: 本发明公开了一种集成温度敏感单元的石英双梁力频谐振器，包括呈一体式结构的石英双梁力频谐振器部分和温度敏感部分，两者谐振模态和谐振频率不同，可以共存且互不干扰。其中，石英双梁力频谐振器部分由石英双梁和两端的结合底座组成，工作在面内弯曲振动模态，谐振频率对双梁的轴向拉、压应力敏感，而对温度不敏感；温度敏感部分由扭转叉指、连接固定部分和音叉结合底座组成，其工作在扭转模态，扭转频率是温度的函数，对温度敏感，而对轴向拉压力不敏感。本发明能够实时、准确地反映力频谐振器的真实温度及温度变化情况，从而完成对石英双梁力频谐振器温度漂移的补偿，并且温度敏感部分输出数字信号，便于信号的处理，同时具有小型化的优势。

公开(公告)号：CN104820113A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201510219367.7

申请日：2015-04-30

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  白凤蕊

IPC: G01P15/097 ,  G01L1/10

Abstract: 本发明公开了一种集成温度敏感单元的石英双梁力频谐振器，包括呈一体式结构的石英双梁力频谐振器部分和温度敏感部分，两者谐振模态和谐振频率不同，可以共存且互不干扰。其中，石英双梁力频谐振器部分由石英双梁和两端的结合底座组成，工作在面内弯曲振动模态，谐振频率对双梁的轴向拉、压应力敏感，而对温度不敏感；温度敏感部分由扭转叉指、连接固定部分和音叉结合底座组成，其工作在扭转模态，扭转频率是温度的函数，对温度敏感，而对轴向拉压力不敏感。本发明能够实时、准确地反映力频谐振器的真实温度及温度变化情况，从而完成对石英双梁力频谐振器温度漂移的补偿，并且温度敏感部分输出数字信号，便于信号的处理，同时具有小型化的优势。

公开(公告)号：CN103760381A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410032572.8

申请日：2014-01-24

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  白凤蕊 ,  董元

IPC: G01P15/09

Abstract: 本发明公开了一种一体式的石英振梁加速度计结构，包括固定部分、与固定部分连接的一个或两个活动部分，活动部分包括质量块、位于质量块下方的支撑座、连接质量块和支撑座的振梁、第一挠性铰链和第二挠性铰链，第一挠性铰链和第二挠性铰链对称设置在振梁的两侧，上下两端面的横向中心线分别与质量块下侧面的横向中心线和支撑座上侧面的横向中心线连接重合，质量块和支撑座的厚度相同，振梁、第一挠性铰链和第二挠性铰链的厚度，比质量块和支撑座的厚度小。本发明具有很高的品质因数和测量精度，同时提高了加速度计敏感轴方向的灵敏度，消除了交叉轴方向的加速度干扰。