公开(公告)号：CN103116037A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201310020857.5

申请日：2013-01-21

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  张俪园 ,  崔粟晋 ,  孟广婵

IPC: G01P15/097 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明公开了一种石英振梁加速度计及其制作方法，该石英振梁加速度计包括石英振梁和质量-挠性结构，其中，质量-挠性结构包括通过挠性铰链相连的底座和质量块，在石英振梁两端、底座和质量块上各设焊盘，对应位置的焊盘之间通过金属合金键合装配，同时在与底座相对应的焊盘上连接激励电极；本发明的制作方法包括光刻技术、湿法腐蚀的微加工技术制作以及回流焊工艺。本发明的优点在于石英振梁加速度计具有加工精度高，焊盘位置、尺寸对应关系好，同时装配精度高、重复性好、装配工艺简单。

公开(公告)号：CN103116037B

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201310020857.5

申请日：2013-01-21

Applicant: 东南大学

Inventor： 梁金星 ,  张俪园 ,  崔粟晋 ,  孟广婵

IPC: G01P15/097 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明公开了一种石英振梁加速度计及其制作方法，该石英振梁加速度计包括石英振梁和质量-挠性结构，其中，质量-挠性结构包括通过挠性铰链相连的底座和质量块，在石英振梁两端、底座和质量块上各设焊盘，对应位置的焊盘之间通过金属合金键合装配，同时在与底座相对应的焊盘上连接激励电极；本发明的制作方法包括光刻技术、湿法腐蚀的微加工技术制作以及回流焊工艺。本发明的优点在于石英振梁加速度计具有加工精度高，焊盘位置、尺寸对应关系好，同时装配精度高、重复性好、装配工艺简单。