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公开(公告)号：CN1939603B
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200610151489.8
申请日：2006-09-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂敷方法及涂敷装置，在非旋转方式中以稳定的动作再现性良好地进行涂敷膜的膜厚控制，特别是涂敷扫描终端部的膜厚均匀化。在抗蚀剂喷嘴(78)经过通过点(X1)的时刻(t1)停止抗蚀剂泵，在经过一定延迟时间之后的时刻点(ta)，抗蚀剂喷嘴(78)的吐出压力开始衰减。另一方面，在时间上与此接近，相对基板(G)的抗蚀剂喷嘴(78)的上升移动与扫描速度的减速分别在规定时刻(t2、t3)开始。这样，抗蚀剂喷嘴(78)的吐出压力正在衰减时，抗蚀剂喷嘴(78)上升移动，且扫描速度减速。
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公开(公告)号：CN104549896B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201410533052.5
申请日：2014-10-11
Applicant: 平田机工株式会社
Abstract: 一种处理系统，能够使涂敷作业的作业效率提高，对应于多尺寸的面板。本发明的处理系统具备：具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备：被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。
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公开(公告)号：CN108663831B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201810244491.2
申请日：2018-03-23
Applicant: 平田机工株式会社
IPC: G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 一种制造系统及制造方法，使相互粘合的两个面板的管理容易化。制造系统在第一作业区域中向第一面板涂敷粘接剂，在第二作业区域中将涂敷了粘接剂的第一面板和第二面板粘合而制造层叠体，其特征在于，具备第一运送装置、涂敷装置、粘合装置和第二运送装置，所述第一运送装置被配置在第一作业区域中，运送第一面板及第二面板，所述涂敷装置被配置在第一作业区域中，向由第一运送装置运送的第一面板涂敷粘接剂，所述粘合装置被配置在第二作业区域中，将第一面板及第二面板粘合，所述第二运送装置被配置在第二作业区域中，向粘合装置运送第一面板及第二面板，第一运送装置及第二运送装置将粘合的第一面板和第二面板成套运送。
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公开(公告)号：CN108663831A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810244491.2
申请日：2018-03-23
Applicant: 平田机工株式会社
IPC: G02F1/13 , G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/13338 , B32B7/02 , B32B7/14 , B32B37/003 , B32B37/06 , B32B37/1284 , B32B38/1841 , B32B41/00 , B32B2457/202 , C09J7/29 , C09J7/38 , C09J2201/128 , C09J2201/606 , C09J2203/318 , G02B5/3075 , G02F1/133528 , G02F1/1336 , G02F1/133711 , G02F1/133788 , G02F2001/133322 , G06F3/0412 , G06F2203/04103
Abstract: 一种制造系统及制造方法，使相互粘合的两个面板的管理容易化。制造系统在第一作业区域中向第一面板涂敷粘接剂，在第二作业区域中将涂敷了粘接剂的第一面板和第二面板粘合而制造层叠体，其特征在于，具备第一运送装置、涂敷装置、粘合装置和第二运送装置，所述第一运送装置被配置在第一作业区域中，运送第一面板及第二面板，所述涂敷装置被配置在第一作业区域中，向由第一运送装置运送的第一面板涂敷粘接剂，所述粘合装置被配置在第二作业区域中，将第一面板及第二面板粘合，所述第二运送装置被配置在第二作业区域中，向粘合装置运送第一面板及第二面板，第一运送装置及第二运送装置将粘合的第一面板和第二面板成套运送。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105289948A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510332574.3
申请日：2015-06-16
Applicant: 平田机工株式会社 , 迪睿合电子材料有限公司
CPC classification number: B05B12/084 , B32B37/1284 , B32B2310/0831 , B32B2457/20 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供一种涂敷方法、涂敷装置、制造方法及制造装置。涂敷方法是将液状的光硬化性树脂涂敷在面板的表面上的涂敷方法，其中，在上述面板的上述表面的周边缘部形成了表面高度的台阶，上述涂敷方法，包含：以具备可输出光硬化性树脂的狭缝状的喷嘴的涂敷头在上述面板的上述表面上相对地移动的方式，使上述涂敷头或者上述面板的一方移动的移动工序；和在上述移动工序中，从上述喷嘴将上述光硬化性树脂向上述面板的上述表面上输出的涂敷工序，在上述涂敷工序中，在上述面板的上述表面的上述表面高度的台阶中，控制上述光硬化性树脂的膜厚，以便在上述光硬化性树脂的液膜表面上不产生表面高度的台阶。
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公开(公告)号：CN104549896A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410533052.5
申请日：2014-10-11
Applicant: 平田机工株式会社
Abstract: 一种处理系统，能够使涂敷作业的作业效率提高，对应于多尺寸的面板。本发明的处理系统具备：具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备：被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。
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公开(公告)号：CN111755369B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202010201084.0
申请日：2020-03-20
Applicant: 平田机工株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供能够利用比较紧凑的机构移动移送板且不受设置环境等影响的装载端口。具备移动移送板的凸轮机构。所述凸轮机构包括驱动机构和形成有凸轮槽的凸轮板。所述驱动机构包括：旋转驱动单元；旋转轴，其利用该旋转驱动单元进行旋转；长片状的旋转构件，其固定于该旋转轴，并以该旋转轴为旋转中心进行旋转；以及第一凸轮从动件及第二凸轮从动件，其设置于所述旋转构件。所述凸轮槽包括：第一凸轮槽，其与所述第一凸轮从动件卡合；以及第二凸轮槽，其在所述移送板的移动方向上形成在与所述第一凸轮槽不同的位置，并与所述第二凸轮从动件卡合。
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公开(公告)号：CN111755369A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010201084.0
申请日：2020-03-20
Applicant: 平田机工株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供能够利用比较紧凑的机构移动移送板且不受设置环境等影响的装载端口。具备移动移送板的凸轮机构。所述凸轮机构包括驱动机构和形成有凸轮槽的凸轮板。所述驱动机构包括：旋转驱动单元；旋转轴，其利用该旋转驱动单元进行旋转；长片状的旋转构件，其固定于该旋转轴，并以该旋转轴为旋转中心进行旋转；以及第一凸轮从动件及第二凸轮从动件，其设置于所述旋转构件。所述凸轮槽包括：第一凸轮槽，其与所述第一凸轮从动件卡合；以及第二凸轮槽，其在所述移送板的移动方向上形成在与所述第一凸轮槽不同的位置，并与所述第二凸轮从动件卡合。
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公开(公告)号：CN104072096A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410115197.3
申请日：2014-03-26
Applicant: 平田机工株式会社
IPC: C04B33/02
Abstract: 本发明提供一种玻璃板裂断装置和裂断方法，能够高效地进行：裂断玻璃板来制造基板并将得到的基板搬出到搬出目的地的作业。该玻璃板裂断方法具有：玻璃板搬入动作，其是将形成有裂断线（Lx、Ly）的玻璃板（Ｍ）搬入到带式输送机（20a）上的搬入位置；裂断动作，其是沿着被搬入的玻璃板（Ｍ）的裂断线来施加按压力从而裂断该玻璃板（Ｍ）；以及裂断玻璃板搬出动作，其是将裂断玻璃板（S）搬出到搬出目的地；裂断动作具有：使按压部件（30）沿着裂断线移动而进行裂断的工序和使裂断动作结束后的按压部件（30）移动到下一位置的移动工序，在按压部件移动工序中能够同时执行针对裂断玻璃板（S）进行的裂断玻璃板搬出动作。
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