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公开(公告)号:CN103817043B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201310556284.8
申请日:2013-11-11
Applicant: 平田机工株式会社
Abstract: 本发明提供有助于提高涂膜品质的涂敷液填充方法。该涂敷液填充方法是将对基板表面涂敷涂敷液的狭缝喷嘴的内部的气体排出并填充涂敷液的方法,狭缝喷嘴具备:涂敷液供给口;涂敷液排出口;歧管,与供给口连通,用于将涂敷液贮存到狭缝喷嘴内部;液体通路,与歧管连通,用于使涂敷液向狭缝喷嘴的排出口流动;以及通气孔,用于排除歧管内的气体,该涂敷液填充方法具有在从上述供给口向上述狭缝喷嘴内部的涂敷液的送液中进行的排出口闭口工序和通气孔开放工序,该排出口闭口工序使上述排出口成为关闭的状态,该通气孔开放工序使上述通气孔成为开放的状态。
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公开(公告)号:CN104072096A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410115197.3
申请日:2014-03-26
Applicant: 平田机工株式会社
IPC: C04B33/02
Abstract: 本发明提供一种玻璃板裂断装置和裂断方法,能够高效地进行:裂断玻璃板来制造基板并将得到的基板搬出到搬出目的地的作业。该玻璃板裂断方法具有:玻璃板搬入动作,其是将形成有裂断线(Lx、Ly)的玻璃板(M)搬入到带式输送机(20a)上的搬入位置;裂断动作,其是沿着被搬入的玻璃板(M)的裂断线来施加按压力从而裂断该玻璃板(M);以及裂断玻璃板搬出动作,其是将裂断玻璃板(S)搬出到搬出目的地;裂断动作具有:使按压部件(30)沿着裂断线移动而进行裂断的工序和使裂断动作结束后的按压部件(30)移动到下一位置的移动工序,在按压部件移动工序中能够同时执行针对裂断玻璃板(S)进行的裂断玻璃板搬出动作。
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公开(公告)号:CN101927231B
公开(公告)日:2014-05-07
申请号:CN201010212346.X
申请日:2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊(14)的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫(20)的粗清洗处理部(18)、具有双流体喷嘴(42)的精清洗处理部(38)、具有擦拭垫(52)的液滴去除部(48)、和包括间隙(58)以及气体喷嘴(60)的干燥送风部(50)。利用清洗垫移动机构(24)以及擦拭垫移动机构(56)在清洗垫(20)以及擦拭垫(52)与启动加注辊(14)的外周面接触的第1位置、和清洗垫(20)以及擦拭垫(52)自启动加注辊(14)退避的第2位置之间切换清洗垫(20)以及擦拭垫(52)的位置。
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公开(公告)号:CN105289948A
公开(公告)日:2016-02-03
申请号:CN201510332574.3
申请日:2015-06-16
Applicant: 平田机工株式会社 , 迪睿合电子材料有限公司
CPC classification number: B05B12/084 , B32B37/1284 , B32B2310/0831 , B32B2457/20 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供一种涂敷方法、涂敷装置、制造方法及制造装置。涂敷方法是将液状的光硬化性树脂涂敷在面板的表面上的涂敷方法,其中,在上述面板的上述表面的周边缘部形成了表面高度的台阶,上述涂敷方法,包含:以具备可输出光硬化性树脂的狭缝状的喷嘴的涂敷头在上述面板的上述表面上相对地移动的方式,使上述涂敷头或者上述面板的一方移动的移动工序;和在上述移动工序中,从上述喷嘴将上述光硬化性树脂向上述面板的上述表面上输出的涂敷工序,在上述涂敷工序中,在上述面板的上述表面的上述表面高度的台阶中,控制上述光硬化性树脂的膜厚,以便在上述光硬化性树脂的液膜表面上不产生表面高度的台阶。
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公开(公告)号:CN104549896A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201410533052.5
申请日:2014-10-11
Applicant: 平田机工株式会社
Abstract: 一种处理系统,能够使涂敷作业的作业效率提高,对应于多尺寸的面板。本发明的处理系统具备:具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置;将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置;和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置,以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元,前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置,前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置,前述运送装置具备:被设置在前述多个上浮单元之间,吸附前述面板的下面的多个吸附单元;和与前述多个吸附单元连接地设置,使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。
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公开(公告)号:CN103817043A
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201310556284.8
申请日:2013-11-11
Applicant: 平田机工株式会社
Abstract: 本发明提供有助于提高涂膜品质的涂敷液填充方法。该涂敷液填充方法是将对基板表面涂敷涂敷液的狭缝喷嘴的内部的气体排出并填充涂敷液的方法,狭缝喷嘴具备:涂敷液供给口;涂敷液排出口;歧管,与供给口连通,用于将涂敷液贮存到狭缝喷嘴内部;液体通路,与歧管连通,用于使涂敷液向狭缝喷嘴的排出口流动;以及通气孔,用于排除歧管内的气体,该涂敷液填充方法具有在从上述供给口向上述狭缝喷嘴内部的涂敷液的送液中进行的排出口闭口工序和通气孔开放工序,该排出口闭口工序使上述排出口成为关闭的状态,该通气孔开放工序使上述通气孔成为开放的状态。
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公开(公告)号:CN104549896B
公开(公告)日:2017-06-30
申请号:CN201410533052.5
申请日:2014-10-11
Applicant: 平田机工株式会社
Abstract: 一种处理系统,能够使涂敷作业的作业效率提高,对应于多尺寸的面板。本发明的处理系统具备:具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置;将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置;和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置,以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元,前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置,前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置,前述运送装置具备:被设置在前述多个上浮单元之间,吸附前述面板的下面的多个吸附单元;和与前述多个吸附单元连接地设置,使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。
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公开(公告)号:CN103466956A
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN201310376565.5
申请日:2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊(14)的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫(20)的粗清洗处理部(18)、具有双流体喷嘴(42)的精清洗处理部(38)、具有擦拭垫(52)的液滴去除部(48)、和包括间隙(58)以及气体喷嘴(60)的干燥送风部(50)。利用清洗垫移动机构(24)以及擦拭垫移动机构(56)在清洗垫(20)以及擦拭垫(52)与启动加注辊(14)的外周面接触的第1位置、和清洗垫(20)以及擦拭垫(52)自启动加注辊(14)退避的第2位置之间切换清洗垫(20)以及擦拭垫(52)的位置。
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公开(公告)号:CN103466956B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201310376565.5
申请日:2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊(14)的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫(20)的粗清洗处理部(18)、具有双流体喷嘴(42)的精清洗处理部(38)、具有擦拭垫(52)的液滴去除部(48)、和包括间隙(58)以及气体喷嘴(60)的干燥送风部(50)。利用清洗垫移动机构(24)以及擦拭垫移动机构(56)在清洗垫(20)以及擦拭垫(52)与启动加注辊(14)的外周面接触的第1位置、和清洗垫(20)以及擦拭垫(52)自启动加注辊(14)退避的第2位置之间切换清洗垫(20)以及擦拭垫(52)的位置。
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