公开(公告)号：CN113437002B

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202110293607.3

申请日：2021-03-19

Applicant: 平田机工株式会社

Inventor： 松下洋一

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 一种装载端口及控制方法，在向容器内供给气体进行净化时，防止气体向容器外泄露，在短时间内进行净化。装载端口具备停靠板、具有基板可出入的开口部的端口板和使上述停靠板在停靠位置和非停靠位置之间移动的移动机构，其中，具备气体供给喷嘴单元和按压组件，该气体供给喷嘴单元设置在上述停靠板上，向上述容器的内部供给气体，该按压组件设置在上述停靠板的上方，将载置在上述停靠板上的上述容器向下方压附，上述按压组件包括抵接部件和驱动机构，该抵接部件与载置在上述停靠板上的上述容器抵接，该驱动机构使上述抵接部件在从上述容器离开间隔的第一位置和与上述容器抵接的第二位置之间移动。

公开(公告)号：CN111755369B

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202010201084.0

申请日：2020-03-20

Applicant: 平田机工株式会社

Inventor： 藤原五男 ,  松下洋一

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供能够利用比较紧凑的机构移动移送板且不受设置环境等影响的装载端口。具备移动移送板的凸轮机构。所述凸轮机构包括驱动机构和形成有凸轮槽的凸轮板。所述驱动机构包括：旋转驱动单元；旋转轴，其利用该旋转驱动单元进行旋转；长片状的旋转构件，其固定于该旋转轴，并以该旋转轴为旋转中心进行旋转；以及第一凸轮从动件及第二凸轮从动件，其设置于所述旋转构件。所述凸轮槽包括：第一凸轮槽，其与所述第一凸轮从动件卡合；以及第二凸轮槽，其在所述移送板的移动方向上形成在与所述第一凸轮槽不同的位置，并与所述第二凸轮从动件卡合。

公开(公告)号：CN111755369A

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN202010201084.0

申请日：2020-03-20

Applicant: 平田机工株式会社

Inventor： 藤原五男 ,  松下洋一

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供能够利用比较紧凑的机构移动移送板且不受设置环境等影响的装载端口。具备移动移送板的凸轮机构。所述凸轮机构包括驱动机构和形成有凸轮槽的凸轮板。所述驱动机构包括：旋转驱动单元；旋转轴，其利用该旋转驱动单元进行旋转；长片状的旋转构件，其固定于该旋转轴，并以该旋转轴为旋转中心进行旋转；以及第一凸轮从动件及第二凸轮从动件，其设置于所述旋转构件。所述凸轮槽包括：第一凸轮槽，其与所述第一凸轮从动件卡合；以及第二凸轮槽，其在所述移送板的移动方向上形成在与所述第一凸轮槽不同的位置，并与所述第二凸轮从动件卡合。

公开(公告)号：CN113437002A

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN202110293607.3

申请日：2021-03-19

Applicant: 平田机工株式会社

Inventor： 松下洋一

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 一种装载端口及控制方法，在向容器内供给气体进行净化时，防止气体向容器外泄露，在短时间内进行净化。装载端口具备停靠板、具有基板可出入的开口部的端口板和使上述停靠板在停靠位置和非停靠位置之间移动的移动机构，其中，具备气体供给喷嘴单元和按压组件，该气体供给喷嘴单元设置在上述停靠板上，向上述容器的内部供给气体，该按压组件设置在上述停靠板的上方，将载置在上述停靠板上的上述容器向下方压附，上述按压组件包括抵接部件和驱动机构，该抵接部件与载置在上述停靠板上的上述容器抵接，该驱动机构使上述抵接部件在从上述容器离开间隔的第一位置和与上述容器抵接的第二位置之间移动。