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公开(公告)号：CN101600517A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200780048311.3
申请日：2007-12-27
Applicant: 平田机工株式会社
Inventor： 高本德男
CPC classification number: B08B3/14 , B08B3/00 , H01L21/67017
Abstract: 本发明提供一种再生装置以及再生方法。在清洗等处理中，在使用清洗液的同时，可以对使用过的清洗液进行再生，作为再生清洗液来再次使用。提供一种液体再生装置，其具备：对使用清洗液的处理装置的使用过的清洗液进行回收的回收单元；对回收的使用过的清洗液进行再生的再生单元；向所述处理装置供给所述再生清洗液的供给单元；以及控制所述回收单元、所述再生单元以及所述供给单元的控制单元。为了使所述处理装置和所述再生单元可以同时运转，还可以具备在它们之间供给使用过的清洗液以及所述再生清洗液的连接单元。
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公开(公告)号：CN104549896B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201410533052.5
申请日：2014-10-11
Applicant: 平田机工株式会社
Abstract: 一种处理系统，能够使涂敷作业的作业效率提高，对应于多尺寸的面板。本发明的处理系统具备：具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备：被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。
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公开(公告)号：CN105289948A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510332574.3
申请日：2015-06-16
Applicant: 平田机工株式会社 , 迪睿合电子材料有限公司
CPC classification number: B05B12/084 , B32B37/1284 , B32B2310/0831 , B32B2457/20 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供一种涂敷方法、涂敷装置、制造方法及制造装置。涂敷方法是将液状的光硬化性树脂涂敷在面板的表面上的涂敷方法，其中，在上述面板的上述表面的周边缘部形成了表面高度的台阶，上述涂敷方法，包含：以具备可输出光硬化性树脂的狭缝状的喷嘴的涂敷头在上述面板的上述表面上相对地移动的方式，使上述涂敷头或者上述面板的一方移动的移动工序；和在上述移动工序中，从上述喷嘴将上述光硬化性树脂向上述面板的上述表面上输出的涂敷工序，在上述涂敷工序中，在上述面板的上述表面的上述表面高度的台阶中，控制上述光硬化性树脂的膜厚，以便在上述光硬化性树脂的液膜表面上不产生表面高度的台阶。
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公开(公告)号：CN104549896A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410533052.5
申请日：2014-10-11
Applicant: 平田机工株式会社
Abstract: 一种处理系统，能够使涂敷作业的作业效率提高，对应于多尺寸的面板。本发明的处理系统具备：具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备：被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。
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