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公开(公告)号：CN101542280B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN200780004926.6
申请日：2007-01-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01N31/00
CPC classification number: G01N21/4788 , G01N21/211 , G01N2021/215
Abstract: 本发明公开了用多元分析对来自半导体处理系统的计量数据进行变形。来自半导体处理系统的计量数据被利用多元分析进行变形。具体地，获得对用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的计量数据组。用多元分析对所获得的计量数据组确定一个或多个关键变量。获得对使用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的第一计量数据。第一计量数据不是早先获得的计量数据组中的计量数据之一。用所确定的一个或多个关键变量将第一计量数据变形为第二计量数据。
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公开(公告)号：CN101401080B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200780008294.0
申请日：2007-03-05
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及在光学计量中增强测量衍射信号的权重函数。获得权重函数以使光学计量中所用的测得衍射信号增强。为了获得权重函数，获得测得衍射信号。测得衍射信号是用光计量装置从晶片上的位置测量的。根据测得衍射信号中存在的噪声来定义第一权重函数。根据测得衍射信号的精度来定义第二权重函数。根据测得衍射信号的灵敏度来定义第三权重函数。根据第一权重函数、第二权重函数和第三权重函数中的一个或多个来定义第四权重函数。
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公开(公告)号：CN101542280A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200780004926.6
申请日：2007-01-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01N31/00
CPC classification number: G01N21/4788 , G01N21/211 , G01N2021/215
Abstract: 本发明公开了用多元分析对来自半导体处理系统的计量数据进行变形。来自半导体处理系统的计量数据被利用多元分析进行变形。具体地，获得对用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的计量数据组。用多元分析对所获得的计量数据组确定一个或多个关键变量。获得对使用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的第一计量数据。第一计量数据不是早先获得的计量数据组中的计量数据之一。用所确定的一个或多个关键变量将第一计量数据变形为第二计量数据。
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公开(公告)号：CN101401080A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200780008294.0
申请日：2007-03-05
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及在光学计量中增强测量衍射信号的权重函数。获得权重函数以使光学计量中所用的测得衍射信号增强。为了获得权重函数，获得测得衍射信号。测得衍射信号是用光计量装置从晶片上的位置测量的。根据测得衍射信号中存在的噪声来定义第一权重函数。根据测得衍射信号的精度来定义第二权重函数。根据测得衍射信号的灵敏度来定义第三权重函数。根据第一权重函数、第二权重函数和第三权重函数中的一个或多个来定义第四权重函数。
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