公开(公告)号：CN101542280B

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN200780004926.6

申请日：2007-01-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 维·翁 ,  鲍君威 ,  陈燕 ,  韦彻特·赫依蔻 ,  赛巴斯坦·埃格瑞特

IPC: G01N31/00

CPC classification number: G01N21/4788 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/215

Abstract: 本发明公开了用多元分析对来自半导体处理系统的计量数据进行变形。来自半导体处理系统的计量数据被利用多元分析进行变形。具体地，获得对用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的计量数据组。用多元分析对所获得的计量数据组确定一个或多个关键变量。获得对使用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的第一计量数据。第一计量数据不是早先获得的计量数据组中的计量数据之一。用所确定的一个或多个关键变量将第一计量数据变形为第二计量数据。

公开(公告)号：CN101542280A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200780004926.6

申请日：2007-01-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 维·翁 ,  鲍君威 ,  陈燕 ,  韦彻特·赫依蔻 ,  赛巴斯坦·埃格瑞特

IPC: G01N31/00

CPC classification number: G01N21/4788 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/215

Abstract: 本发明公开了用多元分析对来自半导体处理系统的计量数据进行变形。来自半导体处理系统的计量数据被利用多元分析进行变形。具体地，获得对用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的计量数据组。用多元分析对所获得的计量数据组确定一个或多个关键变量。获得对使用处理系统处理的一个或多个衬底测量或模拟的第一计量数据。第一计量数据不是早先获得的计量数据组中的计量数据之一。用所确定的一个或多个关键变量将第一计量数据变形为第二计量数据。